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Halbleiterwerk – Wikipedia
<!DOCTYPE html> <html class="client-nojs" lang="de" dir="ltr"> <head> <meta charset="UTF-8"> <title>Halbleiterwerk – Wikipedia</title> <script>(function(){var className="client-js";var cookie=document.cookie.match(/(?:^|; )dewikimwclientpreferences=([^;]+)/);if(cookie){cookie[1].split('%2C').forEach(function(pref){className=className.replace(new RegExp('(^| )'+pref.replace(/-clientpref-\w+$|[^\w-]+/g,'')+'-clientpref-\\w+( |$)'),'$1'+pref+'$2');});}document.documentElement.className=className;}());RLCONF={"wgBreakFrames":false,"wgSeparatorTransformTable":[",\t.",".\t,"],"wgDigitTransformTable":["",""],"wgDefaultDateFormat":"dmy","wgMonthNames":["","Januar","Februar","März","April","Mai","Juni","Juli","August","September","Oktober","November","Dezember"],"wgRequestId":"2d06736a-d44d-4654-9700-6542bfe7a782","wgCanonicalNamespace":"","wgCanonicalSpecialPageName":false,"wgNamespaceNumber":0,"wgPageName":"Halbleiterwerk","wgTitle":"Halbleiterwerk","wgCurRevisionId":236226419,"wgRevisionId":236226419,"wgArticleId":7521220,"wgIsArticle":true,"wgIsRedirect":false,"wgAction":"view","wgUserName":null,"wgUserGroups":["*"], "wgCategories":["Wikipedia:Redundanz Dezember 2022","Fertigungstechnische Anlage","Halbleitertechnik","Elektroindustrie"],"wgPageViewLanguage":"de","wgPageContentLanguage":"de","wgPageContentModel":"wikitext","wgRelevantPageName":"Halbleiterwerk","wgRelevantArticleId":7521220,"wgIsProbablyEditable":true,"wgRelevantPageIsProbablyEditable":true,"wgRestrictionEdit":[],"wgRestrictionMove":[],"wgNoticeProject":"wikipedia","wgCiteReferencePreviewsActive":true,"wgFlaggedRevsParams":{"tags":{"accuracy":{"levels":1}}},"wgStableRevisionId":236226419,"wgMediaViewerOnClick":true,"wgMediaViewerEnabledByDefault":true,"wgPopupsFlags":0,"wgVisualEditor":{"pageLanguageCode":"de","pageLanguageDir":"ltr","pageVariantFallbacks":"de"},"wgMFDisplayWikibaseDescriptions":{"search":true,"watchlist":true,"tagline":true,"nearby":true},"wgWMESchemaEditAttemptStepOversample":false,"wgWMEPageLength":7000,"wgRelatedArticlesCompat":[],"wgEditSubmitButtonLabelPublish":true,"wgULSPosition":"interlanguage", "wgULSisCompactLinksEnabled":true,"wgVector2022LanguageInHeader":false,"wgULSisLanguageSelectorEmpty":false,"wgWikibaseItemId":"Q4168959","wgCheckUserClientHintsHeadersJsApi":["brands","architecture","bitness","fullVersionList","mobile","model","platform","platformVersion"],"GEHomepageSuggestedEditsEnableTopics":true,"wgGETopicsMatchModeEnabled":false,"wgGEStructuredTaskRejectionReasonTextInputEnabled":false,"wgGELevelingUpEnabledForUser":false};RLSTATE={"ext.gadget.citeRef":"ready","ext.gadget.defaultPlainlinks":"ready","ext.gadget.dewikiCommonHide":"ready","ext.gadget.dewikiCommonLayout":"ready","ext.gadget.dewikiCommonStyle":"ready","ext.gadget.NavFrame":"ready","ext.globalCssJs.user.styles":"ready","site.styles":"ready","user.styles":"ready","ext.globalCssJs.user":"ready","user":"ready","user.options":"loading","ext.cite.styles":"ready","skins.vector.styles.legacy":"ready","ext.flaggedRevs.basic":"ready","mediawiki.codex.messagebox.styles":"ready", "ext.visualEditor.desktopArticleTarget.noscript":"ready","codex-search-styles":"ready","ext.uls.interlanguage":"ready","wikibase.client.init":"ready","ext.wikimediaBadges":"ready"};RLPAGEMODULES=["ext.cite.ux-enhancements","mediawiki.page.media","site","mediawiki.page.ready","mediawiki.toc","skins.vector.legacy.js","ext.centralNotice.geoIP","ext.centralNotice.startUp","ext.flaggedRevs.advanced","ext.gadget.createNewSection","ext.gadget.WikiMiniAtlas","ext.gadget.OpenStreetMap","ext.gadget.CommonsDirekt","ext.gadget.donateLink","ext.urlShortener.toolbar","ext.centralauth.centralautologin","mmv.bootstrap","ext.popups","ext.visualEditor.desktopArticleTarget.init","ext.visualEditor.targetLoader","ext.echo.centralauth","ext.eventLogging","ext.wikimediaEvents","ext.navigationTiming","ext.uls.compactlinks","ext.uls.interface","ext.cx.eventlogging.campaigns","ext.checkUser.clientHints","ext.quicksurveys.init","ext.growthExperiments.SuggestedEditSession"];</script> <script>(RLQ=window.RLQ||[]).push(function(){mw.loader.impl(function(){return["user.options@12s5i",function($,jQuery,require,module){mw.user.tokens.set({"patrolToken":"+\\","watchToken":"+\\","csrfToken":"+\\"}); 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border-width: 1px; clear: left; margin-bottom:1em; margin-top:1em; padding: 0.25em; overflow: hidden; word-break: break-word; word-wrap: break-word;" id="Vorlage_Doppeleintrag"><div class="noviewer noresize" style="display: table-cell; padding-bottom: 0.2em; padding-left: 0.25em; padding-right: 1em; padding-top: 0.2em; vertical-align: middle;" aria-hidden="true" role="presentation"><span typeof="mw:File"><a href="/wiki/Wikipedia:Redundanz" title="Redundanz"><img alt="" src="//upload.wikimedia.org/wikipedia/commons/thumb/5/52/Merge-arrows.svg/50px-Merge-arrows.svg.png" decoding="async" width="50" height="20" class="mw-file-element" srcset="//upload.wikimedia.org/wikipedia/commons/thumb/5/52/Merge-arrows.svg/75px-Merge-arrows.svg.png 1.5x, //upload.wikimedia.org/wikipedia/commons/thumb/5/52/Merge-arrows.svg/100px-Merge-arrows.svg.png 2x" data-file-width="50" data-file-height="20" /></a></span></div> <div style="display: table-cell; vertical-align: middle; width: 100%;"> <div> Die Artikel <a class="mw-selflink selflink">Halbleiterwerk</a> und <a href="/wiki/Foundry" title="Foundry">Foundry</a> überschneiden sich thematisch. Informationen, die du hier suchst, können sich also auch im anderen Artikel befinden.<br />Gerne kannst du dich an der <a href="/wiki/Wikipedia:Redundanz/Dezember_2022#Halbleiterwerk_-_Foundry" title="Wikipedia:Redundanz/Dezember 2022">betreffenden Redundanzdiskussion</a> beteiligen oder direkt dabei helfen, die Artikel zusammenzuführen oder besser voneinander abzugrenzen (→ <a href="/wiki/Wikipedia:Redundanz#Redundanzen_beseitigen" title="Wikipedia:Redundanz">Anleitung</a>).</div> </div></div> <figure class="mw-default-size" typeof="mw:File/Thumb"><a href="/wiki/Datei:Cleanroom1.jpg" class="mw-file-description"><img src="//upload.wikimedia.org/wikipedia/commons/thumb/1/16/Cleanroom1.jpg/220px-Cleanroom1.jpg" decoding="async" width="220" height="132" class="mw-file-element" srcset="//upload.wikimedia.org/wikipedia/commons/thumb/1/16/Cleanroom1.jpg/330px-Cleanroom1.jpg 1.5x, //upload.wikimedia.org/wikipedia/commons/thumb/1/16/Cleanroom1.jpg/440px-Cleanroom1.jpg 2x" data-file-width="945" data-file-height="566" /></a><figcaption>Bau eines Reinraumes eines Halbleiterwerkes</figcaption></figure> <p>Ein <b>Halbleiterwerk</b> (<span style="font-style:normal;font-weight:normal"><a href="/wiki/Englische_Sprache" title="Englische Sprache">englisch</a></span> <span lang="en-Latn" style="font-style:italic"><b>Fab</b></span>, kurz für <span lang="en"><i>semiconductor fabrication plant</i></span>), auch <b>Halbleiter-</b> oder <b>Chipfabrik</b> genannt, ist eine <a href="/wiki/Fabrik" title="Fabrik">Fabrik</a>, in der <a href="/wiki/Integrierter_Schaltkreis" title="Integrierter Schaltkreis">integrierte Schaltkreise</a> (IC) für die Halbleiter- und <a href="/wiki/Mikroelektronik" title="Mikroelektronik">Mikroelektronikindustrie</a> produziert werden. </p> <div id="toc" class="toc" role="navigation" aria-labelledby="mw-toc-heading"><input type="checkbox" role="button" id="toctogglecheckbox" class="toctogglecheckbox" style="display:none" /><div class="toctitle" lang="de" dir="ltr"><h2 id="mw-toc-heading">Inhaltsverzeichnis</h2><span class="toctogglespan"><label class="toctogglelabel" for="toctogglecheckbox"></label></span></div> <ul> <li class="toclevel-1 tocsection-1"><a href="#Aufbau"><span class="tocnumber">1</span> <span class="toctext">Aufbau</span></a></li> <li class="toclevel-1 tocsection-2"><a href="#Halbleiterwerke"><span class="tocnumber">2</span> <span class="toctext">Halbleiterwerke</span></a></li> <li class="toclevel-1 tocsection-3"><a href="#Geschichte"><span class="tocnumber">3</span> <span class="toctext">Geschichte</span></a></li> <li class="toclevel-1 tocsection-4"><a href="#Ökonomie"><span class="tocnumber">4</span> <span class="toctext">Ökonomie</span></a> <ul> <li class="toclevel-2 tocsection-5"><a href="#Geschäftsmodell"><span class="tocnumber">4.1</span> <span class="toctext">Geschäftsmodell</span></a></li> <li class="toclevel-2 tocsection-6"><a href="#Abgrenzung_Foundry"><span class="tocnumber">4.2</span> <span class="toctext">Abgrenzung Foundry</span></a></li> <li class="toclevel-2 tocsection-7"><a href="#Kosten"><span class="tocnumber">4.3</span> <span class="toctext">Kosten</span></a></li> </ul> </li> <li class="toclevel-1 tocsection-8"><a href="#Weblinks"><span class="tocnumber">5</span> <span class="toctext">Weblinks</span></a></li> <li class="toclevel-1 tocsection-9"><a href="#Einzelnachweise"><span class="tocnumber">6</span> <span class="toctext">Einzelnachweise</span></a></li> </ul> </div> <div class="mw-heading mw-heading2"><h2 id="Aufbau">Aufbau</h2><span class="mw-editsection"><span class="mw-editsection-bracket">[</span><a href="/w/index.php?title=Halbleiterwerk&veaction=edit&section=1" title="Abschnitt bearbeiten: Aufbau" class="mw-editsection-visualeditor"><span>Bearbeiten</span></a><span class="mw-editsection-divider"> | </span><a href="/w/index.php?title=Halbleiterwerk&action=edit&section=1" title="Quellcode des Abschnitts bearbeiten: Aufbau"><span>Quelltext bearbeiten</span></a><span class="mw-editsection-bracket">]</span></span></div> <p>An die <a href="/wiki/Produktionssteuerung" class="mw-redirect" title="Produktionssteuerung">Produktionssteuerung</a> werden erhebliche Ansprüche gestellt. Den zentralen Teil eines Halbleiterwerks stellt der <a href="/wiki/Reinraum" title="Reinraum">Reinraum</a> dar, in welchem für eine möglichst geringe <a href="/wiki/Stoffreinheit" title="Stoffreinheit">Kontamination</a> der Luft durch Partikel Sorge zu tragen ist, da diese die <a href="/wiki/Ausbeute_(Halbleitertechnik)" title="Ausbeute (Halbleitertechnik)">Ausbeute</a> maßgeblich beeinflussen. Daneben muss er einen Bereich bieten, in dem Temperatur und Luftfeuchtigkeit geregelt werden können und zudem Schutz gegen Erschütterungen gewährleisten. Da in einer Halbleiterfabrik kontinuierlich produziert wird, das heißt 7 Tage pro Woche und 24 Stunden pro Tag, müssen diese und weitere Rahmenbedingungen (z. B. Versorgung mit Verbrauchsmedien und Elektroenergieversorgung) ständig gewährleistet sein. Die Fertigung erfolgt in <a href="/wiki/Losfertigung" title="Losfertigung">Losfertigung</a>, das heißt, die eigentlichen „Werkstücke“, die <a href="/wiki/Wafer" title="Wafer">Wafer</a>, werden in einem <a href="/wiki/Los_(Produktion)" title="Los (Produktion)">Los</a> (üblicherweise 25 Wafer) zusammengefasst und zusammen bearbeitet. Die Produktionsdauer für ein Los ist abhängig von der Komplexität des Produktes und liegt zwischen einigen Tagen bis wenigen Monaten. </p><p>Im Reinraum befinden sich Produktionsanlagen für die zahlreichen Verfahren der <a href="/wiki/Halbleitertechnik" title="Halbleitertechnik">Halbleitertechnik</a>, mit deren Methoden die integrierten Schaltkreise hergestellt werden. Zu diesen Anlagen zählen unter anderem <a href="/wiki/Stepper_(Halbleitertechnik)" title="Stepper (Halbleitertechnik)">Stepper</a>, <a href="/wiki/%C3%84tzen" title="Ätzen">Ätzanlagen</a>, Reinigungsanlagen, <a href="/wiki/Ionenimplantation" title="Ionenimplantation">Ionenimplantationsanlagen</a> und Messtechnik, wie <a href="/wiki/Ellipsometer" class="mw-redirect" title="Ellipsometer">Ellipsometer</a>, <a href="/wiki/Rasterelektronenmikroskop" title="Rasterelektronenmikroskop">Rasterelektronenmikroskope</a> oder <a href="/wiki/Dunkelfeldmikroskop" class="mw-redirect" title="Dunkelfeldmikroskop">Dunkelfeldmikroskope</a>. In einem Halbleiterwerk sind die Anlagen nicht wie in anderen Branchen der Massenproduktion, z. B. die Automobilindustrie, mit einem Fließband verbunden (vgl. <a href="/wiki/Flie%C3%9Ffertigung" class="mw-redirect" title="Fließfertigung">Fließfertigung</a>), sondern stehen in der Regel in Gruppen gleicher Anlagen bzw. Anlagen gleicher Produktionsabschnitte zusammen (vgl. <a href="/wiki/Werkst%C3%A4ttenfertigung" class="mw-redirect" title="Werkstättenfertigung">Werkstättenfertigung</a>). Durch eine zunehmende Automatisierung (inkl. automatischem An- und Abtransport der Lose) wird diese Gruppierung bzw. die Nachbarschaft zu Anlagen vorhergehender oder nachfolgender Produktionsschritte weniger relevant, so dass diese Anlagenanordnung weniger streng umgesetzt werden muss. </p> <div class="mw-heading mw-heading2"><h2 id="Halbleiterwerke">Halbleiterwerke</h2><span class="mw-editsection"><span class="mw-editsection-bracket">[</span><a href="/w/index.php?title=Halbleiterwerk&veaction=edit&section=2" title="Abschnitt bearbeiten: Halbleiterwerke" class="mw-editsection-visualeditor"><span>Bearbeiten</span></a><span class="mw-editsection-divider"> | </span><a href="/w/index.php?title=Halbleiterwerk&action=edit&section=2" title="Quellcode des Abschnitts bearbeiten: Halbleiterwerke"><span>Quelltext bearbeiten</span></a><span class="mw-editsection-bracket">]</span></span></div> <p>Zu den größten Halbleiterwerken der Welt (nach Kapazität „Wafer pro Monat“), zählen z. B. die „GigaFabs“ von <a href="/wiki/TSMC" title="TSMC">TSMC</a> in Taiwan. Das nach eigenen Angaben größte Halbleiterwerk der Welt (Stand 2017) wurde von Samsung in <a href="/wiki/Pyeongtaek" title="Pyeongtaek">Pyeongtaek</a> errichtet.<sup id="cite_ref-1" class="reference"><a href="#cite_note-1"><span class="cite-bracket">[</span>1<span class="cite-bracket">]</span></a></sup> Der chinesische Konzern GTA Semiconductor plant eine 300 mm Fabrik mit Kapazität von 300.000 Wafern pro Jahr.<sup id="cite_ref-2" class="reference"><a href="#cite_note-2"><span class="cite-bracket">[</span>2<span class="cite-bracket">]</span></a></sup> </p> <div class="mw-heading mw-heading2"><h2 id="Geschichte">Geschichte</h2><span class="mw-editsection"><span class="mw-editsection-bracket">[</span><a href="/w/index.php?title=Halbleiterwerk&veaction=edit&section=3" title="Abschnitt bearbeiten: Geschichte" class="mw-editsection-visualeditor"><span>Bearbeiten</span></a><span class="mw-editsection-divider"> | </span><a href="/w/index.php?title=Halbleiterwerk&action=edit&section=3" title="Quellcode des Abschnitts bearbeiten: Geschichte"><span>Quelltext bearbeiten</span></a><span class="mw-editsection-bracket">]</span></span></div> <div class="sieheauch" role="navigation" style="font-style:italic;"><span class="sieheauch-text">Siehe auch</span>: <a href="/wiki/Halbleiterindustrie" title="Halbleiterindustrie">Halbleiterindustrie</a>, <a href="/wiki/Fabless" title="Fabless">Fabless</a> und <a href="/wiki/Foundry" title="Foundry">Foundry</a></div> <div class="mw-heading mw-heading2"><h2 id="Ökonomie"><span id=".C3.96konomie"></span>Ökonomie</h2><span class="mw-editsection"><span class="mw-editsection-bracket">[</span><a href="/w/index.php?title=Halbleiterwerk&veaction=edit&section=4" title="Abschnitt bearbeiten: Ökonomie" class="mw-editsection-visualeditor"><span>Bearbeiten</span></a><span class="mw-editsection-divider"> | </span><a href="/w/index.php?title=Halbleiterwerk&action=edit&section=4" title="Quellcode des Abschnitts bearbeiten: Ökonomie"><span>Quelltext bearbeiten</span></a><span class="mw-editsection-bracket">]</span></span></div> <div class="sieheauch" role="navigation" style="font-style:italic;"><span class="sieheauch-text">Siehe auch</span>: <a href="/wiki/Halbleiterindustrie" title="Halbleiterindustrie">Halbleiterindustrie</a></div> <div class="mw-heading mw-heading3"><h3 id="Geschäftsmodell"><span id="Gesch.C3.A4ftsmodell"></span>Geschäftsmodell</h3><span class="mw-editsection"><span class="mw-editsection-bracket">[</span><a href="/w/index.php?title=Halbleiterwerk&veaction=edit&section=5" title="Abschnitt bearbeiten: Geschäftsmodell" class="mw-editsection-visualeditor"><span>Bearbeiten</span></a><span class="mw-editsection-divider"> | </span><a href="/w/index.php?title=Halbleiterwerk&action=edit&section=5" title="Quellcode des Abschnitts bearbeiten: Geschäftsmodell"><span>Quelltext bearbeiten</span></a><span class="mw-editsection-bracket">]</span></span></div> <p>Die Halbleiterindustrie hat ihre Geschäftsstrukturen über die letzten Jahrzehnte verändert und den technologisch-wirtschaftlich-politischen Gegebenheiten und Entwicklungen angepasst. Ein Halbleiterwerk muss heutzutage nicht gleich dem Unternehmen entsprechen, welches die Produkte entwickelt oder verkauft. Dieser Umstand ist dem <a href="/wiki/Fabless" title="Fabless">Fabless</a>/<a href="/wiki/Foundry" title="Foundry">Foundry</a>-Modell geschuldet. Dabei trennen sich entwicklungsstarke Unternehmen (Fabless) von Produktionsstarken (Foundries). Foundries bieten des Weiteren auch Leistungen beim Design an, um die hochintegrierten Prozesse mit dem Fabless-Design fließend zu verbinden. Dabei spielen hochentwickelte <a href="/wiki/Electronic_Design_Automation" title="Electronic Design Automation">EDA</a>-Werkzeuge eine entscheidende Rolle. Nichtsdestotrotz betreiben z. B. die Unternehmen <a href="/wiki/Intel" title="Intel">Intel</a> oder <a href="/wiki/Samsung" title="Samsung">Samsung</a> eigene Halbleiterfabriken und entwickeln, verkaufen und vermarkten ihre eigenen Produkte. </p> <div class="mw-heading mw-heading3"><h3 id="Abgrenzung_Foundry">Abgrenzung Foundry</h3><span class="mw-editsection"><span class="mw-editsection-bracket">[</span><a href="/w/index.php?title=Halbleiterwerk&veaction=edit&section=6" title="Abschnitt bearbeiten: Abgrenzung Foundry" class="mw-editsection-visualeditor"><span>Bearbeiten</span></a><span class="mw-editsection-divider"> | </span><a href="/w/index.php?title=Halbleiterwerk&action=edit&section=6" title="Quellcode des Abschnitts bearbeiten: Abgrenzung Foundry"><span>Quelltext bearbeiten</span></a><span class="mw-editsection-bracket">]</span></span></div> <p>Anhand des Geschäftsmodells lässt eine Abgrenzung zu Foundries festhalten. Foundries bieten ihre Prozesse und Produktion unterschiedlichen Kunden an. Hersteller-eigene Halbleiterwerke, z. B. von Intel produzieren vornehmlich Halbleiterprodukte aus eigener Entwicklung. </p> <div class="mw-heading mw-heading3"><h3 id="Kosten">Kosten</h3><span class="mw-editsection"><span class="mw-editsection-bracket">[</span><a href="/w/index.php?title=Halbleiterwerk&veaction=edit&section=7" title="Abschnitt bearbeiten: Kosten" class="mw-editsection-visualeditor"><span>Bearbeiten</span></a><span class="mw-editsection-divider"> | </span><a href="/w/index.php?title=Halbleiterwerk&action=edit&section=7" title="Quellcode des Abschnitts bearbeiten: Kosten"><span>Quelltext bearbeiten</span></a><span class="mw-editsection-bracket">]</span></span></div> <p>Aufgrund der stetig steigenden Anforderungen an kleinere Strukturgrößen, Leistung und Effizienz, sowie wachsender Waferdurchmesser (Multimilliarden-Dollar Umstieg der Industrie auf 300 mm ca. ab dem Jahr 2000<sup id="cite_ref-3" class="reference"><a href="#cite_note-3"><span class="cite-bracket">[</span>3<span class="cite-bracket">]</span></a></sup><sup id="cite_ref-4" class="reference"><a href="#cite_note-4"><span class="cite-bracket">[</span>4<span class="cite-bracket">]</span></a></sup>) stiegen die Baukosten für ein Halbleiterwerk seit Jahrzehnten kontinuierlich an. </p><p>Die Baukosten für ein modernes Halbleiterwerk für 300 mm Wafer lagen 2012 bei mehreren Milliarden US-Dollar. Beispielsweise kostete die 2012 in Betrieb genommene <i>Fab15</i> von <a href="/wiki/TSMC" title="TSMC">TSMC</a> in Taiwan rund 9,3 Mrd. USD.<sup id="cite_ref-5" class="reference"><a href="#cite_note-5"><span class="cite-bracket">[</span>5<span class="cite-bracket">]</span></a></sup> </p><p>Neuste Fabriken von z. B. TSMC (5 nm Strukturgrößen) bearbeiten rund 20.000 Wafer pro Monat und Kosten um die 12 Milliarden USD.<sup id="cite_ref-6" class="reference"><a href="#cite_note-6"><span class="cite-bracket">[</span>6<span class="cite-bracket">]</span></a></sup> </p><p>Neue Fabriken unterliegen hohen Investitionskosten, wirtschaftlichem Druck (<a href="/wiki/Time-to-Market" title="Time-to-Market">Time-to-market</a>) und müssen kontinuierlich ausgelastet sein, um wirtschaftlich <a href="/wiki/Rentabilit%C3%A4t" title="Rentabilität">rentabel</a> zu sein. </p> <div class="mw-heading mw-heading2"><h2 id="Weblinks">Weblinks</h2><span class="mw-editsection"><span class="mw-editsection-bracket">[</span><a href="/w/index.php?title=Halbleiterwerk&veaction=edit&section=8" title="Abschnitt bearbeiten: Weblinks" class="mw-editsection-visualeditor"><span>Bearbeiten</span></a><span class="mw-editsection-divider"> | </span><a href="/w/index.php?title=Halbleiterwerk&action=edit&section=8" title="Quellcode des Abschnitts bearbeiten: Weblinks"><span>Quelltext bearbeiten</span></a><span class="mw-editsection-bracket">]</span></span></div> <ul><li><a href="https://en.wikipedia.org/wiki/List_of_semiconductor_fabrication_plants" class="extiw" title="en:List of semiconductor fabrication plants">List of semiconductor fabrication plants</a> (englisch)</li></ul> <div class="mw-heading mw-heading2"><h2 id="Einzelnachweise">Einzelnachweise</h2><span class="mw-editsection"><span class="mw-editsection-bracket">[</span><a href="/w/index.php?title=Halbleiterwerk&veaction=edit&section=9" title="Abschnitt bearbeiten: Einzelnachweise" class="mw-editsection-visualeditor"><span>Bearbeiten</span></a><span class="mw-editsection-divider"> | </span><a href="/w/index.php?title=Halbleiterwerk&action=edit&section=9" title="Quellcode des Abschnitts bearbeiten: Einzelnachweise"><span>Quelltext bearbeiten</span></a><span class="mw-editsection-bracket">]</span></span></div> <ol class="references"> <li id="cite_note-1"><span class="mw-cite-backlink"><a href="#cite_ref-1">↑</a></span> <span class="reference-text"><span class="cite"><a rel="nofollow" class="external text" href="https://news.samsung.com/global/samsung-electronics-begins-mass-production-at-new-semiconductor-plant-in-pyeongtaek-south-korea"><i>Samsung Electronics Begins Mass Production at New Semiconductor Plant in Pyeongtaek, South Korea.</i></a> Samsung, 4. Juli 2017,<span class="Abrufdatum"> abgerufen am 17. Januar 2023</span> (englisch).</span><span style="display: none;" class="Z3988" title="ctx_ver=Z39.88-2004&rft_val_fmt=info%3Aofi%2Ffmt%3Akev%3Amtx%3Adc&rfr_id=info%3Asid%2Fde.wikipedia.org%3AHalbleiterwerk&rft.title=Samsung+Electronics+Begins+Mass+Production+at+New+Semiconductor+Plant+in+Pyeongtaek%2C+South+Korea&rft.description=Samsung+Electronics+Begins+Mass+Production+at+New+Semiconductor+Plant+in+Pyeongtaek%2C+South+Korea&rft.identifier=https%3A%2F%2Fnews.samsung.com%2Fglobal%2Fsamsung-electronics-begins-mass-production-at-new-semiconductor-plant-in-pyeongtaek-south-korea&rft.publisher=Samsung&rft.date=2017-07-04&rft.language=en"> </span></span> </li> <li id="cite_note-2"><span class="mw-cite-backlink"><a href="#cite_ref-2">↑</a></span> <span class="reference-text"><span class="cite">Tang Shihua: <a rel="nofollow" class="external text" href="https://www.yicaiglobal.com/news/gta-semiconductor-opens-new-usd51-billion-wafer-plant"><i>GTA Semiconductor Opens New USD5.1 Billion Wafer Plant.</i></a> In: <i><a href="/w/index.php?title=Yicai_Global&action=edit&redlink=1" class="new" title="Yicai Global (Seite nicht vorhanden)">Yicai Global</a>.</i> <a href="/w/index.php?title=Yicai_Media_Group&action=edit&redlink=1" class="new" title="Yicai Media Group (Seite nicht vorhanden)">Yicai Media Group</a>, 31. Mai 2020,<span class="Abrufdatum"> abgerufen am 17. Januar 2023</span> (englisch).</span><span style="display: none;" class="Z3988" title="ctx_ver=Z39.88-2004&rft_val_fmt=info%3Aofi%2Ffmt%3Akev%3Amtx%3Adc&rfr_id=info%3Asid%2Fde.wikipedia.org%3AHalbleiterwerk&rft.title=GTA+Semiconductor+Opens+New+USD5.1+Billion+Wafer+Plant&rft.description=GTA+Semiconductor+Opens+New+USD5.1+Billion+Wafer+Plant&rft.identifier=https%3A%2F%2Fwww.yicaiglobal.com%2Fnews%2Fgta-semiconductor-opens-new-usd51-billion-wafer-plant&rft.creator=Tang+Shihua&rft.publisher=%5B%5BYicai+Media+Group%5D%5D&rft.date=2020-05-31&rft.language=en"> </span></span> </li> <li id="cite_note-3"><span class="mw-cite-backlink"><a href="#cite_ref-3">↑</a></span> <span class="reference-text"><span class="cite">Klaus H. Knapp: <a rel="nofollow" class="external text" href="https://www.ingenieur.de/technik/fachbereiche/elektronik/chips-grossen-scheiben/"><i>Chips von großen Scheiben - ingenieur.de.</i></a> In: <i>Ingenieur.de.</i> VDI, 23. Juni 2000,<span class="Abrufdatum"> abgerufen am 17. Januar 2023</span> (deutsch).</span><span style="display: none;" class="Z3988" title="ctx_ver=Z39.88-2004&rft_val_fmt=info%3Aofi%2Ffmt%3Akev%3Amtx%3Adc&rfr_id=info%3Asid%2Fde.wikipedia.org%3AHalbleiterwerk&rft.title=Chips+von+gro%C3%9Fen+Scheiben+-+ingenieur.de&rft.description=Chips+von+gro%C3%9Fen+Scheiben+-+ingenieur.de&rft.identifier=https%3A%2F%2Fwww.ingenieur.de%2Ftechnik%2Ffachbereiche%2Felektronik%2Fchips-grossen-scheiben%2F&rft.creator=Klaus+H.+Knapp&rft.publisher=VDI&rft.date=2000-06-23&rft.language=de-DE"> </span></span> </li> <li id="cite_note-4"><span class="mw-cite-backlink"><a href="#cite_ref-4">↑</a></span> <span class="reference-text"><span class="cite"><a rel="nofollow" class="external text" href="https://www.chiphistory.org/semiconductor-wafer-of-300mm"><i>300mm Semiconductor Wafer Revolution in IC's Chip Industry.</i></a> In: <i><a href="/w/index.php?title=The_Chip_History_Center&action=edit&redlink=1" class="new" title="The Chip History Center (Seite nicht vorhanden)">The Chip History Center</a>.</i> <a href="/w/index.php?title=TechInsights&action=edit&redlink=1" class="new" title="TechInsights (Seite nicht vorhanden)">TechInsights</a>, 30. Juni 1998,<span class="Abrufdatum"> abgerufen am 17. Januar 2023</span> (amerikanisches Englisch).</span><span style="display: none;" class="Z3988" title="ctx_ver=Z39.88-2004&rft_val_fmt=info%3Aofi%2Ffmt%3Akev%3Amtx%3Adc&rfr_id=info%3Asid%2Fde.wikipedia.org%3AHalbleiterwerk&rft.title=300mm+Semiconductor+Wafer+Revolution+in+IC%27s+Chip+Industry&rft.description=300mm+Semiconductor+Wafer+Revolution+in+IC%27s+Chip+Industry&rft.identifier=https%3A%2F%2Fwww.chiphistory.org%2Fsemiconductor-wafer-of-300mm&rft.publisher=%5B%5BTechInsights%5D%5D&rft.date=1998-06-30&rft.language=en-us"> </span></span> </li> <li id="cite_note-5"><span class="mw-cite-backlink"><a href="#cite_ref-5">↑</a></span> <span class="reference-text"><span class="cite"><a rel="nofollow" class="external text" href="https://pr.tsmc.com/english/news/1629"><i>TSMC Begins Construction on Gigafab In Central Taiwan.</i></a> TSMC, 16. Juli 2010,<span class="Abrufdatum"> abgerufen am 17. Januar 2023</span> (englisch).</span><span style="display: none;" class="Z3988" title="ctx_ver=Z39.88-2004&rft_val_fmt=info%3Aofi%2Ffmt%3Akev%3Amtx%3Adc&rfr_id=info%3Asid%2Fde.wikipedia.org%3AHalbleiterwerk&rft.title=TSMC+Begins+Construction+on+Gigafab+In+Central+Taiwan&rft.description=TSMC+Begins+Construction+on+Gigafab+In+Central+Taiwan&rft.identifier=https%3A%2F%2Fpr.tsmc.com%2Fenglish%2Fnews%2F1629&rft.publisher=TSMC&rft.date=2010-07-16&rft.language=en"> </span></span> </li> <li id="cite_note-6"><span class="mw-cite-backlink"><a href="#cite_ref-6">↑</a></span> <span class="reference-text"><span class="cite">Scotten Jones: <a rel="nofollow" class="external text" href="https://semiwiki.com/semiconductor-manufacturers/tsmc/285846-cost-analysis-of-the-proposed-tsmc-us-fab/"><i>Cost Analysis of the Proposed TSMC US Fab.</i></a> SemiWiki, 19. Mai 2020,<span class="Abrufdatum"> abgerufen am 17. Januar 2023</span> (englisch).</span><span style="display: none;" class="Z3988" title="ctx_ver=Z39.88-2004&rft_val_fmt=info%3Aofi%2Ffmt%3Akev%3Amtx%3Adc&rfr_id=info%3Asid%2Fde.wikipedia.org%3AHalbleiterwerk&rft.title=Cost+Analysis+of+the+Proposed+TSMC+US+Fab&rft.description=Cost+Analysis+of+the+Proposed+TSMC+US+Fab&rft.identifier=https%3A%2F%2Fsemiwiki.com%2Fsemiconductor-manufacturers%2Ftsmc%2F285846-cost-analysis-of-the-proposed-tsmc-us-fab%2F&rft.creator=Scotten+Jones&rft.publisher=SemiWiki&rft.date=2020-05-19&rft.language=en"> </span></span> </li> </ol></div><!--esi <esi:include src="/esitest-fa8a495983347898/content" /> --><noscript><img src="https://login.wikimedia.org/wiki/Special:CentralAutoLogin/start?useformat=desktop&type=1x1&usesul3=0" alt="" width="1" height="1" style="border: none; position: absolute;"></noscript> <div class="printfooter" data-nosnippet="">Abgerufen von „<a dir="ltr" href="https://de.wikipedia.org/w/index.php?title=Halbleiterwerk&oldid=236226419">https://de.wikipedia.org/w/index.php?title=Halbleiterwerk&oldid=236226419</a>“</div></div> <div id="catlinks" class="catlinks" data-mw="interface"><div id="mw-normal-catlinks" class="mw-normal-catlinks"><a href="/wiki/Wikipedia:Kategorien" title="Wikipedia:Kategorien">Kategorien</a>: <ul><li><a href="/wiki/Kategorie:Fertigungstechnische_Anlage" title="Kategorie:Fertigungstechnische Anlage">Fertigungstechnische Anlage</a></li><li><a href="/wiki/Kategorie:Halbleitertechnik" title="Kategorie:Halbleitertechnik">Halbleitertechnik</a></li><li><a href="/wiki/Kategorie:Elektroindustrie" title="Kategorie:Elektroindustrie">Elektroindustrie</a></li></ul></div><div id="mw-hidden-catlinks" class="mw-hidden-catlinks mw-hidden-cats-hidden">Versteckte Kategorie: <ul><li><a href="/wiki/Kategorie:Wikipedia:Redundanz_Dezember_2022" title="Kategorie:Wikipedia:Redundanz Dezember 2022">Wikipedia:Redundanz Dezember 2022</a></li></ul></div></div> </div> </div> <div id="mw-navigation"> <h2>Navigationsmenü</h2> <div id="mw-head"> <nav id="p-personal" class="mw-portlet mw-portlet-personal vector-user-menu-legacy vector-menu" aria-labelledby="p-personal-label" > <h3 id="p-personal-label" class="vector-menu-heading " > <span class="vector-menu-heading-label">Meine Werkzeuge</span> </h3> <div class="vector-menu-content"> <ul class="vector-menu-content-list"> <li id="pt-anonuserpage" class="mw-list-item"><span title="Benutzerseite der IP-Adresse, von der aus du Änderungen durchführst">Nicht angemeldet</span></li><li id="pt-anontalk" class="mw-list-item"><a href="/wiki/Spezial:Meine_Diskussionsseite" title="Diskussion über Änderungen von dieser IP-Adresse [n]" accesskey="n"><span>Diskussionsseite</span></a></li><li id="pt-anoncontribs" class="mw-list-item"><a href="/wiki/Spezial:Meine_Beitr%C3%A4ge" title="Eine Liste der Bearbeitungen, die von dieser IP-Adresse gemacht wurden [y]" accesskey="y"><span>Beiträge</span></a></li><li id="pt-createaccount" class="mw-list-item"><a href="/w/index.php?title=Spezial:Benutzerkonto_anlegen&returnto=Halbleiterwerk" title="Wir ermutigen dich dazu, ein Benutzerkonto zu erstellen und dich anzumelden. Es ist jedoch nicht zwingend erforderlich."><span>Benutzerkonto erstellen</span></a></li><li id="pt-login" class="mw-list-item"><a href="/w/index.php?title=Spezial:Anmelden&returnto=Halbleiterwerk" title="Anmelden ist zwar keine Pflicht, wird aber gerne gesehen. [o]" accesskey="o"><span>Anmelden</span></a></li> </ul> </div> </nav> <div id="left-navigation"> <nav id="p-namespaces" class="mw-portlet mw-portlet-namespaces vector-menu-tabs vector-menu-tabs-legacy vector-menu" aria-labelledby="p-namespaces-label" > <h3 id="p-namespaces-label" class="vector-menu-heading " > <span class="vector-menu-heading-label">Namensräume</span> </h3> <div class="vector-menu-content"> <ul class="vector-menu-content-list"> <li id="ca-nstab-main" class="selected mw-list-item"><a href="/wiki/Halbleiterwerk" title="Seiteninhalt anzeigen [c]" accesskey="c"><span>Artikel</span></a></li><li id="ca-talk" class="mw-list-item"><a href="/wiki/Diskussion:Halbleiterwerk" rel="discussion" title="Diskussion zum Seiteninhalt [t]" accesskey="t"><span>Diskussion</span></a></li> </ul> </div> </nav> <nav id="p-variants" class="mw-portlet mw-portlet-variants emptyPortlet vector-menu-dropdown vector-menu" aria-labelledby="p-variants-label" > <input type="checkbox" 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bearbeiten [v]" accesskey="v"><span>Bearbeiten</span></a></li><li id="ca-edit" class="collapsible mw-list-item"><a href="/w/index.php?title=Halbleiterwerk&action=edit" title="Den Quelltext dieser Seite bearbeiten [e]" accesskey="e"><span>Quelltext bearbeiten</span></a></li><li id="ca-history" class="mw-list-item"><a href="/w/index.php?title=Halbleiterwerk&action=history" title="Frühere Versionen dieser Seite [h]" accesskey="h"><span>Versionsgeschichte</span></a></li> </ul> </div> </nav> <nav id="p-cactions" class="mw-portlet mw-portlet-cactions emptyPortlet vector-menu-dropdown vector-menu" aria-labelledby="p-cactions-label" title="Weitere Optionen" > <input type="checkbox" id="p-cactions-checkbox" role="button" aria-haspopup="true" data-event-name="ui.dropdown-p-cactions" class="vector-menu-checkbox" aria-labelledby="p-cactions-label" > <label id="p-cactions-label" class="vector-menu-heading " > <span class="vector-menu-heading-label">Weitere</span> </label> <div 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id="t-wikibase" class="wb-otherproject-link wb-otherproject-wikibase-dataitem mw-list-item"><a href="https://www.wikidata.org/wiki/Special:EntityPage/Q4168959" title="Link zum verbundenen Objekt im Datenrepositorium [g]" accesskey="g"><span>Wikidata-Datenobjekt</span></a></li> </ul> </div> </nav> <nav id="p-lang" class="mw-portlet mw-portlet-lang vector-menu-portal portal vector-menu" aria-labelledby="p-lang-label" > <h3 id="p-lang-label" class="vector-menu-heading " > <span class="vector-menu-heading-label">In anderen Sprachen</span> </h3> <div class="vector-menu-content"> <ul class="vector-menu-content-list"> <li class="interlanguage-link interwiki-ca mw-list-item"><a href="https://ca.wikipedia.org/wiki/Planta_de_fabricaci%C3%B3_de_semiconductors" title="Planta de fabricació de semiconductors – Katalanisch" lang="ca" hreflang="ca" data-title="Planta de fabricació de semiconductors" data-language-autonym="Català" data-language-local-name="Katalanisch" 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August 2023 um 12:22 Uhr bearbeitet.</li> <li id="footer-info-copyright"><div id="footer-info-copyright-stats" class="noprint"><a rel="nofollow" class="external text" href="https://pageviews.wmcloud.org/?pages=Halbleiterwerk&project=de.wikipedia.org">Abrufstatistik</a> · <a rel="nofollow" class="external text" href="https://xtools.wmcloud.org/authorship/de.wikipedia.org/Halbleiterwerk?uselang=de">Autoren</a> </div><div id="footer-info-copyright-separator"><br /></div><div id="footer-info-copyright-info"> <p>Der Text ist unter der Lizenz <a rel="nofollow" class="external text" href="https://creativecommons.org/licenses/by-sa/4.0/deed.de">„Creative-Commons Namensnennung – Weitergabe unter gleichen Bedingungen“</a> verfügbar; Informationen zu den Urhebern und zum Lizenzstatus eingebundener Mediendateien (etwa Bilder oder Videos) können im Regelfall durch Anklicken dieser abgerufen werden. Möglicherweise unterliegen die Inhalte jeweils zusätzlichen Bedingungen. 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