CINXE.COM

<!DOCTYPE html> <html><head> <meta charset="utf-8"> <title>Наноиндустрия - научно-технический журнал - Наноиндустрия - Установка эпитаксиального наращивания слоев для индивидуальной обработки подложек большого диаметра (Продолжение. Начало –"Наноиндустрия" 6/2008)</title> <meta name="keywords" content="..."> <meta name="description" content="..."> <meta property="og:image" content="/images/ready/13/587_865474.jpg" /> <meta name="google-site-verification" content="pap9O8svXd463ZRJljz84DznVDF1lsudTEDdeXr0YNg" /> <meta name="yandex-verification" content="ef99478fa637f6d9" /> <link href="https://www.nanoindustry.su/main8.css" rel="STYLESHEET" type="text/css" /> <link rel="icon" href="/favicon_nano.ico" type="image/x-icon"> <link rel="shortcut icon" href="/favicon_nano.ico" type="image/x-icon"> <script type="text/javascript" src="https://www.nanoindustry.su/js/jquery.js"></script> <script type="text/javascript" src="https://www.nanoindustry.su/js/jquery.dimensions.js"></script> <script type="text/javascript" src="https://www.nanoindustry.su/js/browser.js"></script> <script type="text/javascript" src="https://www.nanoindustry.su/js/supermodal.js"></script> <script type="text/javascript" src="https://www.nanoindustry.su/js/foto.js"></script> <script type="text/javascript">//<![CDATA[ var redirectMode=0; var modalAjaxSgn=-1; // Возвращает значение куки function getCookie(name) { var matches = document.cookie.match(new RegExp( "(?:^|; )" + name.replace(/([\.$?*|{}\[\]\\\/\+^])/g, '\\$1') + "=([^;]*)" )); // return matches ? decodeURIComponent(matches[1]) : ''; return matches ? matches[1] : ''; } function get_with_www(url){ var s=url+'/'; if (s.match(/^https?\:\/\/[^\.\?]+\.[^\.\?]+(\/|\?)/i)) url=url.replace(/^http\:\/\//i,'http://www.').replace(/^https\:\/\//i,'https://www.'); return url; } // Редирект на url с www function redirect_mode(){ if (0) return false; var url=document.location.href; var url2=get_with_www(url); if (url!=url2) { redirectMode=1; document.location.href=url2; }; }; redirect_mode(); $(document).ready(function(){ if (redirectMode) return false; $('#smpLoginForm').attr('action',get_with_www($('#smpLoginForm').attr('action'))); if ($('#BlockTaggedArticles').length==0) $('#BlockArticles').show(); if ($('#BlockTaggedReports').length==0) $('#BlockReports').show(); if ($('#BlockTaggedEvents').length==0) $('#BlockEvents').show(); if ($('#BlockTaggedNews').length==0 && $('#BlockNews a.hidden').length) $('#BlockNews').show(); modalAjaxDone (); $('a.a_link').each(function(n,el) { $(el).attr('href', $(el).attr('data-href')); }); $('#DOM_loading').hide(); $('#DOM_ready').show(); $('#reklama_links_1').css('height',$('#reklama_links_2').height()+'px'); $(window).resize(function(){ resize_win(); }); ysearch_focus(0); $('div.panel_left, div.panel_right').addClass('height100'); $('div.panel_left').prepend( '<div class="height100" style="position:absolute; left:0px; top:0px; z-index:2;'+ ' background:url(/img/tsphera/shadow_left.png) repeat-y left top; width:10px"></div>'+ '<a class="ui" href="javascript:void(0)" onclick="this.blur(); return panel_hide()">'+ '<div class="height100" style="position:absolute; right:-14px; top:0px; z-index:2;'+ ' background:url(/img/tsphera/bg_bar_left.gif) repeat-y left top; width:14px">'+ '<img src="/img/tsphera/arrow_col_left.gif" width="6" height="9" alt=""'+ ' style="position:absolute; right:4px; top:327px; border:none" /></div></a>'+ '<div class="height100" style="position:absolute; right:-24px; top:0px;'+ ' background:url(/img/tsphera/shadow_left.png) repeat-y left top; width:10px"></div>' ); $('div.panel_right').prepend( '<div class="height100" style="position:absolute; right:0px; top:0px; z-index:2;'+ ' background:url(/img/tsphera/shadow_right.png) repeat-y right top; width:10px"></div>'+ '<a class="ui" href="javascript:void(0)" onclick="this.blur(); return panel_hide()">'+ '<div class="height100" style="position:absolute; left:-14px; top:0px; z-index:2;'+ ' background:url(/img/tsphera/bg_bar_right.gif) repeat-y right top; width:14px">'+ '<img src="/img/tsphera/arrow_col_right.gif" width="6" height="9" alt=""'+ ' style="position:absolute; left:4px; top:327px; border:none" /></div></a>'+ '<div class="height100" style="position:absolute; left:-24px; top:0px;'+ ' background:url(/img/tsphera/shadow_right.png) repeat-y right top; width:10px"></div>' ); $('a.panel').attr('href','javascript:void(0)').click(function(){ var id=$(this).blur().attr('name'); var el=$('#'+id); var side = $(el).hasClass('panel_left') ? 'left' : 'right'; if ($(el).filter(':visible').length>0) { $(this).removeClass('lite'); $(el).animate(side=='left' ? {left:'39px'} : {right:'0px'},400,function(){ $(this).css('visibility','hidden'); $('#'+side+'_hidden_col').css('visibility','visible'); }); return false; }; $('a.panel').filter('.lite').removeClass('lite'); $(this).addClass('lite'); $('div.panel_left:visible').animate({left:'39px'},400,function(){ $(this).css('visibility','hidden'); if (side=='right') $('#left_hidden_col').css('visibility','visible'); resize_win(); }); $('div.panel_right:visible').animate({right:'0px'},400,function(){ $(this).css('visibility','hidden'); if (side=='left') $('#right_hidden_col').css('visibility','visible'); resize_win(); }); $('#'+side+'_hidden_col').css('visibility','hidden'); $(el).css('visibility','visible').animate(side=='left' ? {left:'191px'} : {right:'191px'}, 400, resize_win ); return false; }); setTimeout("resize_win()", 100); }); function panel_hide () { $('a.panel').filter('.lite').click(); return false; }; function resize_win() { var h=$('body').height(); $('.height100').css('min-height', '1px'); $.each($('.height100'),function(n,el){ var h2=$(el).height(); h=h<h2 ? h2 : h; }); $('.height100').css('min-height', h+'px'); }; // AJAX-запрос с окрытием и обновлением модального окна function modalAjaxStart (url, params, func, nocancel, nowait) { if (!nowait && nocancel) { $('div.modalHeader div:first, div.modalFooter div:first').html(''); $('div.modalContent div:first').html('<div align="center"><img class="antibot_img middle" src="/img/tsphera/wait.gif" width="75" height="50" alt="" /></div>'); if ($('#superModalOverlay').css('display')=='none') superModalShow("#header=div.modalHeader;content=div.modalContent;footer=div.modalFooter;valign=middle;width=350;height=200;closeEsc=0"); superModalTune(); }; if (!nowait && !nocancel) { $('div.modalHeader div:first').html(''); $('div.modalContent div:first').html('<div align="center"><img class="antibot_img middle" src="/img/tsphera/wait.gif" width="75" height="50" alt="" /></div>'); $('div.modalFooter div:first').html('<input type="submit" onclick="modalAjaxDone(); return false" value=" Отмена " />'); if ($('#superModalOverlay').css('display')=='none') superModalShow("#header=div.modalHeader;content=div.modalContent;footer=div.modalFooter;valign=middle;width=350;height=200;closeEsc=1"); superModalTune(modalAjaxDone); }; var el=$('div.modalContent div:first'); $.getJSON(url, params, function (obj) { if ($('div.modalContent').css('display')=='none') { modalAjaxDone(); if (typeof func === 'function') func(obj); return false; } if (obj.result!=0) { $('div.modalHeader div:first, div.modalFooter div:first').html(''); $('div.modalContent div:first').html('<div style="text-align:center"><span class="bigger2 error">Извините, внутренняя ошибка сервера</span><span class="norm"><br><br><a class="ui" target="_top" href="https://www.nanoindustry.su/">Наноиндустрия</a></span></div>'); if ($('#superModalOverlay').css('display')=='none') superModalShow("#header=div.modalHeader;content=div.modalContent;footer=div.modalFooter;valign=middle;width=500;height=250;closeEsc=1"); superModalTune(modalAjaxDone); return false; } if (obj.sgn==modalAjaxSgn) { if (obj.header!=='undefined') $('div.modalHeader div:first').html(obj.header); if (obj.content!=='undefined') $(el).html(obj.content); if (obj.footer!=='undefined') $('div.modalFooter div:first').html(obj.footer); superModalTune(modalAjaxDone); // $('div.modalHeader, div.modalContent, div.modalFooter').find('input').addClass('input_ie6hack'); }; if (typeof func === 'function') func(obj); }); return false; }; function modalAjaxDone () { modalAjaxSgn=-1; if ($('#superModalOverlay').css('display')!='none') superModalClose(); $('div.modalContent, div.modalHeader, div.modalFooter').remove(); $('<div class="modalHeader" style="display:none"><div style="padding:20px 20px 15px 20px" align="center"></div></div><div class="modalContent" style="display:none"><div style="padding:0 20px 0 20px"></div></div><div class="modalFooter" style="display:none"><div style="padding:20px 20px 20px 20px" align="center"></div></div>').appendTo('body'); return false; }; function superModalShowAndTune (w,h,esc) { superModalShow("#header=div.modalHeader;content=div.modalContent;footer=div.modalFooter;valign=middle;width="+w+";height="+h+";closeEsc="+esc); superModalTune(); }; function ysearch_focus(f) { if (f) $('#ysearch_div').css('background','#f5f5f5'); if (!f && !$('#ysearch_input').val().match(/\S/)) $('#ysearch_div').css('background','#f5f5f5 url(/img/tsphera/ysearch_small.gif) no-repeat 6px 6px'); }; function popup_arrow(o) { o=$(o).blur().find('img'); var s=$(o).attr('src'); $(o).attr('src','/img/tsphera/arrow_small_'+(s.match(/dn\.gif/) ? 'up' : 'dn')+'.gif'); resize_win(); return false; }; //]]></script> <style> div.smap { display:none; } </style> </head> <body>  <div style="display:none"> <img src="/images/ready/13/587_865474.jpg" /> <p>Уменьшение размеров элементов структуры микроприборов до субмикронных требует модернизации существующего и разработки нового эпитаксиального прецизионного оборудования индивидуальной обработки подложек. Особенно это важно при переходе на подложки большого диаметра (200 и 300 мм) и создании эпитаксиальных структур (ЭС) из разнородных материалов.<br>Решение этой задачи невозможно без глубокого теоретического исследования теплофизических и физико-механических параметров состояния подложки, в том числе анализа газодинамических характеристик потока в щелевом кварцевом реакторе и описания структуры пластически деформированных подложек.<br>Совместные исследования в этом направлении проводились ОАО "НИИТМ", ЗАО "Электронточмаш", МГИЭТ (МИЭТ – Технический университет).</p> </div>  <div class="smap"><a href="/sitemap.xml">sitemap</a></div>  <script> $(document).ready(function(){ if (getCookie('lama_Cw')!='1') $('#CookieWarning').show(); }); function cookie_warning_off () { var date = new Date(new Date().getTime() + 365*24*60*60*1000); document.cookie = 'lama_Cw=1; path=/; expires=' + date.toUTCString(); }; </script> <div id="CookieWarning" style="display:none; position:fixed; left:0px; bottom:20px; right:0px; z-index:1000000000"> <div style="margin:auto; width:490px; padding:0 15px 0 15px; background:#333; border:#fff 1px solid"> <div style="float:left; width:388px; text-align:center; padding:15px 0 15px 0"><span class="smaller1" style="color:#999"> Наш сайт использует cookies. Продолжая просмотр, вы даёте согласие на обработку персональных данных и соглашаетесь с нашей <a href="/page/politica_sec" style="color:#999; text-decoration:underline">Политикой Конфиденциальности</a> </span></div> <div style="float:right; width:100px; text-align:right; padding:20px 0 5px 0"> <span class="smaller1" onclick="$('#CookieWarning').hide(); cookie_warning_off()" style="background:#555; border:#999 1px solid; display:inline-block; padding:8px 10px 8px 10px; color:#fff; cursor:pointer">Согласен</span> </div> <div style="clear:both"></div> </div></div>  <div id="DOM_loading" align="center"><br></div><div id="DOM_ready" align="center" style="display:none"><div style="width:970px; position:relative; left:0px; top:0px" align="left">  <div class="height100" align="left" style="width:190px; float:left; border-right:#969c9d 1px solid; background:#fff url(/img/tsphera/bg_1.jpg) no-repeat left top; position:relative; left:0px; top:0xp; z-index:4">   <div style="padding:6px 10px 15px 16px"><span class="smaller1"> <div style="float:left"><a class="title ui" target="_top" href="https://www.nanoindustry.su/">главная</a></div> <div style="float:right" align="right"><a class="title ui" target="_top" href="https://www.nanoindustry.su/page/nano_en?lang=en"><img src="/img/tsphera/lang_en.png" style="width:23px; height:14px; border:none; margin-right:4px; vertical-align:middle" alt="" />eng</a></div> <div style="clear:both"></div> </span></div>      <script> function ysearch_submit() { var f=document.yandex_search_form; f.searchid.value= $(f).find('input[name=yandex_search_area]:checked').val()=='1' ? 1510549 : 2065416; f.submit(); return false; }; </script> <div style="padding:0px 10px 10px 16px"> <form name="yandex_search_form" method="get" action="https://www.nanoindustry.su/page/ysearch" onsubmit="return ysearch_submit()"> <input type="hidden" name="searchid" value="1510549" /> <span class="smaller1 std">Поиск:</span> <div id="ysearch_div" style="border:#c8c8c8 1px solid; padding:3px 5px 3px 5px; background:#f5f5f5"> <input type="text" id="ysearch_input" name="text" onfocus="ysearch_focus(true)" onblur="ysearch_focus(false)" class="middle" maxlength="255" style="width:150px; background:transparent; border:none; font-size:12px; color:#000" value="" /></div> <div style="height:3px"></div> <span class="smaller2 std middle"> <label class="middle"><input name="yandex_search_area" class="box" type="radio" value="2" checked="checked" /> на сайте журнала</label><br> <label class="middle"><input name="yandex_search_area" class="box" type="radio" value="1" /> на всех сайтах РИЦ</label> </span> </form> </div>    <div style="padding:0px 10px 10px 15px" align="right"><span class="bigger1 std"> <span class="smaller1"><a class="panel title ui" name="panel_auth">Вход</a></span> <div style="height:20px"></div> <a class="panel title ui" name="panel_archive">Архив журнала</a> <div style="height:10px"></div> <a class="panel title ui" name="panel_journals">Журналы</a> <div style="height:10px"></div> <a class="panel title ui" name="panel_menu_mediadata">Медиаданные</a> <div style="height:10px"></div> <a class="panel title ui" name="panel_menu_policy">Редакционная политика</a> <div style="height:10px"></div> <a class="panel title ui" name="panel_menu_adv">Реклама</a> <div style="height:10px"></div> <a class="panel title ui" name="panel_menu_authors">Авторам</a> <div style="height:10px"></div> <a class="panel title ui" name="panel_menu_contacts">Контакты</a> <div style="height:10px"></div> </span></div>     <script> var socialnet_count=0; function socialnet_add (site, title, src, href, name) { if (site!='nano' && site!='*') return false; if (!name) name=''; socialnet_count++; if (socialnet_count==1) document.write('<div align="left" style="padding:0 5px 10px 15px"><span class="smaller1" style="vertical-align:middle">'); document.write( '<a class="ui" rel="nofollow" target="_blank" href="'+href+'"><img src="'+src+'" title="'+title+'" alt="" style="display:inline-block; width:24px; height:24px; border:none; margin:5px; vertical-align:middle" /> '+name+'</a><br>' ); }; // Команды для размещения ссылок вводите ниже (всё, что выше - не редактировать!): socialnet_add( '*', 'Telegram', '/files/page_attach/0/53.png', 'https://t.me/TS_pub', 'TS_pub' ); socialnet_add( '*', 'ВКонтакте', '/files/page_attach/0/51.png', 'https://www.vk.com/technospheramag', 'technospheramag' ); socialnet_add( '*', 'Одноклассники', '/files/page_attach/0/52.png', 'https://ok.ru/group/53337117491357', 'technospheramag' ); socialnet_add( '*', 'Youtube', '/files/page_attach/0/48.png', 'https://www.youtube.com/c/ТЕХНОСФЕРА_РИЦ', 'ТЕХНОСФЕРА_РИЦ' ); if (socialnet_count>0) document.write('</span></div>');  </script>   <div style="padding:30px 0 40px 0" align="center"><div style="width:164px; overflow:hidden; padding-bottom:10px"><div style="position:relative; overflow:hidden; width:164px; height:260px"><div style="position:relative; z-index:1"><img title="Монолит" src="/images/adv/10/72_hqy7v.jpeg" style="display:block; width:164px; height:260px; border:none" alt="" /></div><a class="a_link" rel="nofollow" target="_top" href="" data-href="/cgi-bin/tsphera/p_adv.pl?id=1072&sgn=20061&erid=LdtCKAJLk" style="position:absolute; left:0; right:0; top:0; bottom:0; z-index:3"></a></div></div></div>   <div style="padding:0px 10px 10px 20px" align="left"><span class="smaller1 std"> © 2001-2024<br> <a class="ui" target="_top" href="https://www.technosphera.ru">РИЦ Техносфера</a><br> Все права защищены<br> Тел. +7 (495) 234-0110<br> <a href="https://www.technosphera.ru/page/OFERTA">Оферта</a> <br /> <br />  <a href="https://metrika.yandex.ru/stat/?id=10321768&from=informer" target="_blank" rel="nofollow"><img src="https://informer.yandex.ru/informer/10321768/3_1_FFFFFFFF_EFEFEFFF_0_pageviews" style="width:88px; height:31px; border:0;" alt="Яндекс.Метрика" title="Яндекс.Метрика: данные за сегодня (просмотры, визиты и уникальные посетители)" class="ym-advanced-informer" data-cid="10321768" data-lang="ru" /></a>   <script type="text/javascript" > (function(m,e,t,r,i,k,a){m[i]=m[i]||function(){(m[i].a=m[i].a||[]).push(arguments)}; m[i].l=1*new Date(); for (var j = 0; j < document.scripts.length; j++) {if (document.scripts[j].src === r) { return; }} k=e.createElement(t),a=e.getElementsByTagName(t)[0],k.async=1,k.src=r,a.parentNode.insertBefore(k,a)}) (window, document, "script", "https://mc.yandex.ru/metrika/tag.js", "ym"); ym(10321768, "init", { clickmap:true, trackLinks:true, accurateTrackBounce:true }); </script> <noscript><div><img src="https://mc.yandex.ru/watch/10321768" style="position:absolute; left:-9999px;" alt="" /></div></noscript>  <br> <a href="http://r8w.ru"> R&W</a> </span></div>  </div>   <div id="left_hidden_col" class="height100" style="width:22px; float:left; position:relative; left:0px; top:0px; background:#d0cecf url(/img/tsphera/bg_bar_left.gif) repeat-y right top; z-index:2">  <div class="height100" style="position:absolute; right:-10px; top:0px; background:url(/img/tsphera/shadow_left.png) repeat-y left top; width:10px"></div> </div>   <div class="height100" align="left" style="width:190px; float:right; border-left:#969c9d 1px solid; background:#fff url(/img/tsphera/bg_2.jpg) no-repeat right top; position:relative; left:0px; top:0xp; z-index:4"> <div style="padding:0px 3px 10px 15px" align="left">  <div style="padding:15px 0 25px"><span class="norm std">ISSN 1993-8578<br>ISSN 2687-0282 (online)</span></div>       <div style="padding-bottom:25px; position:relative; left:0px; top:0px"> <img src="/img/tsphera/icon_subscr_nano.png" style="display:block; width:129px; height:20px; border:none" alt="" /> <div style="height:5px"></div> <a class="astext ui" href="https://www.nanoindustry.su/journal/order/"><img src="/img/tsphera/icon_subscr_paper_nano.png" style="display:block; width:156px; height:16px; border:none" alt="" /></a> <div style="height:3px"></div> <a class="astext ui" href="https://www.nanoindustry.su/journal/order/?digit=1"><img src="/img/tsphera/icon_subscr_digit_nano.png" style="display:block; width:124px; height:16px; border:none" alt="" /></a> <div style="height:3px"></div> <a class="astext ui" href="https://www.nanoindustry.su/account/?act=dlv"><img src="/img/tsphera/icon_subscr_news_nano.png" style="display:block; width:60px; height:16px; border:none" alt="" /></a> </div>       <span class="bigger1"><a class="panel title ui" name="panel_books">Книги по нанотехнологиям</a></span> <div style="height:25px"></div>      <div id="BlockArticles" style="display:none"> <span class="bigger1 std">Статьи</span> <div style="height:8px"></div> <span class="smaller3"><a class="gray ui" href="https://www.nanoindustry.su/journal/2024/7">Наноиндустрия #7-8/2024</a></span><br> <span class="smaller1"><a class="hidden" href="https://www.nanoindustry.su/journal/article/10718">Статьи, опубликованные в журнале "НАНОИНДУСТРИЯ" в 2024 году</a></span> <div style="height:8px"></div> <span class="smaller3"><a class="gray ui" href="https://www.nanoindustry.su/journal/2024/7">Наноиндустрия #7-8/2024</a></span><br> <span class="smaller1"><a class="hidden" href="https://www.nanoindustry.su/journal/article/10710">ВЛИЯНИЕ ПЛАСТИЧЕСКОЙ ДЕФОРМАЦИИ НА СТРУКТУРУ И СВОЙСТВА БИОРЕЗОРБИРУЕМОГО ЦИНКОВОГО СПЛАВА Zn-0.8Li-0.1Mn</a></span> <div style="height:25px"></div></div>         <div id="BlockNews" style="display:none"> <span class="bigger1 std">Новости</span> <span class="smaller1 std">  // <a class="title ui" href="https://www.nanoindustry.su/news/">все новости</a></span> <div style="height:8px"></div> <span class="smaller3 gray">26.11.2024</span><br> <span class="smaller1"><a class="hidden" href="https://www.nanoindustry.su/news/11811">Международная выставка-форум «Электроника России» стартовала сегодня</a></span> <div style="height:8px"></div> <span class="smaller3 gray">20.11.2024</span><br> <span class="smaller1"><a class="hidden" href="https://www.nanoindustry.su/news/11805">Вышел из печати Выпуск №7-8/2024 журнала «НАНОИНДУСТРИЯ»</a></span> <div style="height:25px"></div></div>           </div> </div>   <div id="right_hidden_col" class="height100" style="width:22px; float:right; position:relative; left:0px; top:0px; background:#d0cecf url(/img/tsphera/bg_bar_right.gif) repeat-y left top; z-index:2">  <div class="height100" style="position:absolute; left:-10px; top:0px; background:url(/img/tsphera/shadow_right.png) repeat-y right top; width:10px"></div> </div>    <div id="panel_auth" class="panel_left"> <div style="padding-top:60px" align="center"><span class="norm std"> <script type="text/javascript">//<![CDATA[ function smpValidLoginForm() { var v={ status: 0 }; var f=document.smpLoginForm; if (!f.login_email.value.match(/\S/) || !f.login_password.value.match(/\S/)) v.status=1; return v; }; function do_login() { var res=smpValidLoginForm(); if (res.status==1) $('#login_alert').html('Введите e-mail и пароль'); return res.status==0; }; //]]></script> <span class="bigger2">Вход:</span><br><br> <form name="smpLoginForm" id="smpLoginForm" method="post" action="https://www.nanoindustry.su/account/" onsubmit="return do_login()"> <input type="hidden" name="act" value="login" /><input type="hidden" name="redirect" value="/journal/article/1836/?p=1" /> Ваш e-mail:<br> <input type="text" name="login_email" class="smaller1" maxlength="64" value="" style="width:90px" onfocus="$('#login_alert').html(' ')" /> <div style="height:10px"></div> Пароль:<br> <input type="password" name="login_password" autocomplete="off" class="smaller1" maxlength="64" value="" style="width:90px" onfocus="$('#login_alert').html(' ')" /> <div style="height:10px"></div> <span class="smaller1"><div><label><input type="checkbox" class="box" name="login_store" value="1" /> - запомнить меня</label></div></span> <div style="height:10px"></div> <input type="submit" class="button_smaller1" value=" Войти " /> <div style="height:10px"></div> <span id="login_alert" class="smaller1 error"> </span> <div style="height:20px"></div> <a class="title ui" href="https://www.nanoindustry.su/account/reg/">Регистрация</a> <div style="height:10px"></div> <a class="title ui" href="https://www.nanoindustry.su/account/password/">Забыли пароль?</a> </form> </span></div></div>       <div id="panel_archive" class="panel_left"> <div style="padding-top:60px" align="center"><span class="bigger1 std"> <span class="bigger2">Архив журнала:</span><br><br> <span style="line-height:150%"> <a class="title ui" href="https://www.nanoindustry.su/journal/2024">2024</a><br><a class="title ui" href="https://www.nanoindustry.su/journal/2023">2023</a><br><a class="title ui" href="https://www.nanoindustry.su/journal/2022">2022</a><br><a class="title ui" href="https://www.nanoindustry.su/journal/2021">2021</a><br><a class="title ui" href="https://www.nanoindustry.su/journal/2020">2020</a><br><a class="title ui" href="https://www.nanoindustry.su/journal/2019">2019</a><br><a class="title ui" href="https://www.nanoindustry.su/journal/2018">2018</a><br><a class="title ui" href="https://www.nanoindustry.su/journal/2017">2017</a><br><a class="title ui" href="https://www.nanoindustry.su/journal/2016">2016</a><br><a class="title ui" href="https://www.nanoindustry.su/journal/2015">2015</a><br><a class="title ui" href="https://www.nanoindustry.su/journal/2014">2014</a><br><a class="title ui" href="https://www.nanoindustry.su/journal/2013">2013</a><br><a class="title ui" href="https://www.nanoindustry.su/journal/2012">2012</a><br><a class="title ui" href="https://www.nanoindustry.su/journal/2011">2011</a><br><a class="title ui" href="https://www.nanoindustry.su/journal/2010">2010</a><br><a class="title ui" href="https://www.nanoindustry.su/journal/2009">2009</a><br><a class="title ui" href="https://www.nanoindustry.su/journal/2008">2008</a><br><a class="title ui" href="https://www.nanoindustry.su/journal/2007">2007</a><br> </span></span></div></div>         <div id="panel_menu_mediadata" class="panel_left"> <div style="padding-top:60px" align="center"><span class="norm std"> <span class="bigger2">Медиаданные:</span><br><br> <a class="title ui" href="https://www.nanoindustry.su/page/nano_about">О журнале</a> <div style="height:10px"></div> <a class="title ui" href="https://www.nanoindustry.su/page/about_publications">О публикациях</a> <div style="height:10px"></div> <a class="title ui" href="https://www.nanoindustry.su/page/rubricator">Предметная область и рубрикатор</a> <div style="height:10px"></div> <a class="title ui" href="https://www.nanoindustry.su/page/editors">Редакционная коллегия</a> <div style="height:10px"></div> <a class="title ui" href="https://www.nanoindustry.su/page/nano_editors">Редакционный совет</a> <div style="height:10px"></div> <a class="title ui" href="https://www.nanoindustry.su/page/nano_distribution">Распространение</a> <div style="height:10px"></div> <a class="title ui" href="https://www.nanoindustry.su/page/founder">Учредитель</a> <div style="height:10px"></div> <a class="title ui" href="https://www.nanoindustry.su/page/1890">Издатель</a> <div style="height:10px"></div> <a class="title ui" href="/journal/plan/">План издания</a> <div style="height:10px"></div> </span></div></div> <div id="panel_menu_policy" class="panel_left"> <div style="padding-top:60px" align="center"><span class="norm std"> <span class="bigger2">Редакционная политика:</span><br><br> <a class="title ui" href="https://www.nanoindustry.su/page/1885">Редакционная политика РИЦ «ТЕХНОСФЕРА»</a> <div style="height:10px"></div> <a class="title ui" href="https://www.nanoindustry.su/page/1945">Редакционная политика журнала "НАНОИНДУСТРИЯ"</a> <div style="height:10px"></div> </span></div></div> <div id="panel_menu_adv" class="panel_left"> <div style="padding-top:60px" align="center"><span class="norm std"> <span class="bigger2">Реклама:</span><br><br> <a class="title ui" href="https://www.nanoindustry.su/page/nano_advjournal">В журнале</a> <div style="height:10px"></div> <a class="title ui" href="https://www.nanoindustry.su/page/nano_advsite">На сайте</a> <div style="height:10px"></div> <a class="title ui" href="https://www.nanoindustry.su/page/nano_adv">Отдел рекламы</a> <div style="height:10px"></div> </span></div></div> <div id="panel_menu_authors" class="panel_left"> <div style="padding-top:60px" align="center"><span class="norm std"> <span class="bigger2">Авторам:</span><br><br> <a class="title ui" href="https://www.nanoindustry.su/page/strategy">Стратегия оформления</a> <div style="height:10px"></div> <a class="title ui" href="https://www.nanoindustry.su/page/sci_metrics">Наукометрия</a> <div style="height:10px"></div> <a class="title ui" href="https://www.nanoindustry.su/page/applicant_for_sci">Соискателям учёной степени</a> <div style="height:10px"></div> <a class="title ui" href="https://www.nanoindustry.su/page/nano_to_authors">Требования к статьям и рецензирование</a> <div style="height:10px"></div> </span></div></div> <div id="panel_menu_contacts" class="panel_left"> <div style="padding-top:60px" align="center"><span class="norm std"> <span class="bigger2">Контакты:</span><br><br> <a class="title ui" href="https://www.nanoindustry.su/page/dep_distribution">Распространение</a> <div style="height:10px"></div> <a class="title ui" href="https://www.nanoindustry.su/page/map">Адрес</a> <div style="height:10px"></div> <a class="title ui" href="https://www.nanoindustry.su/page/dep_editorial_nano">Редакция</a> <div style="height:10px"></div> <a class="title ui" href="/feedback/">Написать письмо</a> <div style="height:10px"></div> <a class="title ui" href="https://www.nanoindustry.su/page/social_networks">Соцсети</a> <div style="height:10px"></div> </span></div></div>     <div id="panel_journals" class="panel_left"> <div style="padding-top:60px" align="center"><span class="norm std"> <span class="bigger2">Журналы:</span><br><br> <a class="title ui" target="_top" href="https://www.electronics.ru/">Электроника НТБ</a> <div style="height:10px"></div> <a class="title ui" target="_top" href="https://www.nanoindustry.su/">Наноиндустрия</a> <div style="height:10px"></div> <a class="title ui" target="_top" href="https://www.lastmile.su/">Первая миля</a> <div style="height:10px"></div> <a class="title ui" target="_top" href="https://www.photonics.su/">Фотоника</a> <div style="height:10px"></div> <a class="title ui" target="_top" href="https://www.j-analytics.ru/">Аналитика</a> <div style="height:10px"></div> <a class="title ui" target="_top" href="https://www.stankoinst.ru/">Станкоинструмент</a> <div style="height:10px"></div> </span></div></div>         <div id="panel_books" class="panel_right"> <div style="padding-top:60px" align="center"> <span class="bigger2 std">Книги по нанотехнологиям</span> <div style="padding:20px 3px 0px 0px" align="left"> <div style="float:left" align="right"><a href="https://www.technosphera.ru/lib/book/78"><img src="/images/ready/13/848_875359.jpg" width="65" height="90" border="0" alt="" /></a><br> <span class="smaller3"><a class="more" href="https://www.technosphera.ru/lib/book/78">читать книгу</a></span></div> <div style="float:right; width:132px; padding-top:5px"> <span class="smaller2 gray">Вильнав Ж.-Ж.</span> <div style="height:8px"></div> <span class="smaller1"><a class="hidden" href="https://www.technosphera.ru/lib/book/78">Клеевые соединения</a></span> </div> <div style="clear:both"></div> </div> <div style="padding:20px 3px 0px 0px" align="left"> <div style="float:left" align="right"><a href="https://www.technosphera.ru/lib/book/337"><img src="/images/ready/12/933_540113.jpg" width="65" height="90" border="0" alt="" /></a><br> <span class="smaller3"><a class="more" href="https://www.technosphera.ru/lib/book/337">читать книгу</a></span></div> <div style="float:right; width:132px; padding-top:5px"> <span class="smaller2 gray">Головнин В.А., Каплунов И.А., Малышкина О.В., Педько Б.Б., Мовчикова А.А.</span> <div style="height:8px"></div> <span class="smaller1"><a class="hidden" href="https://www.technosphera.ru/lib/book/337">Физические основы, методы исследования и практическое применение пьезоматериалов/Электронная книга</a></span> </div> <div style="clear:both"></div> </div> <div style="padding:20px 3px 0px 0px" align="left"> <div style="float:left" align="right"><a href="https://www.technosphera.ru/lib/book/64"><img src="/images/ready/14/511_995899.jpg" width="65" height="90" border="0" alt="" /></a><br> <span class="smaller3"><a class="more" href="https://www.technosphera.ru/lib/book/64">читать книгу</a></span></div> <div style="float:right; width:132px; padding-top:5px"> <span class="smaller2 gray">Родунер Э.</span> <div style="height:8px"></div> <span class="smaller1"><a class="hidden" href="https://www.technosphera.ru/lib/book/64">Размерные эффекты в наноматериалах</a></span> </div> <div style="clear:both"></div> </div> <div style="padding:25px 3px 10px 15px" align="left"> <span class="bigger2 std">Другие серии книг:</span> <div style="height:4px"></div> <span class="smaller1"> <a class="title ui" href="https://www.technosphera.ru/lib/6"><b>Мир материалов и технологий</b></a><br> <a class="title ui" href="https://www.technosphera.ru/lib/22">Библиотека Института стратегий развития</a><br> <a class="title ui" href="https://www.technosphera.ru/lib/1">Мир математики</a><br> <a class="title ui" href="https://www.technosphera.ru/lib/2">Мир физики и техники</a><br> <a class="title ui" href="https://www.technosphera.ru/lib/3">Мир биологии и медицины</a><br> <a class="title ui" href="https://www.technosphera.ru/lib/4">Мир химии</a><br> <a class="title ui" href="https://www.technosphera.ru/lib/5">Мир наук о Земле</a><br> <a class="title ui" href="https://www.technosphera.ru/lib/7">Мир электроники</a><br> <a class="title ui" href="https://www.technosphera.ru/lib/8">Мир программирования</a><br> <a class="title ui" href="https://www.technosphera.ru/lib/9">Мир связи</a><br> <a class="title ui" href="https://www.technosphera.ru/lib/10">Мир строительства</a><br> <a class="title ui" href="https://www.technosphera.ru/lib/11">Мир цифровой обработки</a><br> <a class="title ui" href="https://www.technosphera.ru/lib/12">Мир экономики</a><br> <a class="title ui" href="https://www.technosphera.ru/lib/13">Мир дизайна</a><br> <a class="title ui" href="https://www.technosphera.ru/lib/14">Мир увлечений</a><br> <a class="title ui" href="https://www.technosphera.ru/lib/15">Мир робототехники и мехатроники</a><br> <a class="title ui" href="https://www.technosphera.ru/lib/16">Для кофейников</a><br> <a class="title ui" href="https://www.technosphera.ru/lib/17">Мир радиоэлектроники</a><br> <a class="title ui" href="https://www.technosphera.ru/lib/18">Библиотечка «КВАНТ»</a><br> <a class="title ui" href="https://www.technosphera.ru/lib/19">Умный дом</a><br> <a class="title ui" href="https://www.technosphera.ru/lib/20">Мировые бренды</a><br> <a class="title ui" href="https://www.technosphera.ru/lib/21">Вне серий</a><br> <a class="title ui" href="https://www.technosphera.ru/lib/23">Библиотека климатехника</a><br> <a class="title ui" href="https://www.technosphera.ru/lib/24">Мир транспорта</a><br> <a class="title ui" href="https://www.technosphera.ru/lib/25">Мир фотоники</a><br> <a class="title ui" href="https://www.technosphera.ru/lib/26">Мир станкостроения</a><br> <a class="title ui" href="https://www.technosphera.ru/lib/27">Мир метрологии</a><br> <a class="title ui" href="https://www.technosphera.ru/lib/28">Мир энергетики</a><br> <a class="title ui" href="https://www.technosphera.ru/lib/29">Книги, изданные при поддержке РФФИ</a><br> </span></div></div></div>    <div class="height100" align="left" style="width:540px; overflow:visible; float:left; position:relative; left:0px; top:0px; z-index:1"><div align="left" style="width:544px; overflow:hidden; position:relative; left:0px; top:0px; background:#fff url(/img/tsphera/bg_logo_nano.jpg) no-repeat left top"><a class="ui" target="_top" href="https://www.nanoindustry.su/"><div style="height:136px"></div></a>   <div style="height:20px"></div>  <div class="content">  <div align="center"> <span class="bigger2"><a class="gray" href="https://www.nanoindustry.su/journal/2009/1">Выпуск #1/2009</a></span> <div style="height:10px"></div> <span class="bigger1 std"><b>Х.Миркурбанов, В.Тимофеев, В.Одиноков, Г.Павлов, Д.Верёвкин, А.Кравченко.</b></span><br> <span class="bigger3 std">Установка эпитаксиального наращивания слоев для индивидуальной обработки подложек большого диаметра (Продолжение. Начало –"Наноиндустрия" 6/2008)</span> <div style="padding:4px 0 4px 0" align="right"> <span class="smaller1 middle"><a target="_blank" href="/files/article_pdf/1/article_1836_877.pdf">Загрузить полную PDF-версию статьи (580.6 Кб) <img class="middle" src="/img/tsphera/icon_pdf.gif" width="25" height="25" border="0" alt="" style="margin-left:10px"/></a></span> </div> <div style="float:right"><span class="smaller3 disabled nobr"> Просмотры: 2465 </span></div> <div style="clear:both"></div> </div>  <div style="padding:20px 0 0 50px"><span class="bigger1 std">Уменьшение размеров элементов структуры микроприборов до субмикронных требует модернизации существующего и разработки нового эпитаксиального прецизионного оборудования индивидуальной обработки подложек. Особенно это важно при переходе на подложки большого диаметра (200 и 300 мм) и создании эпитаксиальных структур (ЭС) из разнородных материалов.<br>Решение этой задачи невозможно без глубокого теоретического исследования теплофизических и физико-механических параметров состояния подложки, в том числе анализа газодинамических характеристик потока в щелевом кварцевом реакторе и описания структуры пластически деформированных подложек.<br>Совместные исследования в этом направлении проводились ОАО "НИИТМ", ЗАО "Электронточмаш", МГИЭТ (МИЭТ – Технический университет).</span></div> <div class="article" style="padding-top:30px"><span class="norm std"> Температурные поля и напряженно-деформированное состояние подложек<br>Неравномерность распределения температуры по подложке при высокотемпературном нагружении сказывается на качестве ее обработки, вызывая образование структурных дефектов в виде линий скольжения (пластическая деформация). В установках групповой эпитаксии [1, 2] широко применяется нагрев подложки через подложкодержатель с переотражением лучистой энергии. Для оценки влияния теплопередачи на равномерность распределения температурного поля по подложке был построен баланс тепловых потоков в системах подложкодержатель – подложка и подложка – отражающая поверхность. Теплообмен осуществлялся излучением и теплопроводностью газового зазора. Ответственным за неравномерность распределения температуры по радиусу подложки является тепловой поток, возникающий за счет теплопроводности от подложкодержателя с температурой Тnд к подложке и зависящий от величины газового зазора δi, определяемой прогибом подложки, обусловленным градиентом температуры по ее толщине и величиной массовых сил (рис.1). <br><br> По экспериментальным данным перепад температуры по толщине подложки составляет 3–4°С [3,4]. Максимальный прогиб подложки при таком перепаде определяется ее диаметром. Для расчета температурного перепада по радиусу между центром и периферией кремниевой подложки при 1200°С было получено уравнение:<br>............<br>где k – градиент температуры по толщине подложки; α – коэффициент термического расширения материала; q – интенсивность распределенной весовой нагрузки; µ – коэффициент Пуассона для кремния; D = (E·h3)/[12(1-m2)] – изгибная жесткость подложки; Е – модуль упругости материала подложки; h – толщина подложки.<br>Из уравнения (1) следует, что зависимости изменения прогиба от градиента температуры и действия массовых сил разные. Это значит, что геометрия прогиба подложки сложная. Для подложек диаметром 100 мм и ниже прогиб от действия массовых сил составляет единицы микрон, чем можно в расчете ∆Т0R пренебречь. Для подложек диаметром более 150 мм прогиб составляет десятки микрон, что соизмеримо с толщиной газового зазора между подложкой и подложкодержателем.<br>Были рассчитаны перепады температуры вдоль радиуса в кремниевых подложках диаметром 100, 125, 150 и 200 мм при 1200°С и градиенте температуры k = 6°С/мм. В подложках диаметром 100 мм при толщине 440 мкм и прогибе 37 мкм перепад температуры составил 7,4°С, в подложках диаметром 150 мм при прогибе 87 мкм – 17,4°С, в подложке диаметром 200 мм при толщине 800 мкм и прогибе 166 мкм – 31,5°С. Следовательно, перепад температуры растет с увеличением диаметра подложки. <br>Из анализа распределения температуры по радиусу подложки можно выделить три варианта температурного нагружения (см. рис.1).<br>Из решения осесимметричной упругой задачи (второй вариант температурного нагружения, см. рис.1б) установлены две компоненты напряжений – радиальное (σr) и тангенциальное (σθ). При осесимметричной параболической зависимости распределения температуры по подложке расчетные уравнения для напряжений σr и σθ имеют вид [5]:<br>...........<br>где t = r/R – относительный радиус подложки, ∆Т0R – перепад температур между ее центром и периферией.<br>В средней зоне подложки напряжения сжимающие, на периферии σr= 0 и σθ – максимальные растягивающие. Величина σθ при перепаде ∆Т0R = 20°С – 6,76 МПа, при ∆Т0R = 40°С – 11,52 МПа. Тангенциальное максимальное напряжение при ∆Т0R = 20°С близко к пределу текучести кремния (при 1200°С предел текучести кремния σТ ≈ 10 МПа [3,10]) т. е. на периферии подложки при наличии концентраторов напряжений возможна пластическая деформация. При ∆Т0R = 40°С зона пластической деформации расширяется до t > 0,7. При температуре обработки 1100°С, когда величина σθ составляет 15–20 МПа, следы скольжения проявляются в периферийном кольце t > 0,9.<br>Из решения осесимметричной термоупругой задачи (третий вариант температурного нагружения, см. рис.1в) получены уравнения для расчета σr и σθ.<br>...............<br>где b – ширина опорного кольца подложки; R – ее радиус.<br>Расчетные значения σr и σθ для кремниевых подложек диаметром 100, 150 и 200 мм при b = 3 мм и перепадах температуры 10, 20, 30 и 40°С при рабочей температуре 1200°С приведены в табл.1. Из табл.1 следует, что сжимающие тангенцальные напряжения по сечению периферийного кольца независимо от диаметра подложки примерно равны и зависят только от перепада температуры. Для ∆T = 10°C имеем σθ = 6,7 мПа, а для ∆T = 30°C – σθ = 20 мПа, что превышает предел текучести для кремния. Следовательно, в периферийном кольце подложки будет наблюдаться пластическая деформация. <br>Обобщенное напряженное состояние в подложке, соответствующее первому варианту нагружения (см. рис.1а), включает второй и третий варианты. С учетом осевого (∆ТОR) и периферийного (Тnд) перепадов температур для подложек диаметром 100, 150 и 200 мм рассчитаны величины σθ кремниевой подложки. Установлено, что результирующее напряжение в периферийном кольце при ∆Т0R = 20°С – сжимающее и равно 10,75 МПа, что соответствует пределу текучести для кремния при температурах, близких к 1200°С.<br>Механизм пластической деформации подложки<br>Пластическая деформация характеризуется формированием линий скольжения в зоне максимальных тангенциальных напряжений при σθ ≥ σТ или на концентраторах напряжений (рис.2). В качестве концентраторов выступает геометрический рельеф боковой и обратной сторон подложки.<br>Плотность геометрических концентраторов на боковой и обратной поверхностях подложки может достигать 104–105 см–2. Эмиссия дислокационных петель осуществляется работой источника Франка-Рида. Группа петель, выходящих в плоскости скольжения (111) на поверхность подложки под действием касательных напряжений τ, формирует ступеньку линии скольжения. Согласно оценкам, средние пороговые перепады температуры по радиусу подложки начала пластической деформации, рассчитанные при коэффициенте концентрации напряжений, равном 1,5 и σТ =10 МПа, соответственно рабочим температурам 1200, 1000 и 900°С, составляют 17, 50 и 85°С. <br>Из вышеизложенного следует, что исключение пластической деформации при высокотемпературной обработке подложки (предельное снижение количества концентраторов напряжения и тщательный контроль за перепадом температур) достижимо при индивидуальной обработке подложек.<br>Газодинамика потока в реакторе<br>Неравномерность скорости газового потока по подложке приводит к неравномерности скорости роста эпитаксиального слоя, а отсюда и к перепадам в его толщине. Поиск путей выравнивания скорости потока по подложке базируется на анализе газодинамики потока в реакторе.<br>Для расчета газодинамических характеристик потока в щелевом кварцевом реакторе индивидуальной обработки подложек разработаны три компьютерные программы расчета параметров с учетом особенностей конструкции реактора [2]. <br>Первая программа предназначена для расчета параметров течения газового потока в вертикальном сечении реактора по его длине, вторая позволяет рассчитать параметры газового потока на отрезке поворота от вертикального участка ввода потока к горизонтальному (при наличии такового в конструкции реактора). Третья предназначена для расчета симметричного течения в горизонтальном сечении реактора при средних по высоте параметрах потока.<br>Исходные данные для расчета были выбраны в соответствии с реальным процессом эпитаксии в газовых средах: H2-SiH4, <br>H2-SiH2Cl2 и H2-SiHCl3, концентрация водорода H2 97%. Ширину реактора принимали из расчета эпитаксии подложек диаметром 150–200 мм. Внешний вид реактора и его схема приведены на рис.3 и рис.4, соответственно. <br>Любая гетерогенная реакция включает пять стадий, поэтому основное влияние на скорость роста наиболее длительной стадии – скорости подачи материала к поверхности подложки – пропорционально скорости потока [6, 7]. <br>Расчеты линий тока, вертикальной и горизонтальной скоростей, температуры потока на всех трех участках реактора проведены при расходах газа 4000 и 7000 л/ч. Показано, что по всей длине реактора течение ламинарное.<br>На втором участке (с подложкодержателем) скорость потока в вертикальном сечении меняется с 950 до 1720 мм/с за счет роста температуры. Высота пограничного слоя составляет половину высоты реактора.<br>Вертикальная скорость потока над подложкой (второй участок) уменьшается с 24 до 5 мм/с, что объясняется прогревом газового потока. Небольшая величина вертикальной скорости во всех трех участках реактора подтверждает вывод о том, что конвективный теплообмен в реакторе отсутствует.<br>На втором участке температура газового потока составляет 1200°С у поверхности подложкодержателя и 600°С – <br>у верхней охлаждаемой кварцевой стенки. Характер изменения температуры от подложки к верхней стенке ламинарный. Линии тока в горизонтальном сечении сохраняют взаиморасположение на всех трех участках, что соответствует ламинарному течению. На втором участке в горизонтальном сечении осевая скорость меняется от 814 до 1392 мм/с. При этом толщина пограничного слоя растет в пределах сечений от 25 до 50 мм (рис.5).<br>Из анализа газодинамических параметров потока следует:<br>газовый поток в щелевом реакторе ламинарный;<br>высота пограничного слоя на поверхности подложки составляет половину высоты реактора;<br>высота пограничного слоя на боковых стенках реактора в пределах второго участка меняется от 25 до 50 мм;<br>горизонтальная скорость потока на втором участке (по подложке) меняется в пределах 15%.<br>Учитывая неравномерность скорости потока по подложке в пределах 15%, можно ожидать неравномерность толщины эпитаксиального слоя в тех же пределах, что диктует необходимость вращения подложки относительно газового потока.<br>На основании анализа распределения скоростей газового потока по поверхности вращающейся подложки сформулированы условия выбора скорости ее вращения, получено конечное уравнение расчета угловой скорости вращения:<br>............<br>где Un – средняя скорость газового потока по подложке, R – ее радиус. <br>Для подложки диаметром 50 мм при средней скорости потока 1400 мм/с угловая скорость составит n = 67,4 об/мин, для подложки диаметром 200 мм n = 49 об/мин, для подложки 300 мм n = 32,4 об/мин. При отклонении скорости газового потока от средней по подложке в пределах 7,5% ожидаемое отклонение толщины эпитаксиального слоя в реакторе индивидуальной обработки составляет 3,7%.<br>Прочность щелевого реактора для индивидуальной обработки подложек<br>В установках эпитаксиального наращивания единичных подложек используют два режима работы – эпитаксия при нормальном и пониженном давлении. В первом режиме реактор нагружен лишь термической нагрузкой, во втором – термической и внешней нагрузкой (внешнее давление). Схема нагружения щелевого реактора показана на рис.6. <br>В работе [8] описана методика расчета на прочность реактора при действии внешней распределенной нагрузки. Показано, что для предельного уменьшения изгибающих моментов в углах сечений и исключения растягивающих напряжений в стенках последние должны иметь арочную конструкцию.<br>Формула для расчета напряжения в сечении арочной стенки:<br>................<br>где q – распределенная нагрузка на стенку; hр – толщина стенки реактора; f – максимальный прогиб в середине стенки; d – высота боковой стенки; l – длина стенки в поперечном сечении реактора; Rc – радиус кривизны стенки. <br>Знак "-" означает, что напряжение сжимающее. В табл.2 приведены результаты расчета сжимающих напряжений в сечении стенки с толщиной 3 и 4 мм при заданном прогибе f.<br>Напряжение сжатия в стенке в 3–5 раз ниже предела текучести. Такая конструкция кварцевого реактора исключает формоизменение реактора при многократном циклическом нагружении.<br>Заключение<br>Одна из основных задач при производстве микро- и наноприборов – минимизация структурных дефектов в подложках и наращиваемых слоях за счет уменьшения температурных напряжений и привносимых факторов, приобретающая определяющее значение при работе с подложками больших диаметров.<br>Для решения поставленной задачи разработаны базовые принципы построения реакторов индивидуальной обработки подложек большого диаметра и создана установка наращивания прецизионных эпитаксиальных слоев ЕМТ 150/200-1.<br>Особый интерес такое оборудование может представлять для эффективного и качественного тестирования чистоты исходных газов и материалов подложек по параметрам и структурному совершенству эпитаксиального слоя.<br>Различные модификации установки обеспечивают широкий спектр технологических процессов, включая осаждение слоев при избыточном и пониженном давлении с плазменной активацией (PE CVD).<br>Установка может выпускаться как в промышленном, так и в лабораторном варианте для научных исследований, отработки технологий и учебного процесса.<br>Литература:<br>1. Петров С.В., Сигалов Э.Б., Папков Н.С. Эпитаксиальные реакторы для различных областей полупроводникового производства. – Электронная промышленность, 1990, №3, с. 3–6.<br>2. Миркурбанов Х.А. Разработка реактора эпитаксиального наращивания одиночных подложек и исследование в нем теплофизических и физико-механических процессов. Дисс. на соиск. учен. степени канд. техн. наук, М.: 2005.<br>3. Самойликов В.К. Оптимизация технологического оборудования и процесса газофазной эпитаксии кремния производства СБИС. Дисс. на соиск. учен. степени д-ра. техн., наук, М.: 1996.<br>4. Тимофеев В.Н., Сажнев С.В., Миркурбанов Х.А. "Расчет напряженно-деформированного состояния и оценка размеров зоны пластической деформации в полупроводниковой пластине при осесимметричном температурном нагружении". – Материаловедение, 2002, № 9, с. 2–5.<br>5. Освеянский В.Б., Столяров О.Г., Мильвидский М.Г. Влияние заряженных примесей на пластичность полупроводниковых соединений AIIIBV. – Физика твердого тела, 1968, №10 (11), с. 20–24.<br>6. Стрельченко С.С., Матьяш А.А. Кинетика осаждения эпитаксиальных слоев соединений AIIIBV из газовой фазы. / Обзоры по эл. технике. Материалы, вып. 8(678),1979, ЦНИИ "Электроника".<br>7. Бакин Н.Н., Борисенко Л.А. Гетероэпитаксия арсенида галлия на кремнии. / Обзоры по эл. технике. Микроэлектроника, вып. 4(472),1989, ЦНИИ "Электроника".<br>8. Сажнев С.В., Тимофеев В.Н., Миркурбанов Х.А. Методика оценки прочности щелевого реактора установки эпитаксиального наращивания единичных пластин.– Изв. вузов "Электроника", 2004, № 5. </span> <div style="clear:both"></div> </div> <div align="center" style="padding-top:30px"> <span class="norm"><a href="https://www.nanoindustry.su/journal/2009/1">Наноиндустрия. Выпуск #1/2009</a></span> </div>   <script type="text/javascript">//<![CDATA[ var antibot_code=0; function set_antibot () { if (antibot_code>0) return; modalAjaxStart ("/?act=pin&rnd=796600631000&sgn=", {}, function(obj) { if (antibot_code>0) return; antibot_code=obj.code_id; $('img.antibot_img').attr('src',obj.url); $("input[name='codeId']").val(antibot_code); }, true, true); } function get_comment (p) { return ( p==0 ? 'отзыв' : p==1 ? 'отзыва' : 'Отзыв'); }; function smpValidDelForm() { var v={ status: 0, status_password: 0, status_code: 0 }; var f=document.smpDelForm; if (!f.del_adm.checked && !f.del_password.value.match(/\S/)) { v.status=1; v.status_password=1; } if (!f.del_code.value.match(/\S/)) { v.status=1; v.status_code=1; } if (v.status_code==0 && !f.del_code.value.match(/^\s*\d+\s*$/)) { v.status=1; v.status_code=2; } return v; }; function do_del_form(p) { var res=smpValidDelForm(); if (res.status==0) { document.smpDelForm.comment_id.value=p; document.smpDelForm.submit(); } else { $('#del_form_alert').html('Ошибка заполнения формы.'); if (res.status_password) $('#smpDelForm [name=del_password]').not('.error').addClass('error'); if (res.status_code) $('#smpDelForm [name=del_code]').not('.error').addClass('error'); }; return false; }; function retry_del_form(obj) { $(obj).removeClass('error'); $('#del_form_alert').html(' '); resize_win(); }; function do_comment_del (m,p) { modalAjaxDone(); $('div.modalHeader div:first').html('<span class="bigger2 std">Удаление '+get_comment(1)+'</span>'); if (m==1) { $('div.modalContent div:first').html('<div align="center"><span class="norm std">Удалить '+get_comment(0)+'?</span></div>'); $('div.modalFooter div:first').html('<span class="norm"><input type="submit" value=" Да, удалить " onclick="document.location.href="'+p+'"; return false" />    <input type="submit" value=" Отмена " onclick="modalAjaxDone(); return false" /></span>'); superModalShowAndTune(400,200,1); } else { set_antibot(); $('div.modalContent div:first').html('<form name="smpDelForm" id="smpDelForm" method="post" action="/journal/article/1836/?" onsubmit="return do_del_form('+p+')">'+$('#del_form_source').html()+'</form>'); $('div.modalFooter div:first').html('<span id="del_form_alert" class="smaller1 error"> </span><div style="height:3px"></div><span class="norm"><input type="submit" value=" Удалить " onclick="return do_del_form('+p+')" />    <input type="submit" value=" Отмена " onclick="modalAjaxDone(); return false" /></span>'); superModalShowAndTune(500,350,1); }; return false; } // конец If (ClientBan...) //]]></script> <form id="del_form_source" style="display:none"> <input type="hidden" name="CGI_ID" value="8108Vv4EP" /><input type="hidden" name="article_id" value="1836" /><input type="hidden" name="act" value="del" /><input type="hidden" name="codeId" value="" /><input type="hidden" name="comment_id" value="" /><input type="hidden" name="p" value="1" /> <div align="center"><span class="norm std middle"> Введите пароль автора отзыва : <div style="height:2px"></div> <input type="password" class="norm" name="del_password" maxlength="64" value="" style="width:200px" onfocus="retry_del_form($(this))" /> <div style="height:10px"></div> Если не знаете пароля, но считаете необходимым удалить, то: <div style="height:5px"></div> <label><input type="checkbox" class="box" name="del_adm" value="1" onclick="retry_del_form($('#smpDelForm [name=del_password]'))" /> - попросить администратора</label> <div style="height:20px"></div> Введите цифры, которые изображены здесь: <div style="height:2px"></div> <img class="antibot_img middle" src="/img/tsphera/wait.gif" width="75" height="50" alt="" />   <input type="text" class="norm" name="del_code" maxlength="64" value="" style="width:100px" onfocus="retry_del_form($(this))" /> </span></div> </form> <div style="margin-top:30px; background:#e6e6e6; height:10px; position:relative; left:0px; top:0px">  <div style="position:absolute; right:0px; top:-9px; background:#fff"><span class="bigger3 std nobr"> Отзывы читателей</span></div> </div> <div style="padding-top:20px"><span class="norm"><b> <a id="a_new_form" name="a_new_form" class="popup" href="javascript:void(0)" onclick="$(this).blur(); set_antibot(); $('#div_new_form').toggle(); $('#new_text').focus(); return popup_arrow($(this))">Оставить свой отзыв <img class="middle" src="/img/tsphera/arrow_small_dn.gif" width="8" height="7" border="0" alt="" /></a> </b></span></div> <div id="div_new_form" style="padding-top:10px; display:none"> <span class="norm error">Необходимо авторизоваться!</span></div>  <div align="center" style="padding-top:30px"> <span class="norm"><a href="https://www.nanoindustry.su/journal/2009/1">Наноиндустрия. Выпуск #1/2009</a></span> </div> </div> <div style="clear:both; height:30px"></div> </div></div> <div style="clear:both"></div>  </div></div> <div class="ghost"> Разработка: студия <a href="http://www.zelenodolsk.ru">Green Art</a> </div> </body></html>