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style="text-indent:2em;">不止是华卓精科，今年迄今已有超过十家半导体企业终止科创板IPO，这份长长的名单还包括大连科利德半导体材料股份有限公司、得一微电子股份有限公司、合肥芯谷微电子股份有限公司、宁波奥拉半导体股份有限公司、杭州华澜微电子股份有限公司、上海芯旺微电子技术股份有限公司、苏州明传感科技股份有限公司、华羿微电子股份有限公司、青岛信芯微电子科技股份有限公司、山东华光光电子股份有限公司、北京晶亦精微科技股份有限公司等。</p> <p style="text-indent:2em;">华卓精科成立于2012年5月，法定代表人是孙国华，任华卓精科总经理；实际控制人和控股股东是清华大学长聘教授朱煜，任华卓精科首席科学家。其核心产品为纳米精度运动及测控系统，该系统是光刻机的核心子系统之一，其性能对晶圆进行光刻时起到决定性影响，能极大提高光刻机的精度和生产效率。在申报稿中，华卓精科称自己是“国内首家自主研发并实现纳米精度运动及测控系统商业化生产的企业”、“是国产高端光刻机龙头企业纳米精度运动及测控系统产品及技术开发的供应商”。</p> <p style="text-indent:2em;">根据2023年12月披露的《关于北京华卓精科科技股份有限公司首次公开发行股票并在科创板上市申请文件第二轮审核问询函的回复》，上交所的回复材料显示：（1）2017年至2020年9月，光刻机双工件台销量为0，2020年4月向上海微电子发货一台光刻机双工件台，尚未通过验收；（2）2017年至2020年9月，公司收入构成中光刻机双工件台销售金额为1521.37万元、795.00万元、0万元、0万元，实际销售内容为技术服务与双工件台模块非双工件台本身；（3）招股说明书披露公司主要产品包括光刻机双工件台；（4）公司披露的主要产品收入构成包括精密运动系统、晶圆键合设备、激光退火设备等，但实际收入中同时包括产品销售与技术服务。</p> <p style="text-indent:2em;">上交所要求对华卓精科严格按照实际销售情况介绍公司主营业务及主要产品，并要求华卓精科“若无公开客观、权威依据，删除公司的干式光刻机双工件台已达到或接近国际同类设备水平的表述”，最终华卓精科删除了干式纳米精度运动及测控系统已达到或接近国际同类设备水平的相关表述。</p> <p style="text-indent:2em;">此外，问询涉及到华卓精科与清华大学共有技术，包括“2024年3月1日发行人与清华大学签署了光刻机双工件台技术转移与实施《技术转让合同书》，合同总金额为800万元及后续收益提成”。上交所要求华卓精科披露与清华大学共有专利、专利实施许可、技术转让相关合同的条款、是否存在清华大学停止授权或授权第三方的风险，说明其产品和核心技术与清华大学的渊源、公司主要高管及核心技术人员的清华任职背景、目前存在与清华大学的合作研发项目等情形。</p> <p style="text-indent:2em;">华卓精科对此的回复长达50多页。</p> <p style="text-indent:2em;">根据回复，该公司与清华大学作为共同专利权人拥有的专利共计166项（其中5项专利有效期已届满），其中协议转让方式获取的专利115项、委托开发方式获取的专利30项、合作研发方式获取的专利21项，清华大学授权公司独占实施许可的专利1项。</p> <p style="text-indent:2em;">2002年，清华大学建立IC装备研究室，主要从事超精密机械及测控领域的研究；2009年起，IC装备研究室承担国家科技重大专项纳米精度运动及测控系统样机研发项目，研究团队突破并掌握了超精密测控基础理论技术，开发出了纳米精度运动及测控系统研究阶段实验室原理样机，为华卓精科成立后开展纳米精度运动及测控系统产业化奠定了理论和技术基础。2012年4月，在清华大学支持下，北京清华工业开发研究院与IC装备研究室核心团队共同协商决定设立华卓有限。清华大学机械工程系IC装备研究室成员朱煜、徐登峰、张鸣、杨开明、尹文生、胡金春、穆海华、成荣通过华卓精密及艾西精创两个持股平台间接持有华卓有限股权，后于2014年通过股权转让直接持有华卓有限股权。在华卓有限设立初期，IC装备研究室部分项目合同制人员在与清华大学解除劳动合同后加入了华卓有限的研发人员队伍。截至问询函回复之日，清华大学人员在华卓精科处共5人，其中兼职人员5人，分别为朱煜、张鸣、杨开明、成荣、李鑫，华卓精科在技术研发和生产经营活动中均已建立了独立于清华大学的自有团队。</p> <p style="text-indent:2em;">朱煜、张鸣、杨开明3人取得清华大学兼职批复在华卓精科处担任技术咨询顾问类工作，为华卓精科研发过程中的重点难题研发问题提供理论性指导，3人均不直接参与华卓精科的日常技术开发工作。成荣已取得清华大学兼职批复在华卓精科处担任董事，李鑫已获得清华大学兼职批复，其主要对华卓精科销售提供咨询顾问服务。除朱煜、张鸣2名兼职核心技术人员外，华卓精科另有3名专职员工担任核心技术人员，日常大量技术开发工作均由专职技术研发团队人员自主完成。历史上，华卓精科与清华大学在纳米精度运动及测控系统领域的部分研发项目上进行了产学研合作，在合作研发项目中由华卓精科作为主导方，主要负责项目的工程化研究及产业化开发。在去年1月提交多个回复文件之后，华卓精科再无新问询与回复文件披露。苦熬四年的科创板IPO路，最终铩羽而归。</p> <p style="padding-left:2em;display:none;"><a id="button_zanzhu_2" href="https://ailab.cn/zanzhu.html" target="blank">赞助本站</a> </p> </div> <div class="jh_76090">  </div> </div> <div class="bk10"></div> </div> <div class="bk20"></div> <div class="x_g clear"> <div class="lef_s">上一篇：<a href="https://ailab.cn/20240704210306_16/">7月10日新一代三星Galaxy Z系列全球发布焕新AI体验引关注</a></div> <div class="rig_s">下一篇：<a href="https://ailab.cn/20240704210308_16/">消息称铠侠本月开始量产218层NAND</a></div> </div> <div class="bk20"></div> <div class="box xgnr clear"> <h5 class="xgxz_x">相关内容</h5> <ul class="list list21 mr10"><li><a 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href="https://ailab.cn/20250327156539_1/" target="_blank">网友热评Deepseek新版V3：编程堪比最强AI，期待更强R2！</a></li> <li><a href="https://ailab.cn/20250326156503_1/" target="_blank">Gartner：合成数据能够在促进AI发展的同时保护数据隐私</a></li> </ul> </div> <div class="box mt10"> <h5 class="title-2">热门排行</h5> <dl class="digg lmtj"> <dd> <a href="https://ailab.cn/20250216155874_1/" target="_blank" class="margin10_r" title="DeepSeek风暴席卷AI产业链"><img height="80" width="100" src="https://static.ailab.org/ailabcover/74/155874/155874_100_80.jpg" alt=""/></a> <a href="https://ailab.cn/20250216155874_1/" target="_blank">DeepSeek风暴席卷AI产业链</a> <p class="xx">阅读量：5697</p> </dd> <dd> <a href="https://ailab.cn/20241229154588_1/" target="_blank" class="margin10_r" title="国内各大AI产品功能横向对比及使用建议（2024年12月）：文本生成、图片生成&图片处理、智能体篇更新汇总"><img height="80" width="100" src="https://static.ailab.org/ailabcover/88/154588/154588_100_80.jpg" alt=""/></a> <a href="https://ailab.cn/20241229154588_1/" target="_blank">国内各大AI产品功能横向对比及使用建议（2024年12月）：文本生成、图片生成&图片处理、智能体篇更新汇总</a> <p class="xx">阅读量：1963</p> </dd> <dd> <a href="https://ailab.cn/20250327156523_1/" target="_blank" class="margin10_r" title="中美AI风险投资规模相差4倍，启明创投邝子平称“落差不太坏”"><img height="80" width="100" src="https://static.ailab.org/ailabcover/23/156523/156523_100_80.jpg" alt=""/></a> <a href="https://ailab.cn/20250327156523_1/" target="_blank">中美AI风险投资规模相差4倍，启明创投邝子平称“落差不太坏”</a> <p class="xx">阅读量：1697</p> </dd> <dd> <a href="https://ailab.cn/20250327156519_1/" target="_blank" class="margin10_r" title="社科院报告：人工智能发展对国际社会影响越发显著"><img height="80" width="100" src="https://static.ailab.org/ailabcover/19/156519/156519_100_80.jpg" alt=""/></a> <a href="https://ailab.cn/20250327156519_1/" target="_blank">社科院报告：人工智能发展对国际社会影响越发显著</a> <p class="xx">阅读量：1655</p> </dd> <dd> <a href="https://ailab.cn/20250327156521_1/" target="_blank" class="margin10_r" title="全新 ARC-AGI-2 测试登场：AI 模型得分惨淡，被人类碾压"><img height="80" width="100" 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<li><a href="http://www.zhanhuigang.com/zhanhui-83847.html" target="_blank">2025山西砂石及尾矿与建筑固废处理技术与设备展览会</a></li> <li><a href="http://www.zhanhuigang.com/zhanhui-83935.html" target="_blank">2025 中国（山西）城乡环境卫生与市政设施及清洗设备展览会</a></li> <li><a href="http://www.zhanhuigang.com/zhanhui-84093.html" target="_blank">2025第五届中国（武汉）新型电力产业博览会第四届中国（武汉）光伏及清洁能源博览会</a></li> <li><a href="http://www.zhanhuigang.com/zhanhui-84444.html" target="_blank">2025年沙特酒店展</a></li> <li><a href="http://www.zhanhuigang.com/zhanhui-84445.html" target="_blank">2025年德国杜塞尔多夫卫生纸展</a></li> <li><a href="http://www.zhanhuigang.com/zhanhui-84677.html" target="_blank">2025中国国际瓦楞展</a></li> <li><a href="http://www.zhanhuigang.com/zhanhui-84678.html" target="_blank">2025中国国际彩盒展（SinoFoldingCarton 2025） WEPACK</a></li> <li><a href="http://www.zhanhuigang.com/zhanhui-84679.html" target="_blank">2025WEPACK世界包装工业博览会</a></li> <li><a href="http://www.zhanhuigang.com/zhanhui-84680.html" target="_blank">2025第47届（青岛）国际美业博览会（CQBE）</a></li> <li><a href="http://www.zhanhuigang.com/zhanhui-83846.html" target="_blank">第八届中国国际管道会议（CIPC）暨技术装备与成果展</a></li> <li><a href="http://www.zhanhuigang.com/zhanhui-84163.html" target="_blank">第91届中国国际医疗器械 (春季）博览会（CMEF）</a></li> <li><a href="http://www.zhanhuigang.com/zhanhui-84676.html" target="_blank">2025第91届中国国际医疗器械（春季）博览会第38届中国国际医疗器械设计与制造技术（春季）展览会（ICMD） </a></li> <li><a href="http://www.zhanhuigang.com/zhanhui-84194.html" target="_blank">2025深圳国际微波射频及天线技术应用展览会</a></li> <li><a href="http://www.zhanhuigang.com/zhanhui-84681.html" target="_blank">马力多2025第3届徐州门窗移门及定制家居展览会</a></li> <li><a href="http://www.zhanhuigang.com/zhanhui-84446.html" target="_blank">HCE2025广州国际健康产业博览会</a></li> <li><a href="http://www.zhanhuigang.com/zhanhui-84193.html" target="_blank">2025深圳国际半导体制造设备材料与核心部件展览会</a></li> <li><a href="http://www.zhanhuigang.com/zhanhui-84094.html" target="_blank">2025第105届中国（深圳）电子展览会</a></li> <li><a href="http://www.zhanhuigang.com/zhanhui-84020.html" target="_blank">2025第十三届中国电子信息博览会暨2025年第103届中国（深圳）电子展（CITE）</a></li> <li><a href="http://www.zhanhuigang.com/zhanhui-84263.html" target="_blank">2025西班牙瓦伦西亚太阳能+储能展 Solar+Storage Espa?a</a></li> <li><a href="http://www.zhanhuigang.com/zhanhui-84689.html" target="_blank">2025杭州国际珠宝展览会</a></li> <li><a href="http://www.zhanhuigang.com/zhanhui-84196.html" target="_blank">2025亚太国际时尚设计周暨青岛家居全产业链展会</a></li> <li><a href="http://www.zhanhuigang.com/zhanhui-83851.html" target="_blank">2025第十三届中国成都国际宠物博览会（成都宠博会）</a></li> <li><a href="http://www.zhanhuigang.com/zhanhui-84690.html" target="_blank">2025亚欧（兰州）国际生物医药及制药原料设备博览会同期举办： 2025亚欧（兰州）国际医药包装设备及技术展览会 2025亚欧（兰州）国际科学仪器及实验室装备展览会</a></li> <li><a href="http://www.zhanhuigang.com/zhanhui-84688.html" target="_blank">2025第二十三届中国国际环保展览会（CIEPEC）</a></li> <li><a href="http://www.zhanhuigang.com/zhanhui-84687.html" target="_blank">2025第十三届储能国际峰会暨展览会（ESIE）</a></li> <li><a href="http://www.zhanhuigang.com/zhanhui-84686.html" target="_blank">CCLE 2025第九届中国教育后勤展览会</a></li> <li><a href="http://www.zhanhuigang.com/zhanhui-84685.html" target="_blank">2025第26届长沙智能制造装备博览会（长沙智博会 CCEME）</a></li> <li><a href="http://www.zhanhuigang.com/zhanhui-84684.html" target="_blank">2025中国(重庆)国际太阳能光伏与智慧能源展览会</a></li> <li><a href="http://www.zhanhuigang.com/zhanhui-84683.html" target="_blank">2025中国（昆明）旅游民宿产业展览会</a></li> <li><a href="http://www.zhanhuigang.com/zhanhui-84682.html" target="_blank">2025成都国际无人系统（机）技术及设备展览会</a></li> <li><a href="http://www.zhanhuigang.com/zhanhui-84195.html" target="_blank">2025第25届湖南数字安防产业暨智慧警务博览会</a></li> <li><a href="http://www.zhanhuigang.com/zhanhui-84175.html" target="_blank">2025中国南通高端纺织产业博览会</a></li> <li><a href="http://www.zhanhuigang.com/zhanhui-84095.html" target="_blank">2025第五届中部武汉门窗展</a></li> <li><a href="http://www.zhanhuigang.com/zhanhui-84022.html" target="_blank">2025湾区国际智慧档案产业展览会暨2025中国智慧档案产业发展论坛</a></li> <li><a href="http://www.zhanhuigang.com/zhanhui-84021.html" target="_blank">2025第7届华南国际大办公展览会</a></li> <li><a href="http://www.zhanhuigang.com/zhanhui-83853.html" target="_blank">2025第11届广州国际数码印刷、图文快印展览会暨粤港澳国际数码印刷产业展览会</a></li> <li><a href="http://www.zhanhuigang.com/zhanhui-83852.html" target="_blank">2025第19届天津国际温泉泳池沐浴水疗及养生健康产业博览会（天津沐博会）</a></li> <li><a href="http://www.zhanhuigang.com/zhanhui-83850.html" target="_blank">2025杭州台球博览会</a></li> <li><a href="http://www.zhanhuigang.com/zhanhui-83849.html" target="_blank">2025杭州国际棋牌娱乐展览会</a></li> <li><a href="http://www.zhanhuigang.com/zhanhui-83848.html" target="_blank">2025杭州国际台球及配套设施展览会</a></li> </ul> </div> </div>  </div>  <script type="text/javascript"> $(function() { $("img.lazy").lazyload({effect: "fadeIn"}); }); </script> <link href="https://ailab-static.oss-cn-hangzhou.aliyuncs.com/kefu/kefu.css" rel="stylesheet"> <div id="floatTools" class="rides-cs" style="height:320px;"> <div class="floatL"> <a id="aFloatTools_Show" class="btnOpen" title="查看在线客服" style="top:20px;display:block" 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