CINXE.COM

<!DOCTYPE html> <html class="client-nojs" lang="de" dir="ltr"> <head> <meta charset="UTF-8"> <title>Extrem ultraviolette Strahlung – Wikipedia</title> <script>(function(){var className="client-js";var cookie=document.cookie.match(/(?:^|; )dewikimwclientpreferences=([^;]+)/);if(cookie){cookie[1].split('%2C').forEach(function(pref){className=className.replace(new RegExp('(^| )'+pref.replace(/-clientpref-\w+$|[^\w-]+/g,'')+'-clientpref-\\w+( |$)'),'$1'+pref+'$2');});}document.documentElement.className=className;}());RLCONF={"wgBreakFrames":false,"wgSeparatorTransformTable":[",\t.",".\t,"],"wgDigitTransformTable":["",""],"wgDefaultDateFormat":"dmy","wgMonthNames":["","Januar","Februar","März","April","Mai","Juni","Juli","August","September","Oktober","November","Dezember"],"wgRequestId":"acf44462-d90d-4cbf-8be9-159850c54284","wgCanonicalNamespace":"","wgCanonicalSpecialPageName":false,"wgNamespaceNumber":0,"wgPageName":"Extrem_ultraviolette_Strahlung","wgTitle":"Extrem ultraviolette Strahlung","wgCurRevisionId":248938606,"wgRevisionId":248938606,"wgArticleId":281786,"wgIsArticle":true,"wgIsRedirect":false,"wgAction":"view","wgUserName":null, "wgUserGroups":["*"],"wgCategories":["Wikipedia:Belege fehlen","Elektromagnetische Strahlung"],"wgPageViewLanguage":"de","wgPageContentLanguage":"de","wgPageContentModel":"wikitext","wgRelevantPageName":"Extrem_ultraviolette_Strahlung","wgRelevantArticleId":281786,"wgIsProbablyEditable":true,"wgRelevantPageIsProbablyEditable":true,"wgRestrictionEdit":[],"wgRestrictionMove":[],"wgNoticeProject":"wikipedia","wgCiteReferencePreviewsActive":true,"wgFlaggedRevsParams":{"tags":{"accuracy":{"levels":1}}},"wgStableRevisionId":248938606,"wgMediaViewerOnClick":true,"wgMediaViewerEnabledByDefault":true,"wgPopupsFlags":0,"wgVisualEditor":{"pageLanguageCode":"de","pageLanguageDir":"ltr","pageVariantFallbacks":"de"},"wgMFDisplayWikibaseDescriptions":{"search":true,"watchlist":true,"tagline":true,"nearby":true},"wgWMESchemaEditAttemptStepOversample":false,"wgWMEPageLength":4000,"wgRelatedArticlesCompat":[],"wgEditSubmitButtonLabelPublish":true,"wgULSPosition":"interlanguage", "wgULSisCompactLinksEnabled":true,"wgVector2022LanguageInHeader":false,"wgULSisLanguageSelectorEmpty":false,"wgWikibaseItemId":"Q1385457","wgCheckUserClientHintsHeadersJsApi":["brands","architecture","bitness","fullVersionList","mobile","model","platform","platformVersion"],"GEHomepageSuggestedEditsEnableTopics":true,"wgGETopicsMatchModeEnabled":false,"wgGEStructuredTaskRejectionReasonTextInputEnabled":false,"wgGELevelingUpEnabledForUser":false};RLSTATE={"ext.gadget.citeRef":"ready","ext.gadget.defaultPlainlinks":"ready","ext.gadget.dewikiCommonHide":"ready","ext.gadget.dewikiCommonLayout":"ready","ext.gadget.dewikiCommonStyle":"ready","ext.gadget.NavFrame":"ready","ext.globalCssJs.user.styles":"ready","site.styles":"ready","user.styles":"ready","ext.globalCssJs.user":"ready","user":"ready","user.options":"loading","ext.cite.styles":"ready","skins.vector.styles.legacy":"ready","ext.flaggedRevs.basic":"ready","mediawiki.codex.messagebox.styles":"ready", "ext.visualEditor.desktopArticleTarget.noscript":"ready","codex-search-styles":"ready","ext.uls.interlanguage":"ready","wikibase.client.init":"ready","ext.wikimediaBadges":"ready"};RLPAGEMODULES=["ext.cite.ux-enhancements","mediawiki.page.media","site","mediawiki.page.ready","skins.vector.legacy.js","ext.centralNotice.geoIP","ext.centralNotice.startUp","ext.flaggedRevs.advanced","ext.gadget.createNewSection","ext.gadget.WikiMiniAtlas","ext.gadget.OpenStreetMap","ext.gadget.CommonsDirekt","ext.gadget.donateLink","ext.urlShortener.toolbar","ext.centralauth.centralautologin","mmv.bootstrap","ext.popups","ext.visualEditor.desktopArticleTarget.init","ext.visualEditor.targetLoader","ext.echo.centralauth","ext.eventLogging","ext.wikimediaEvents","ext.navigationTiming","ext.uls.compactlinks","ext.uls.interface","ext.cx.eventlogging.campaigns","ext.checkUser.clientHints","ext.quicksurveys.init","ext.growthExperiments.SuggestedEditSession","wikibase.sidebar.tracking"];</script> <script>(RLQ=window.RLQ||[]).push(function(){mw.loader.impl(function(){return["user.options@12s5i",function($,jQuery,require,module){mw.user.tokens.set({"patrolToken":"+\\","watchToken":"+\\","csrfToken":"+\\"}); }];});});</script> <link rel="stylesheet" href="/w/load.php?lang=de&modules=codex-search-styles%7Cext.cite.styles%7Cext.flaggedRevs.basic%7Cext.uls.interlanguage%7Cext.visualEditor.desktopArticleTarget.noscript%7Cext.wikimediaBadges%7Cmediawiki.codex.messagebox.styles%7Cskins.vector.styles.legacy%7Cwikibase.client.init&only=styles&skin=vector"> <script async="" src="/w/load.php?lang=de&modules=startup&only=scripts&raw=1&skin=vector"></script> <meta name="ResourceLoaderDynamicStyles" content=""> <link rel="stylesheet" href="/w/load.php?lang=de&modules=ext.gadget.NavFrame%2CciteRef%2CdefaultPlainlinks%2CdewikiCommonHide%2CdewikiCommonLayout%2CdewikiCommonStyle&only=styles&skin=vector"> <link rel="stylesheet" href="/w/load.php?lang=de&modules=site.styles&only=styles&skin=vector"> <meta name="generator" content="MediaWiki 1.44.0-wmf.5"> <meta name="referrer" content="origin"> <meta name="referrer" content="origin-when-cross-origin"> <meta name="robots" content="max-image-preview:standard"> <meta name="format-detection" content="telephone=no"> <meta property="og:image" content="https://upload.wikimedia.org/wikipedia/commons/thumb/a/a8/ISO_7010_W003.svg/1200px-ISO_7010_W003.svg.png"> <meta property="og:image:width" content="1200"> <meta property="og:image:height" content="1048"> <meta property="og:image" content="https://upload.wikimedia.org/wikipedia/commons/thumb/a/a8/ISO_7010_W003.svg/800px-ISO_7010_W003.svg.png"> <meta property="og:image:width" content="800"> <meta property="og:image:height" content="698"> <meta property="og:image" content="https://upload.wikimedia.org/wikipedia/commons/thumb/a/a8/ISO_7010_W003.svg/640px-ISO_7010_W003.svg.png"> <meta property="og:image:width" content="640"> <meta property="og:image:height" content="559"> <meta name="viewport" content="width=1120"> <meta property="og:title" content="Extrem ultraviolette Strahlung – Wikipedia"> <meta property="og:type" content="website"> <link rel="preconnect" href="//upload.wikimedia.org"> <link rel="alternate" media="only screen and (max-width: 640px)" href="//de.m.wikipedia.org/wiki/Extrem_ultraviolette_Strahlung"> <link rel="alternate" type="application/x-wiki" title="Seite bearbeiten" href="/w/index.php?title=Extrem_ultraviolette_Strahlung&action=edit"> <link rel="apple-touch-icon" href="/static/apple-touch/wikipedia.png"> <link rel="icon" href="/static/favicon/wikipedia.ico"> <link rel="search" type="application/opensearchdescription+xml" href="/w/rest.php/v1/search" title="Wikipedia (de)"> <link rel="EditURI" type="application/rsd+xml" href="//de.wikipedia.org/w/api.php?action=rsd"> <link rel="canonical" href="https://de.wikipedia.org/wiki/Extrem_ultraviolette_Strahlung"> <link rel="license" href="https://creativecommons.org/licenses/by-sa/4.0/deed.de"> <link rel="alternate" type="application/atom+xml" title="Atom-Feed für „Wikipedia“" href="/w/index.php?title=Spezial:Letzte_%C3%84nderungen&feed=atom"> <link rel="dns-prefetch" href="//meta.wikimedia.org" /> <link rel="dns-prefetch" href="//login.wikimedia.org"> </head> <body class="skin-vector-legacy mediawiki ltr sitedir-ltr mw-hide-empty-elt ns-0 ns-subject mw-editable page-Extrem_ultraviolette_Strahlung rootpage-Extrem_ultraviolette_Strahlung skin-vector action-view"><div id="mw-page-base" class="noprint"></div> <div id="mw-head-base" class="noprint"></div> <div id="content" class="mw-body" role="main"> <a id="top"></a> <div id="siteNotice"></div> <div class="mw-indicators"> </div> <h1 id="firstHeading" class="firstHeading mw-first-heading"><span class="mw-page-title-main">Extrem ultraviolette Strahlung</span></h1> <div id="bodyContent" class="vector-body"> <div id="siteSub" class="noprint">aus Wikipedia, der freien Enzyklopädie</div> <div id="contentSub"><div id="mw-content-subtitle"></div></div> <div id="contentSub2"></div> <div id="jump-to-nav"></div> <a class="mw-jump-link" href="#mw-head">Zur Navigation springen</a> <a class="mw-jump-link" href="#searchInput">Zur Suche springen</a> <div id="mw-content-text" class="mw-body-content"><div class="mw-content-ltr mw-parser-output" lang="de" dir="ltr"><div class="hintergrundfarbe1 rahmenfarbe1 navigation-not-searchable noprint Vorlage_Belege_fehlen hatnote" style="border-style: solid; border-width: 1px; clear: left; margin-bottom:1em; margin-top:1em; padding: 0.25em; overflow: hidden; word-break: break-word; word-wrap: break-word;"><div class="noviewer noresize" style="display: table-cell; padding-bottom: 0.2em; padding-left: 0.25em; padding-right: 1em; padding-top: 0.2em; vertical-align: middle;" aria-hidden="true" role="presentation"><span typeof="mw:File"><a href="/wiki/Wikipedia:Belege" title="Belege"><img alt="" src="//upload.wikimedia.org/wikipedia/commons/thumb/b/b7/Qsicon_Quelle.svg/24px-Qsicon_Quelle.svg.png" decoding="async" width="24" height="24" class="mw-file-element" srcset="//upload.wikimedia.org/wikipedia/commons/thumb/b/b7/Qsicon_Quelle.svg/36px-Qsicon_Quelle.svg.png 1.5x, //upload.wikimedia.org/wikipedia/commons/thumb/b/b7/Qsicon_Quelle.svg/48px-Qsicon_Quelle.svg.png 2x" data-file-width="24" data-file-height="24" /></a></span></div> <div style="display: table-cell; vertical-align: middle; width: 100%;"> <div> Dieser Artikel oder nachfolgende Abschnitt ist nicht hinreichend mit <a href="/wiki/Wikipedia:Belege" title="Wikipedia:Belege">Belegen</a> (beispielsweise <a href="/wiki/Hilfe:Einzelnachweise" title="Hilfe:Einzelnachweise">Einzelnachweisen</a>) ausgestattet. Angaben ohne ausreichenden Beleg könnten demnächst entfernt werden. Bitte hilf Wikipedia, indem du die Angaben recherchierst und <span style="white-space:nowrap">gute Belege einfügst.</span><br /> <span class="editoronly" style="display:none;"></span></div> </div></div> <figure class="mw-default-size" typeof="mw:File/Thumb"><a href="/wiki/Datei:ISO_7010_W003.svg" class="mw-file-description"><img src="//upload.wikimedia.org/wikipedia/commons/thumb/a/a8/ISO_7010_W003.svg/220px-ISO_7010_W003.svg.png" decoding="async" width="220" height="192" class="mw-file-element" srcset="//upload.wikimedia.org/wikipedia/commons/thumb/a/a8/ISO_7010_W003.svg/330px-ISO_7010_W003.svg.png 1.5x, //upload.wikimedia.org/wikipedia/commons/thumb/a/a8/ISO_7010_W003.svg/440px-ISO_7010_W003.svg.png 2x" data-file-width="512" data-file-height="447" /></a><figcaption>Warnzeichen für ionisierende Strahlung</figcaption></figure> <div class="thumb tright" style="margin-top: .5em; width:506px;"><div class="thumbinner"><div style="float:left; padding:1px; width:232px;"><div class="thumbimage"><span typeof="mw:File"><a href="/wiki/Datei:STEREO-A_first_images.jpg" class="mw-file-description"><img src="//upload.wikimedia.org/wikipedia/commons/thumb/c/c8/STEREO-A_first_images.jpg/228px-STEREO-A_first_images.jpg" decoding="async" width="228" height="228" class="mw-file-element" srcset="//upload.wikimedia.org/wikipedia/commons/thumb/c/c8/STEREO-A_first_images.jpg/342px-STEREO-A_first_images.jpg 1.5x, //upload.wikimedia.org/wikipedia/commons/thumb/c/c8/STEREO-A_first_images.jpg/456px-STEREO-A_first_images.jpg 2x" data-file-width="2700" data-file-height="2700" /></a></span></div><div class="thumbcaption"><a href="/wiki/Falschfarbenbild" class="mw-redirect" title="Falschfarbenbild">Falschfarbenbilder</a> der Sonne im EUV: 17 <a href="/wiki/Nanometer" class="mw-redirect" title="Nanometer">nm</a> (blau), 19 <a href="/wiki/Nanometer" class="mw-redirect" title="Nanometer">nm</a> (grün), 29 nm (gelb) 30 nm (rot).</div></div><div style="float:left; padding:1px; width:260px;"><div class="thumbimage"><span typeof="mw:File"><a href="/wiki/Datei:Sun_-_August_1,_2010.jpg" class="mw-file-description"><img src="//upload.wikimedia.org/wikipedia/commons/thumb/3/3c/Sun_-_August_1%2C_2010.jpg/256px-Sun_-_August_1%2C_2010.jpg" decoding="async" width="256" height="228" class="mw-file-element" srcset="//upload.wikimedia.org/wikipedia/commons/thumb/3/3c/Sun_-_August_1%2C_2010.jpg/384px-Sun_-_August_1%2C_2010.jpg 1.5x, //upload.wikimedia.org/wikipedia/commons/thumb/3/3c/Sun_-_August_1%2C_2010.jpg/512px-Sun_-_August_1%2C_2010.jpg 2x" data-file-width="4095" data-file-height="3647" /></a></span></div><div class="thumbcaption"><a href="/w/index.php?title=Kompositbild_(Fotografie)&action=edit&redlink=1" class="new" title="Kompositbild (Fotografie) (Seite nicht vorhanden)">Kompositbild</a> der Sonne im EUV (rot: 21,1 nm, grün: 19,3 nm, blau: 17,1 nm), aufgenommen vom <a href="/wiki/Solar_Dynamics_Observatory" title="Solar Dynamics Observatory">Solar Dynamics Observatory</a> im Jahr 2010</div></div><div style="clear:both;"></div> <div style="clear:both;"></div> </div></div> <p><b>Extrem ultraviolette Strahlung</b> (<b>EUV</b>, <b>EUV-Strahlung</b>, engl. <span lang="en"><i>extreme ultra violet</i></span>, <b>XUV</b>) bezeichnet den Spektralbereich <a href="/wiki/Elektromagnetische_Strahlung" class="mw-redirect" title="Elektromagnetische Strahlung">elektromagnetischer Strahlung</a> zwischen 10 <a href="/wiki/Nanometer" class="mw-redirect" title="Nanometer">nm</a> und 121 nm.<sup id="cite_ref-ISO21348_1-0" class="reference"><a href="#cite_note-ISO21348-1"><span class="cite-bracket">[</span>1<span class="cite-bracket">]</span></a></sup> Dies entspricht <a href="/wiki/Photon" title="Photon">Photonen</a>-Energien zwischen etwa 10,25 eV und 124 eV. Damit bezeichnet EUV einen Wellenlängenbereich an der Grenze zur <a href="/wiki/R%C3%B6ntgenstrahlung" title="Röntgenstrahlung">Röntgenstrahlung</a>, der sich mit der <a href="/wiki/VUV-Strahlung" title="VUV-Strahlung">Vakuum-Ultraviolettstrahlung</a> (VUV, nach ISO21348 10–200 nm<sup id="cite_ref-ISO21348_1-1" class="reference"><a href="#cite_note-ISO21348-1"><span class="cite-bracket">[</span>1<span class="cite-bracket">]</span></a></sup>, nach DIN 5031 100–200 nm<sup id="cite_ref-2" class="reference"><a href="#cite_note-2"><span class="cite-bracket">[</span>2<span class="cite-bracket">]</span></a></sup>) überschneidet. </p> <div class="mw-heading mw-heading2"><h2 id="Gebräuchliche_Grenzen"><span id="Gebr.C3.A4uchliche_Grenzen"></span>Gebräuchliche Grenzen</h2><span class="mw-editsection"><span class="mw-editsection-bracket">[</span><a href="/w/index.php?title=Extrem_ultraviolette_Strahlung&veaction=edit&section=1" title="Abschnitt bearbeiten: Gebräuchliche Grenzen" class="mw-editsection-visualeditor"><span>Bearbeiten</span></a><span class="mw-editsection-divider"> | </span><a href="/w/index.php?title=Extrem_ultraviolette_Strahlung&action=edit&section=1" title="Quellcode des Abschnitts bearbeiten: Gebräuchliche Grenzen"><span>Quelltext bearbeiten</span></a><span class="mw-editsection-bracket">]</span></span></div> <p>Neben den oben genannten Wellenlängengrenzen gibt es noch weitere:<sup id="cite_ref-ISO21348_1-2" class="reference"><a href="#cite_note-ISO21348-1"><span class="cite-bracket">[</span>1<span class="cite-bracket">]</span></a></sup> </p> <ol><li>die untere Grenzwellenlänge beträgt 30 nm</li> <li>die obere Grenzwellenlänge entspricht <ul><li>der Ersten Ionisationsenergie von <a href="/wiki/Sauerstoff" title="Sauerstoff">Sauerstoff</a> (ca. 100 nm)</li> <li>der Transmissionsgrenze von <a href="/wiki/Magnesiumfluorid" title="Magnesiumfluorid">Magnesiumfluorid</a> (ca. 120 nm)</li> <li>der Wellenlänge des <a href="/wiki/Lyman-Serie" title="Lyman-Serie">Lyman-α-Übergangs</a> bei 121,6 nm</li></ul></li></ol> <p>Die Abkürzung XUV wird ebenfalls mit der englischen Bezeichnung <span lang="en"><i>extreme ultra violet</i></span> in Zusammenhang gebracht. Laut ISO 21348<sup id="cite_ref-ISO21348_1-3" class="reference"><a href="#cite_note-ISO21348-1"><span class="cite-bracket">[</span>1<span class="cite-bracket">]</span></a></sup> bezeichnet XUV (0,1–10 nm) jedoch den Spektralbereich ultravioletter Strahlung, der sich mit weicher Röntgenstrahlung überschneidet. </p> <div class="mw-heading mw-heading2"><h2 id="Anwendung">Anwendung</h2><span class="mw-editsection"><span class="mw-editsection-bracket">[</span><a href="/w/index.php?title=Extrem_ultraviolette_Strahlung&veaction=edit&section=2" title="Abschnitt bearbeiten: Anwendung" class="mw-editsection-visualeditor"><span>Bearbeiten</span></a><span class="mw-editsection-divider"> | </span><a href="/w/index.php?title=Extrem_ultraviolette_Strahlung&action=edit&section=2" title="Quellcode des Abschnitts bearbeiten: Anwendung"><span>Quelltext bearbeiten</span></a><span class="mw-editsection-bracket">]</span></span></div> <p>Die <a href="/wiki/EUV-Lithografie" title="EUV-Lithografie">EUV-Lithografie</a> ersetzt in der <a href="/wiki/Halbleitertechnik" title="Halbleitertechnik">Halbleitertechnik</a> derzeit die bisherige klassische <a href="/wiki/Fotolithografie_(Halbleitertechnik)" title="Fotolithografie (Halbleitertechnik)">Fotolithografie</a> und ermöglicht die wirtschaftlichere Produktion aktueller mikroelektronischer Schaltungen sowie die Entwicklung von Schaltkreisen mit höheren Bauelementdichten. International haben sich die beteiligten <a href="/wiki/F%26E" class="mw-redirect" title="F&E">F&E</a>-Abteilungen bzw. -Institute auf eine Zentralwellenlänge von 13,5 <a href="/wiki/Nanometer" class="mw-redirect" title="Nanometer">nm</a> geeinigt. Für die Lithographie kann üblicherweise nur eine Bandbreite von ca. 2 % genutzt werden. Seit 2018 wird die EUV-Lithographie kommerziell in der <a href="/wiki/Halbleiter" title="Halbleiter">Halbleiterindustrie</a> angewendet.<sup id="cite_ref-3" class="reference"><a href="#cite_note-3"><span class="cite-bracket">[</span>3<span class="cite-bracket">]</span></a></sup> An den Forschungsarbeiten hierzu ist auch eine Gruppe des <a href="/wiki/NIST" class="mw-redirect" title="NIST">NIST</a> in den USA beteiligt.<sup id="cite_ref-4" class="reference"><a href="#cite_note-4"><span class="cite-bracket">[</span>4<span class="cite-bracket">]</span></a></sup> </p><p>EUV-Strahlung bietet aufgrund der kurzen Wellenlänge und der starken Wechselwirkung mit Materie das Potential der Analyse und Strukturerzeugung mit Nanometer-Auflösung und typisch mehreren hundert Nanometern <a href="/wiki/Eindringtiefe" title="Eindringtiefe">Eindringtiefe</a>. </p> <div class="mw-heading mw-heading2"><h2 id="Einzelnachweise">Einzelnachweise</h2><span class="mw-editsection"><span class="mw-editsection-bracket">[</span><a href="/w/index.php?title=Extrem_ultraviolette_Strahlung&veaction=edit&section=3" title="Abschnitt bearbeiten: Einzelnachweise" class="mw-editsection-visualeditor"><span>Bearbeiten</span></a><span class="mw-editsection-divider"> | </span><a href="/w/index.php?title=Extrem_ultraviolette_Strahlung&action=edit&section=3" title="Quellcode des Abschnitts bearbeiten: Einzelnachweise"><span>Quelltext bearbeiten</span></a><span class="mw-editsection-bracket">]</span></span></div> <ol class="references"> <li id="cite_note-ISO21348-1"><span class="mw-cite-backlink">↑ <sup><a href="#cite_ref-ISO21348_1-0">a</a></sup> <sup><a href="#cite_ref-ISO21348_1-1">b</a></sup> <sup><a href="#cite_ref-ISO21348_1-2">c</a></sup> <sup><a href="#cite_ref-ISO21348_1-3">d</a></sup></span> <span class="reference-text">ISO 21348 1. Mai 2007. <i>Space environment (natural and artificial) — Process for determining solar irradiances.</i></span> </li> <li id="cite_note-2"><span class="mw-cite-backlink"><a href="#cite_ref-2">↑</a></span> <span class="reference-text">DIN 5031 Teil 7, Januar 1984. <i>Strahlungsphysik im optischen Bereich und Lichttechnik. Benennung der Wellenlängenbereiche .</i></span> </li> <li id="cite_note-3"><span class="mw-cite-backlink"><a href="#cite_ref-3">↑</a></span> <span class="reference-text"><span class="cite">Nico Ernst: <a rel="nofollow" class="external text" href="https://www.heise.de/newsticker/meldung/Samsung-fertigt-7-Nanometer-Chips-mit-EUV-Belichtern-4195040.html"><i>Samsung fertigt 7-Nanometer-Chips mit EUV-Belichtern.</i></a> In: <i>heise online.</i> 18. Oktober 2018,<span class="Abrufdatum"> abgerufen am 11. Januar 2021</span>.</span><span style="display: none;" class="Z3988" title="ctx_ver=Z39.88-2004&rft_val_fmt=info%3Aofi%2Ffmt%3Akev%3Amtx%3Adc&rfr_id=info%3Asid%2Fde.wikipedia.org%3AExtrem+ultraviolette+Strahlung&rft.title=Samsung+fertigt+7-Nanometer-Chips+mit+EUV-Belichtern&rft.description=Samsung+fertigt+7-Nanometer-Chips+mit+EUV-Belichtern&rft.identifier=https%3A%2F%2Fwww.heise.de%2Fnewsticker%2Fmeldung%2FSamsung-fertigt-7-Nanometer-Chips-mit-EUV-Belichtern-4195040.html&rft.creator=Nico+Ernst&rft.date=2018-10-18"> </span></span> </li> <li id="cite_note-4"><span class="mw-cite-backlink"><a href="#cite_ref-4">↑</a></span> <span class="reference-text"><span class="cite">Charles Tarrio, Thomas Lucatorto: <a rel="nofollow" class="external text" href="https://www.nist.gov/blogs/taking-measure/how-extreme-ultraviolet-light-helps-give-us-smarter-smartphones-and-stronger"><i>How Extreme Ultraviolet Light Helps Give Us Smarter Smartphones and Stronger Satellites.</i></a> In: <i>NIST.</i> 13. April 2020,<span class="Abrufdatum"> abgerufen am 11. Januar 2021</span>.</span><span style="display: none;" class="Z3988" title="ctx_ver=Z39.88-2004&rft_val_fmt=info%3Aofi%2Ffmt%3Akev%3Amtx%3Adc&rfr_id=info%3Asid%2Fde.wikipedia.org%3AExtrem+ultraviolette+Strahlung&rft.title=How+Extreme+Ultraviolet+Light+Helps+Give+Us+Smarter+Smartphones+and+Stronger+Satellites&rft.description=How+Extreme+Ultraviolet+Light+Helps+Give+Us+Smarter+Smartphones+and+Stronger+Satellites&rft.identifier=https%3A%2F%2Fwww.nist.gov%2Fblogs%2Ftaking-measure%2Fhow-extreme-ultraviolet-light-helps-give-us-smarter-smartphones-and-stronger&rft.creator=Charles+Tarrio%2C+Thomas+Lucatorto&rft.date=2020-04-13"> </span></span> </li> </ol></div><noscript><img src="https://login.wikimedia.org/wiki/Special:CentralAutoLogin/start?type=1x1&useformat=desktop" alt="" width="1" height="1" style="border: none; position: absolute;"></noscript> <div class="printfooter" data-nosnippet="">Abgerufen von „<a dir="ltr" href="https://de.wikipedia.org/w/index.php?title=Extrem_ultraviolette_Strahlung&oldid=248938606">https://de.wikipedia.org/w/index.php?title=Extrem_ultraviolette_Strahlung&oldid=248938606</a>“</div></div> <div id="catlinks" class="catlinks" data-mw="interface"><div id="mw-normal-catlinks" class="mw-normal-catlinks"><a href="/wiki/Wikipedia:Kategorien" title="Wikipedia:Kategorien">Kategorie</a>: <ul><li><a href="/wiki/Kategorie:Elektromagnetische_Strahlung" title="Kategorie:Elektromagnetische Strahlung">Elektromagnetische Strahlung</a></li></ul></div><div id="mw-hidden-catlinks" class="mw-hidden-catlinks mw-hidden-cats-hidden">Versteckte Kategorie: <ul><li><a href="/wiki/Kategorie:Wikipedia:Belege_fehlen" title="Kategorie:Wikipedia:Belege fehlen">Wikipedia:Belege fehlen</a></li></ul></div></div> </div> </div> <div id="mw-navigation"> <h2>Navigationsmenü</h2> <div id="mw-head"> <nav id="p-personal" class="mw-portlet mw-portlet-personal vector-user-menu-legacy vector-menu" aria-labelledby="p-personal-label" > <h3 id="p-personal-label" class="vector-menu-heading " > <span class="vector-menu-heading-label">Meine Werkzeuge</span> </h3> <div class="vector-menu-content"> <ul class="vector-menu-content-list"> <li id="pt-anonuserpage" class="mw-list-item"><span title="Benutzerseite der IP-Adresse, von der aus du Änderungen durchführst">Nicht angemeldet</span></li><li id="pt-anontalk" class="mw-list-item"><a href="/wiki/Spezial:Meine_Diskussionsseite" title="Diskussion über Änderungen von dieser IP-Adresse [n]" accesskey="n"><span>Diskussionsseite</span></a></li><li id="pt-anoncontribs" class="mw-list-item"><a href="/wiki/Spezial:Meine_Beitr%C3%A4ge" title="Eine Liste der Bearbeitungen, die von dieser IP-Adresse gemacht wurden [y]" accesskey="y"><span>Beiträge</span></a></li><li id="pt-createaccount" class="mw-list-item"><a href="/w/index.php?title=Spezial:Benutzerkonto_anlegen&returnto=Extrem+ultraviolette+Strahlung" title="Wir ermutigen dich dazu, ein Benutzerkonto zu erstellen und dich anzumelden. Es ist jedoch nicht zwingend erforderlich."><span>Benutzerkonto erstellen</span></a></li><li id="pt-login" class="mw-list-item"><a href="/w/index.php?title=Spezial:Anmelden&returnto=Extrem+ultraviolette+Strahlung" title="Anmelden ist zwar keine Pflicht, wird aber gerne gesehen. [o]" accesskey="o"><span>Anmelden</span></a></li> </ul> </div> </nav> <div id="left-navigation"> <nav id="p-namespaces" class="mw-portlet mw-portlet-namespaces vector-menu-tabs vector-menu-tabs-legacy vector-menu" aria-labelledby="p-namespaces-label" > <h3 id="p-namespaces-label" class="vector-menu-heading " > <span class="vector-menu-heading-label">Namensräume</span> </h3> <div class="vector-menu-content"> <ul class="vector-menu-content-list"> <li id="ca-nstab-main" class="selected mw-list-item"><a href="/wiki/Extrem_ultraviolette_Strahlung" title="Seiteninhalt anzeigen [c]" accesskey="c"><span>Artikel</span></a></li><li id="ca-talk" class="mw-list-item"><a href="/wiki/Diskussion:Extrem_ultraviolette_Strahlung" rel="discussion" title="Diskussion zum Seiteninhalt [t]" accesskey="t"><span>Diskussion</span></a></li> </ul> </div> </nav> <nav id="p-variants" class="mw-portlet mw-portlet-variants emptyPortlet vector-menu-dropdown vector-menu" aria-labelledby="p-variants-label" > <input type="checkbox" id="p-variants-checkbox" role="button" aria-haspopup="true" data-event-name="ui.dropdown-p-variants" class="vector-menu-checkbox" aria-labelledby="p-variants-label" > <label id="p-variants-label" class="vector-menu-heading " > <span class="vector-menu-heading-label">Deutsch</span> </label> <div class="vector-menu-content"> <ul class="vector-menu-content-list"> </ul> </div> </nav> </div> <div id="right-navigation"> <nav id="p-views" class="mw-portlet mw-portlet-views vector-menu-tabs vector-menu-tabs-legacy vector-menu" aria-labelledby="p-views-label" > <h3 id="p-views-label" class="vector-menu-heading " > <span class="vector-menu-heading-label">Ansichten</span> </h3> <div class="vector-menu-content"> <ul class="vector-menu-content-list"> <li id="ca-view" class="selected mw-list-item"><a href="/wiki/Extrem_ultraviolette_Strahlung"><span>Lesen</span></a></li><li id="ca-ve-edit" class="mw-list-item"><a href="/w/index.php?title=Extrem_ultraviolette_Strahlung&veaction=edit" title="Diese Seite mit dem VisualEditor bearbeiten [v]" accesskey="v"><span>Bearbeiten</span></a></li><li id="ca-edit" class="collapsible mw-list-item"><a href="/w/index.php?title=Extrem_ultraviolette_Strahlung&action=edit" title="Den Quelltext dieser Seite bearbeiten [e]" accesskey="e"><span>Quelltext bearbeiten</span></a></li><li id="ca-history" class="mw-list-item"><a href="/w/index.php?title=Extrem_ultraviolette_Strahlung&action=history" title="Frühere Versionen dieser Seite [h]" accesskey="h"><span>Versionsgeschichte</span></a></li> </ul> </div> </nav> <nav id="p-cactions" class="mw-portlet mw-portlet-cactions emptyPortlet vector-menu-dropdown vector-menu" aria-labelledby="p-cactions-label" title="Weitere Optionen" > <input type="checkbox" id="p-cactions-checkbox" role="button" aria-haspopup="true" data-event-name="ui.dropdown-p-cactions" class="vector-menu-checkbox" aria-labelledby="p-cactions-label" > <label id="p-cactions-label" class="vector-menu-heading " > <span class="vector-menu-heading-label">Weitere</span> </label> <div class="vector-menu-content"> <ul class="vector-menu-content-list"> </ul> </div> </nav> <div id="p-search" role="search" class="vector-search-box-vue vector-search-box-show-thumbnail vector-search-box-auto-expand-width vector-search-box"> <h3 >Suche</h3> <form action="/w/index.php" id="searchform" class="vector-search-box-form"> <div id="simpleSearch" class="vector-search-box-inner" data-search-loc="header-navigation"> <input class="vector-search-box-input" type="search" name="search" placeholder="Wikipedia durchsuchen" aria-label="Wikipedia durchsuchen" autocapitalize="sentences" title="Durchsuche die Wikipedia [f]" accesskey="f" id="searchInput" > <input type="hidden" name="title" value="Spezial:Suche"> <input id="mw-searchButton" class="searchButton mw-fallbackSearchButton" type="submit" name="fulltext" title="Suche nach Seiten, die diesen Text enthalten" value="Suchen"> <input id="searchButton" class="searchButton" type="submit" name="go" title="Gehe direkt zu der Seite mit genau diesem Namen, falls sie vorhanden ist." value="Artikel"> </div> </form> </div> </div> </div> <div id="mw-panel" class="vector-legacy-sidebar"> <div id="p-logo" role="banner"> <a class="mw-wiki-logo" href="/wiki/Wikipedia:Hauptseite" title="Hauptseite"></a> </div> <nav id="p-navigation" class="mw-portlet mw-portlet-navigation vector-menu-portal portal vector-menu" aria-labelledby="p-navigation-label" > <h3 id="p-navigation-label" class="vector-menu-heading " > <span class="vector-menu-heading-label">Navigation</span> </h3> <div class="vector-menu-content"> <ul class="vector-menu-content-list"> <li id="n-mainpage-description" class="mw-list-item"><a href="/wiki/Wikipedia:Hauptseite" title="Hauptseite besuchen [z]" accesskey="z"><span>Hauptseite</span></a></li><li id="n-topics" class="mw-list-item"><a href="/wiki/Portal:Wikipedia_nach_Themen"><span>Themenportale</span></a></li><li id="n-randompage" class="mw-list-item"><a href="/wiki/Spezial:Zuf%C3%A4llige_Seite" title="Zufällige Seite aufrufen [x]" accesskey="x"><span>Zufälliger Artikel</span></a></li> </ul> </div> </nav> <nav id="p-Mitmachen" class="mw-portlet mw-portlet-Mitmachen vector-menu-portal portal vector-menu" aria-labelledby="p-Mitmachen-label" > <h3 id="p-Mitmachen-label" class="vector-menu-heading " > <span class="vector-menu-heading-label">Mitmachen</span> </h3> <div class="vector-menu-content"> <ul class="vector-menu-content-list"> <li id="n-Artikel-verbessern" class="mw-list-item"><a href="/wiki/Wikipedia:Beteiligen"><span>Artikel verbessern</span></a></li><li id="n-Neuerartikel" class="mw-list-item"><a href="/wiki/Hilfe:Neuen_Artikel_anlegen"><span>Neuen Artikel anlegen</span></a></li><li id="n-portal" class="mw-list-item"><a href="/wiki/Wikipedia:Autorenportal" title="Info-Zentrum über Beteiligungsmöglichkeiten"><span>Autorenportal</span></a></li><li id="n-help" class="mw-list-item"><a href="/wiki/Hilfe:%C3%9Cbersicht" title="Übersicht über Hilfeseiten"><span>Hilfe</span></a></li><li id="n-recentchanges" class="mw-list-item"><a href="/wiki/Spezial:Letzte_%C3%84nderungen" title="Liste der letzten Änderungen in Wikipedia [r]" accesskey="r"><span>Letzte Änderungen</span></a></li><li id="n-contact" class="mw-list-item"><a href="/wiki/Wikipedia:Kontakt" title="Kontaktmöglichkeiten"><span>Kontakt</span></a></li><li id="n-sitesupport" class="mw-list-item"><a href="//donate.wikimedia.org/wiki/Special:FundraiserRedirector?utm_source=donate&utm_medium=sidebar&utm_campaign=C13_de.wikipedia.org&uselang=de" title="Unterstütze uns"><span>Spenden</span></a></li> </ul> </div> </nav> <nav id="p-tb" class="mw-portlet mw-portlet-tb vector-menu-portal portal vector-menu" aria-labelledby="p-tb-label" > <h3 id="p-tb-label" class="vector-menu-heading " > <span class="vector-menu-heading-label">Werkzeuge</span> </h3> <div class="vector-menu-content"> <ul class="vector-menu-content-list"> <li id="t-whatlinkshere" class="mw-list-item"><a href="/wiki/Spezial:Linkliste/Extrem_ultraviolette_Strahlung" title="Liste aller Seiten, die hierher verlinken [j]" accesskey="j"><span>Links auf diese Seite</span></a></li><li id="t-recentchangeslinked" class="mw-list-item"><a href="/wiki/Spezial:%C3%84nderungen_an_verlinkten_Seiten/Extrem_ultraviolette_Strahlung" rel="nofollow" title="Letzte Änderungen an Seiten, die von hier verlinkt sind [k]" accesskey="k"><span>Änderungen an verlinkten Seiten</span></a></li><li id="t-specialpages" class="mw-list-item"><a href="/wiki/Spezial:Spezialseiten" title="Liste aller Spezialseiten [q]" accesskey="q"><span>Spezialseiten</span></a></li><li id="t-permalink" class="mw-list-item"><a href="/w/index.php?title=Extrem_ultraviolette_Strahlung&oldid=248938606" title="Dauerhafter Link zu dieser Seitenversion"><span>Permanenter Link</span></a></li><li id="t-info" class="mw-list-item"><a href="/w/index.php?title=Extrem_ultraviolette_Strahlung&action=info" title="Weitere Informationen über diese Seite"><span>Seiteninformationen</span></a></li><li id="t-cite" class="mw-list-item"><a href="/w/index.php?title=Spezial:Zitierhilfe&page=Extrem_ultraviolette_Strahlung&id=248938606&wpFormIdentifier=titleform" title="Hinweise, wie diese Seite zitiert werden kann"><span>Artikel zitieren</span></a></li><li id="t-urlshortener" class="mw-list-item"><a href="/w/index.php?title=Spezial:URL-K%C3%BCrzung&url=https%3A%2F%2Fde.wikipedia.org%2Fwiki%2FExtrem_ultraviolette_Strahlung"><span>Kurzlink</span></a></li><li id="t-urlshortener-qrcode" class="mw-list-item"><a href="/w/index.php?title=Spezial:QrCode&url=https%3A%2F%2Fde.wikipedia.org%2Fwiki%2FExtrem_ultraviolette_Strahlung"><span>QR-Code herunterladen</span></a></li> </ul> </div> </nav> <nav id="p-coll-print_export" class="mw-portlet mw-portlet-coll-print_export vector-menu-portal portal vector-menu" aria-labelledby="p-coll-print_export-label" > <h3 id="p-coll-print_export-label" class="vector-menu-heading " > <span class="vector-menu-heading-label">Drucken/exportieren</span> </h3> <div class="vector-menu-content"> <ul class="vector-menu-content-list"> <li id="coll-download-as-rl" class="mw-list-item"><a href="/w/index.php?title=Spezial:DownloadAsPdf&page=Extrem_ultraviolette_Strahlung&action=show-download-screen"><span>Als PDF herunterladen</span></a></li><li id="t-print" class="mw-list-item"><a href="/w/index.php?title=Extrem_ultraviolette_Strahlung&printable=yes" title="Druckansicht dieser Seite [p]" accesskey="p"><span>Druckversion</span></a></li> </ul> </div> </nav> <nav id="p-wikibase-otherprojects" class="mw-portlet mw-portlet-wikibase-otherprojects vector-menu-portal portal vector-menu" aria-labelledby="p-wikibase-otherprojects-label" > <h3 id="p-wikibase-otherprojects-label" class="vector-menu-heading " > <span class="vector-menu-heading-label">In anderen Projekten</span> </h3> <div class="vector-menu-content"> <ul class="vector-menu-content-list"> <li class="wb-otherproject-link wb-otherproject-commons mw-list-item"><a href="https://commons.wikimedia.org/wiki/Category:Extreme_ultraviolet" hreflang="en"><span>Commons</span></a></li><li id="t-wikibase" class="wb-otherproject-link wb-otherproject-wikibase-dataitem mw-list-item"><a href="https://www.wikidata.org/wiki/Special:EntityPage/Q1385457" title="Link zum verbundenen Objekt im Datenrepositorium [g]" accesskey="g"><span>Wikidata-Datenobjekt</span></a></li> </ul> </div> </nav> <nav id="p-lang" class="mw-portlet mw-portlet-lang vector-menu-portal portal vector-menu" aria-labelledby="p-lang-label" > <h3 id="p-lang-label" class="vector-menu-heading " > <span class="vector-menu-heading-label">In anderen Sprachen</span> </h3> <div class="vector-menu-content"> <ul class="vector-menu-content-list"> <li class="interlanguage-link interwiki-ca mw-list-item"><a href="https://ca.wikipedia.org/wiki/Ultraviolat_extrem" title="Ultraviolat extrem – Katalanisch" lang="ca" hreflang="ca" data-title="Ultraviolat extrem" data-language-autonym="Català" data-language-local-name="Katalanisch" class="interlanguage-link-target"><span>Català</span></a></li><li class="interlanguage-link interwiki-en mw-list-item"><a href="https://en.wikipedia.org/wiki/Extreme_ultraviolet" title="Extreme ultraviolet – Englisch" lang="en" hreflang="en" data-title="Extreme ultraviolet" data-language-autonym="English" data-language-local-name="Englisch" class="interlanguage-link-target"><span>English</span></a></li><li class="interlanguage-link interwiki-es mw-list-item"><a href="https://es.wikipedia.org/wiki/Radiaci%C3%B3n_ultravioleta_extrema" title="Radiación ultravioleta extrema – Spanisch" lang="es" hreflang="es" data-title="Radiación ultravioleta extrema" data-language-autonym="Español" data-language-local-name="Spanisch" class="interlanguage-link-target"><span>Español</span></a></li><li class="interlanguage-link interwiki-fa mw-list-item"><a href="https://fa.wikipedia.org/wiki/%D9%81%D8%B1%D8%A7%D8%A8%D9%86%D9%81%D8%B4_%D9%81%D8%B1%DB%8C%D9%86" title="فرابنفش فرین – Persisch" lang="fa" hreflang="fa" data-title="فرابنفش فرین" data-language-autonym="فارسی" data-language-local-name="Persisch" class="interlanguage-link-target"><span>فارسی</span></a></li><li class="interlanguage-link interwiki-fr mw-list-item"><a href="https://fr.wikipedia.org/wiki/Rayonnement_ultraviolet_extr%C3%AAme" title="Rayonnement ultraviolet extrême – Französisch" lang="fr" hreflang="fr" data-title="Rayonnement ultraviolet extrême" data-language-autonym="Français" data-language-local-name="Französisch" class="interlanguage-link-target"><span>Français</span></a></li><li class="interlanguage-link interwiki-ja mw-list-item"><a href="https://ja.wikipedia.org/wiki/%E6%A5%B5%E7%AB%AF%E7%B4%AB%E5%A4%96%E7%B7%9A" title="極端紫外線 – Japanisch" lang="ja" hreflang="ja" data-title="極端紫外線" data-language-autonym="日本語" data-language-local-name="Japanisch" class="interlanguage-link-target"><span>日本語</span></a></li><li class="interlanguage-link interwiki-ko mw-list-item"><a href="https://ko.wikipedia.org/wiki/%EA%B7%B9%EC%9E%90%EC%99%B8%EC%84%A0" title="극자외선 – Koreanisch" lang="ko" hreflang="ko" data-title="극자외선" data-language-autonym="한국어" data-language-local-name="Koreanisch" class="interlanguage-link-target"><span>한국어</span></a></li><li class="interlanguage-link interwiki-nl mw-list-item"><a href="https://nl.wikipedia.org/wiki/Extreem_ultraviolet" title="Extreem ultraviolet – Niederländisch" lang="nl" hreflang="nl" data-title="Extreem ultraviolet" data-language-autonym="Nederlands" data-language-local-name="Niederländisch" class="interlanguage-link-target"><span>Nederlands</span></a></li><li class="interlanguage-link interwiki-nn mw-list-item"><a href="https://nn.wikipedia.org/wiki/Ekstrem_ultrafiolett_str%C3%A5ling" title="Ekstrem ultrafiolett stråling – Norwegisch (Nynorsk)" lang="nn" hreflang="nn" data-title="Ekstrem ultrafiolett stråling" data-language-autonym="Norsk nynorsk" data-language-local-name="Norwegisch (Nynorsk)" class="interlanguage-link-target"><span>Norsk nynorsk</span></a></li><li class="interlanguage-link interwiki-pt mw-list-item"><a href="https://pt.wikipedia.org/wiki/Ultravioleta_extremo" title="Ultravioleta extremo – Portugiesisch" lang="pt" hreflang="pt" data-title="Ultravioleta extremo" data-language-autonym="Português" data-language-local-name="Portugiesisch" class="interlanguage-link-target"><span>Português</span></a></li><li class="interlanguage-link interwiki-zh mw-list-item"><a href="https://zh.wikipedia.org/wiki/%E6%9E%81%E7%B4%AB%E5%A4%96%E8%BE%90%E5%B0%84" title="极紫外辐射 – Chinesisch" lang="zh" hreflang="zh" data-title="极紫外辐射" data-language-autonym="中文" data-language-local-name="Chinesisch" class="interlanguage-link-target"><span>中文</span></a></li> </ul> <div class="after-portlet after-portlet-lang"><span class="wb-langlinks-edit wb-langlinks-link"><a href="https://www.wikidata.org/wiki/Special:EntityPage/Q1385457#sitelinks-wikipedia" title="Links auf Artikel in anderen Sprachen bearbeiten" class="wbc-editpage">Links bearbeiten</a></span></div> </div> </nav> </div> </div> <footer id="footer" class="mw-footer" > <ul id="footer-info"> <li id="footer-info-lastmod"> Diese Seite wurde zuletzt am 27. September 2024 um 11:55 Uhr bearbeitet.</li> <li id="footer-info-copyright"><div id="footer-info-copyright-stats" class="noprint"><a rel="nofollow" class="external text" href="https://pageviews.wmcloud.org/?pages=Extrem_ultraviolette_Strahlung&project=de.wikipedia.org">Abrufstatistik</a> · <a rel="nofollow" class="external text" href="https://xtools.wmcloud.org/authorship/de.wikipedia.org/Extrem_ultraviolette_Strahlung?uselang=de">Autoren</a> </div><div id="footer-info-copyright-separator"><br /></div><div id="footer-info-copyright-info"> <p>Der Text ist unter der Lizenz <a rel="nofollow" class="external text" href="https://creativecommons.org/licenses/by-sa/4.0/deed.de">„Creative-Commons Namensnennung – Weitergabe unter gleichen Bedingungen“</a> verfügbar; Informationen zu den Urhebern und zum Lizenzstatus eingebundener Mediendateien (etwa Bilder oder Videos) können im Regelfall durch Anklicken dieser abgerufen werden. Möglicherweise unterliegen die Inhalte jeweils zusätzlichen Bedingungen. Durch die Nutzung dieser Website erklären Sie sich mit den <span class="plainlinks"><a class="external text" href="https://foundation.wikimedia.org/wiki/Policy:Terms_of_Use/de">Nutzungsbedingungen</a> und der <a class="external text" href="https://foundation.wikimedia.org/wiki/Policy:Privacy_policy/de">Datenschutzrichtlinie</a></span> einverstanden.<br /> </p> Wikipedia® ist eine eingetragene Marke der Wikimedia Foundation Inc.</div></li> </ul> <ul id="footer-places"> <li id="footer-places-privacy"><a href="https://foundation.wikimedia.org/wiki/Special:MyLanguage/Policy:Privacy_policy/de">Datenschutz</a></li> <li id="footer-places-about"><a href="/wiki/Wikipedia:%C3%9Cber_Wikipedia">Über Wikipedia</a></li> <li id="footer-places-disclaimers"><a href="/wiki/Wikipedia:Impressum">Impressum</a></li> <li id="footer-places-wm-codeofconduct"><a href="https://foundation.wikimedia.org/wiki/Special:MyLanguage/Policy:Universal_Code_of_Conduct">Verhaltenskodex</a></li> <li id="footer-places-developers"><a href="https://developer.wikimedia.org">Entwickler</a></li> <li id="footer-places-statslink"><a href="https://stats.wikimedia.org/#/de.wikipedia.org">Statistiken</a></li> <li id="footer-places-cookiestatement"><a href="https://foundation.wikimedia.org/wiki/Special:MyLanguage/Policy:Cookie_statement">Stellungnahme zu Cookies</a></li> <li id="footer-places-mobileview"><a href="//de.m.wikipedia.org/w/index.php?title=Extrem_ultraviolette_Strahlung&mobileaction=toggle_view_mobile" class="noprint stopMobileRedirectToggle">Mobile Ansicht</a></li> </ul> <ul id="footer-icons" class="noprint"> <li id="footer-copyrightico"><a href="https://wikimediafoundation.org/" class="cdx-button cdx-button--fake-button cdx-button--size-large cdx-button--fake-button--enabled"><img src="/static/images/footer/wikimedia-button.svg" width="84" height="29" alt="Wikimedia Foundation" loading="lazy"></a></li> <li id="footer-poweredbyico"><a href="https://www.mediawiki.org/" class="cdx-button cdx-button--fake-button cdx-button--size-large cdx-button--fake-button--enabled"><img src="/w/resources/assets/poweredby_mediawiki.svg" alt="Powered by MediaWiki" width="88" height="31" loading="lazy"></a></li> </ul> </footer> <script>(RLQ=window.RLQ||[]).push(function(){mw.log.warn("This page is using the deprecated ResourceLoader module \"codex-search-styles\".\n[1.43] Use a CodexModule with codexComponents to set your specific components used: https://www.mediawiki.org/wiki/Codex#Using_a_limited_subset_of_components");mw.config.set({"wgHostname":"mw-web.codfw.main-6dfcdd5ff5-vzv7h","wgBackendResponseTime":136,"wgPageParseReport":{"limitreport":{"cputime":"0.131","walltime":"0.185","ppvisitednodes":{"value":970,"limit":1000000},"postexpandincludesize":{"value":13354,"limit":2097152},"templateargumentsize":{"value":4743,"limit":2097152},"expansiondepth":{"value":14,"limit":100},"expensivefunctioncount":{"value":1,"limit":500},"unstrip-depth":{"value":0,"limit":20},"unstrip-size":{"value":4289,"limit":5000000},"entityaccesscount":{"value":0,"limit":400},"timingprofile":["100.00% 149.048 1 -total"," 40.85% 60.886 2 Vorlage:Internetquelle"," 18.14% 27.034 1 Vorlage:Belege_fehlen"," 18.04% 26.895 1 Vorlage:Multiple_image"," 17.70% 26.377 2 Vorlage:Lang"," 16.28% 24.258 1 Vorlage:Hinweisbaustein"," 7.67% 11.436 2 Vorlage:Mehrere_Bilder/Align"," 7.34% 10.937 4 Vorlage:Str_replace"," 5.20% 7.748 1 Vorlage:Booland"," 3.03% 4.510 2 Vorlage:Str_len"]},"scribunto":{"limitreport-timeusage":{"value":"0.043","limit":"10.000"},"limitreport-memusage":{"value":2918985,"limit":52428800}},"cachereport":{"origin":"mw-web.eqiad.canary-f4d9647c4-x6xlc","timestamp":"20241202111417","ttl":2592000,"transientcontent":false}}});});</script> <script type="application/ld+json">{"@context":"https:\/\/schema.org","@type":"Article","name":"Extrem ultraviolette Strahlung","url":"https:\/\/de.wikipedia.org\/wiki\/Extrem_ultraviolette_Strahlung","sameAs":"http:\/\/www.wikidata.org\/entity\/Q1385457","mainEntity":"http:\/\/www.wikidata.org\/entity\/Q1385457","author":{"@type":"Organization","name":"Autoren der Wikimedia-Projekte"},"publisher":{"@type":"Organization","name":"Wikimedia Foundation, Inc.","logo":{"@type":"ImageObject","url":"https:\/\/www.wikimedia.org\/static\/images\/wmf-hor-googpub.png"}},"datePublished":"2004-07-16T07:01:18Z","image":"https:\/\/upload.wikimedia.org\/wikipedia\/commons\/a\/a8\/ISO_7010_W003.svg"}</script> </body> </html>