CINXE.COM

<!DOCTYPE html> <html><head> <meta charset="utf-8"> <title>Техносфера - Вакуумная технология и оборудование для нанесения и травления тонких пленок</title> <meta name="keywords" content="..."> <meta name="description" content="..."> <meta property="og:image" content="/images/ready/15/853_571999.jpg" /> <meta name="google-site-verification" content="uYRECSoWK3kriGRvkUD9v4xhAT__CzzPv3F7EUDIRYE" /> <meta name="yandex-verification" content="7f33e48e5596db06" /> <link href="https://www.technosphera.ru/main8.css" rel="STYLESHEET" type="text/css" /> <link rel="icon" href="/favicon_tsphera.ico" type="image/x-icon"> <link rel="shortcut icon" href="/favicon_tsphera.ico" type="image/x-icon"> <script type="text/javascript" src="https://www.technosphera.ru/js/jquery.js"></script> <script type="text/javascript" src="https://www.technosphera.ru/js/jquery.dimensions.js"></script> <script type="text/javascript" src="https://www.technosphera.ru/js/browser.js"></script> <script type="text/javascript" src="https://www.technosphera.ru/js/supermodal.js"></script> <script type="text/javascript" src="https://www.technosphera.ru/js/foto.js"></script> <script type="text/javascript">//<![CDATA[ var redirectMode=0; var modalAjaxSgn=-1; // Возвращает значение куки function getCookie(name) { var matches = document.cookie.match(new RegExp( "(?:^|; )" + name.replace(/([\.$?*|{}\[\]\\\/\+^])/g, '\\$1') + "=([^;]*)" )); // return matches ? decodeURIComponent(matches[1]) : ''; return matches ? matches[1] : ''; } function get_with_www(url){ var s=url+'/'; if (s.match(/^https?\:\/\/[^\.\?]+\.[^\.\?]+(\/|\?)/i)) url=url.replace(/^http\:\/\//i,'http://www.').replace(/^https\:\/\//i,'https://www.'); return url; } // Редирект на url с www function redirect_mode(){ if (0) return false; var url=document.location.href; var url2=get_with_www(url); if (url!=url2) { redirectMode=1; document.location.href=url2; }; }; redirect_mode(); $(document).ready(function(){ if (redirectMode) return false; $('#smpLoginForm').attr('action',get_with_www($('#smpLoginForm').attr('action'))); if ($('#BlockTaggedArticles').length==0) $('#BlockArticles').show(); if ($('#BlockTaggedReports').length==0) $('#BlockReports').show(); if ($('#BlockTaggedEvents').length==0) $('#BlockEvents').show(); if ($('#BlockTaggedNews').length==0 && $('#BlockNews a.hidden').length) $('#BlockNews').show(); modalAjaxDone (); $('a.a_link').each(function(n,el) { $(el).attr('href', $(el).attr('data-href')); }); $('#DOM_loading').hide(); $('#DOM_ready').show(); $('#reklama_links_1').css('height',$('#reklama_links_2').height()+'px'); $(window).resize(function(){ resize_win(); }); ysearch_focus(0); $('div.panel_left, div.panel_right').addClass('height100'); $('div.panel_left').prepend( '<div class="height100" style="position:absolute; left:0px; top:0px; z-index:2;'+ ' background:url(/img/tsphera/shadow_left.png) repeat-y left top; width:10px"></div>'+ '<a class="ui" href="javascript:void(0)" onclick="this.blur(); return panel_hide()">'+ '<div class="height100" style="position:absolute; right:-14px; top:0px; z-index:2;'+ ' background:url(/img/tsphera/bg_bar_left.gif) repeat-y left top; width:14px">'+ '<img src="/img/tsphera/arrow_col_left.gif" width="6" height="9" alt=""'+ ' style="position:absolute; right:4px; top:327px; border:none" /></div></a>'+ '<div class="height100" style="position:absolute; right:-24px; top:0px;'+ ' background:url(/img/tsphera/shadow_left.png) repeat-y left top; width:10px"></div>' ); $('div.panel_right').prepend( '<div class="height100" style="position:absolute; right:0px; top:0px; z-index:2;'+ ' background:url(/img/tsphera/shadow_right.png) repeat-y right top; width:10px"></div>'+ '<a class="ui" href="javascript:void(0)" onclick="this.blur(); return panel_hide()">'+ '<div class="height100" style="position:absolute; left:-14px; top:0px; z-index:2;'+ ' background:url(/img/tsphera/bg_bar_right.gif) repeat-y right top; width:14px">'+ '<img src="/img/tsphera/arrow_col_right.gif" width="6" height="9" alt=""'+ ' style="position:absolute; left:4px; top:327px; border:none" /></div></a>'+ '<div class="height100" style="position:absolute; left:-24px; top:0px;'+ ' background:url(/img/tsphera/shadow_right.png) repeat-y right top; width:10px"></div>' ); $('a.panel').attr('href','javascript:void(0)').click(function(){ var id=$(this).blur().attr('name'); var el=$('#'+id); var side = $(el).hasClass('panel_left') ? 'left' : 'right'; if ($(el).filter(':visible').length>0) { $(this).removeClass('lite'); $(el).animate(side=='left' ? {left:'39px'} : {right:'0px'},400,function(){ $(this).css('visibility','hidden'); $('#'+side+'_hidden_col').css('visibility','visible'); }); return false; }; $('a.panel').filter('.lite').removeClass('lite'); $(this).addClass('lite'); $('div.panel_left:visible').animate({left:'39px'},400,function(){ $(this).css('visibility','hidden'); if (side=='right') $('#left_hidden_col').css('visibility','visible'); resize_win(); }); $('div.panel_right:visible').animate({right:'0px'},400,function(){ $(this).css('visibility','hidden'); if (side=='left') $('#right_hidden_col').css('visibility','visible'); resize_win(); }); $('#'+side+'_hidden_col').css('visibility','hidden'); $(el).css('visibility','visible').animate(side=='left' ? {left:'191px'} : {right:'191px'}, 400, resize_win ); return false; }); setTimeout("resize_win()", 100); }); function panel_hide () { $('a.panel').filter('.lite').click(); return false; }; function resize_win() { var h=$('body').height(); $('.height100').css('min-height', '1px'); $.each($('.height100'),function(n,el){ var h2=$(el).height(); h=h<h2 ? h2 : h; }); $('.height100').css('min-height', h+'px'); }; // AJAX-запрос с окрытием и обновлением модального окна function modalAjaxStart (url, params, func, nocancel, nowait) { if (!nowait && nocancel) { $('div.modalHeader div:first, div.modalFooter div:first').html(''); $('div.modalContent div:first').html('<div align="center"><img class="antibot_img middle" src="/img/tsphera/wait.gif" width="75" height="50" alt="" /></div>'); if ($('#superModalOverlay').css('display')=='none') superModalShow("#header=div.modalHeader;content=div.modalContent;footer=div.modalFooter;valign=middle;width=350;height=200;closeEsc=0"); superModalTune(); }; if (!nowait && !nocancel) { $('div.modalHeader div:first').html(''); $('div.modalContent div:first').html('<div align="center"><img class="antibot_img middle" src="/img/tsphera/wait.gif" width="75" height="50" alt="" /></div>'); $('div.modalFooter div:first').html('<input type="submit" onclick="modalAjaxDone(); return false" value=" Отмена " />'); if ($('#superModalOverlay').css('display')=='none') superModalShow("#header=div.modalHeader;content=div.modalContent;footer=div.modalFooter;valign=middle;width=350;height=200;closeEsc=1"); superModalTune(modalAjaxDone); }; var el=$('div.modalContent div:first'); $.getJSON(url, params, function (obj) { if ($('div.modalContent').css('display')=='none') { modalAjaxDone(); if (typeof func === 'function') func(obj); return false; } if (obj.result!=0) { $('div.modalHeader div:first, div.modalFooter div:first').html(''); $('div.modalContent div:first').html('<div style="text-align:center"><span class="bigger2 error">Извините, внутренняя ошибка сервера</span><span class="norm"><br><br><a class="ui" target="_top" href="https://www.technosphera.ru/">Техносфера</a></span></div>'); if ($('#superModalOverlay').css('display')=='none') superModalShow("#header=div.modalHeader;content=div.modalContent;footer=div.modalFooter;valign=middle;width=500;height=250;closeEsc=1"); superModalTune(modalAjaxDone); return false; } if (obj.sgn==modalAjaxSgn) { if (obj.header!=='undefined') $('div.modalHeader div:first').html(obj.header); if (obj.content!=='undefined') $(el).html(obj.content); if (obj.footer!=='undefined') $('div.modalFooter div:first').html(obj.footer); superModalTune(modalAjaxDone); // $('div.modalHeader, div.modalContent, div.modalFooter').find('input').addClass('input_ie6hack'); }; if (typeof func === 'function') func(obj); }); return false; }; function modalAjaxDone () { modalAjaxSgn=-1; if ($('#superModalOverlay').css('display')!='none') superModalClose(); $('div.modalContent, div.modalHeader, div.modalFooter').remove(); $('<div class="modalHeader" style="display:none"><div style="padding:20px 20px 15px 20px" align="center"></div></div><div class="modalContent" style="display:none"><div style="padding:0 20px 0 20px"></div></div><div class="modalFooter" style="display:none"><div style="padding:20px 20px 20px 20px" align="center"></div></div>').appendTo('body'); return false; }; function superModalShowAndTune (w,h,esc) { superModalShow("#header=div.modalHeader;content=div.modalContent;footer=div.modalFooter;valign=middle;width="+w+";height="+h+";closeEsc="+esc); superModalTune(); }; function ysearch_focus(f) { if (f) $('#ysearch_div').css('background','#f5f5f5'); if (!f && !$('#ysearch_input').val().match(/\S/)) $('#ysearch_div').css('background','#f5f5f5 url(/img/tsphera/ysearch_small.gif) no-repeat 6px 6px'); }; function popup_arrow(o) { o=$(o).blur().find('img'); var s=$(o).attr('src'); $(o).attr('src','/img/tsphera/arrow_small_'+(s.match(/dn\.gif/) ? 'up' : 'dn')+'.gif'); resize_win(); return false; }; //]]></script> <style> div.smap { display:none; } </style> </head> <body>  <div style="display:none"> <img src="/images/ready/15/853_571999.jpg" /> <p>В книге обобщено современное состояние одной из отраслей производства изделий электронной техники: вакуумной технологии нанесения и травления тонких пленок. Книга содержит подробное описание: магнетронных напылительных установок, плазмохимических установок для травления тонких пленок и технологических особенностей их использования. Описаны математические модели, способы управления и примеры использования реактивного магнетронного напыления, принципы построения и применения среднечастотных источников питания для реактивного магнетронного напыления. Приведены теоретические основы и физические принципы конструирования нового типа источника высокочастотного разряда низкого давления для ионного или плазмохимического травления тонких пленок и/или их стимулированного плазмой осаждения.<br><br>Книга рассчитана на специалистов научно-исследовательских лабораторий, конструкторских бюро и производственных подразделений предприятий, занимающихся разработкой и изготовлением различных изделий электронной техники, и оборудования для их производства.</p> </div>  <div class="smap"><a href="/sitemap.xml">sitemap</a></div>  <script> $(document).ready(function(){ if (getCookie('lama_Cw')!='1') $('#CookieWarning').show(); }); function cookie_warning_off () { var date = new Date(new Date().getTime() + 365*24*60*60*1000); document.cookie = 'lama_Cw=1; path=/; expires=' + date.toUTCString(); }; </script> <div id="CookieWarning" style="display:none; position:fixed; left:0px; bottom:20px; right:0px; z-index:1000000000"> <div style="margin:auto; width:490px; padding:0 15px 0 15px; background:#333; border:#fff 1px solid"> <div style="float:left; width:388px; text-align:center; padding:15px 0 15px 0"><span class="smaller1" style="color:#999"> Наш сайт использует cookies. Продолжая просмотр, вы даёте согласие на обработку персональных данных и соглашаетесь с нашей <a href="/page/politica_sec" style="color:#999; text-decoration:underline">Политикой Конфиденциальности</a> </span></div> <div style="float:right; width:100px; text-align:right; padding:20px 0 5px 0"> <span class="smaller1" onclick="$('#CookieWarning').hide(); cookie_warning_off()" style="background:#555; border:#999 1px solid; display:inline-block; padding:8px 10px 8px 10px; color:#fff; cursor:pointer">Согласен</span> </div> <div style="clear:both"></div> </div></div>  <div id="DOM_loading" align="center"><br></div><div id="DOM_ready" align="center" style="display:none"><div style="width:970px; position:relative; left:0px; top:0px" align="left">  <div class="height100" align="left" style="width:190px; float:left; border-right:#969c9d 1px solid; background:#fff url(/img/tsphera/bg_1.jpg) no-repeat left top; position:relative; left:0px; top:0xp; z-index:4">   <div style="padding:6px 10px 15px 16px"><span class="smaller1"> <div style="float:left"><a class="title ui" target="_top" href="https://www.technosphera.ru/">главная</a></div> <div style="float:right" align="right"><a class="title ui" target="_top" href="https://www.technosphera.ru/page/tsphera_en?lang=en"><img src="/img/tsphera/lang_en.png" style="width:23px; height:14px; border:none; margin-right:4px; vertical-align:middle" alt="" />eng</a></div> <div style="clear:both"></div> </span></div>      <script> function ysearch_submit() { var f=document.yandex_search_form; f.searchid.value= $(f).find('input[name=yandex_search_area]:checked').val()=='1' ? 1510549 : 2065407; f.submit(); return false; }; </script> <div style="padding:0px 10px 10px 16px"> <form name="yandex_search_form" method="get" action="https://www.technosphera.ru/page/ysearch" onsubmit="return ysearch_submit()"> <input type="hidden" name="searchid" value="1510549" /> <span class="smaller1 std">Поиск:</span> <div id="ysearch_div" style="border:#c8c8c8 1px solid; padding:3px 5px 3px 5px; background:#f5f5f5"> <input type="text" id="ysearch_input" name="text" onfocus="ysearch_focus(true)" onblur="ysearch_focus(false)" class="middle" maxlength="255" style="width:150px; background:transparent; border:none; font-size:12px; color:#000" value="" /></div> <div style="height:3px"></div> <span class="smaller2 std middle"> <label class="middle"><input name="yandex_search_area" class="box" type="radio" value="2" checked="checked" /> на сайте Техносфера</label><br> <label class="middle"><input name="yandex_search_area" class="box" type="radio" value="1" /> на всех сайтах РИЦ</label> </span> </form> </div>    <div style="padding:0px 10px 10px 15px" align="right"><span class="bigger1 std"> <span class="smaller1"><a class="panel title ui" name="panel_auth">Вход</a></span> <div style="height:20px"></div> <a class="title ui" href="https://www.technosphera.ru/page/tsphera_about">О компании</a> <div style="height:10px"></div> <a class="panel title ui" name="panel_journals">Журналы</a> <div style="height:10px"></div> <a class="panel title ui" name="panel_books_menu">Книги</a> <div style="height:10px"></div> <a class="panel title ui" name="panel_menu_mediadata">Медиаданные</a> <div style="height:10px"></div> <a class="panel title ui" name="panel_menu_policy">Редакционная политика</a> <div style="height:10px"></div> <a class="panel title ui" name="panel_menu_adv">Реклама</a> <div style="height:10px"></div> <a class="panel title ui" name="panel_menu_contacts">Контакты</a> <div style="height:10px"></div> </span></div>     <script> var socialnet_count=0; function socialnet_add (site, title, src, href, name) { if (site!='tsphera' && site!='*') return false; if (!name) name=''; socialnet_count++; if (socialnet_count==1) document.write('<div align="left" style="padding:0 5px 10px 15px"><span class="smaller1" style="vertical-align:middle">'); document.write( '<a class="ui" rel="nofollow" target="_blank" href="'+href+'"><img src="'+src+'" title="'+title+'" alt="" style="display:inline-block; width:24px; height:24px; border:none; margin:5px; vertical-align:middle" /> '+name+'</a><br>' ); }; // Команды для размещения ссылок вводите ниже (всё, что выше - не редактировать!): socialnet_add( '*', 'Telegram', '/files/page_attach/0/53.png', 'https://t.me/TS_pub', 'TS_pub' ); socialnet_add( '*', 'ВКонтакте', '/files/page_attach/0/51.png', 'https://www.vk.com/technospheramag', 'technospheramag' ); socialnet_add( '*', 'Одноклассники', '/files/page_attach/0/52.png', 'https://ok.ru/group/53337117491357', 'technospheramag' ); socialnet_add( '*', 'Youtube', '/files/page_attach/0/48.png', 'https://www.youtube.com/c/ТЕХНОСФЕРА_РИЦ', 'ТЕХНОСФЕРА_РИЦ' ); if (socialnet_count>0) document.write('</span></div>');  </script>     <div style="padding:0px 10px 10px 20px" align="left"><span class="smaller1 std"> © 2001-2024<br> <a class="ui" target="_top" href="https://www.technosphera.ru">РИЦ Техносфера</a><br> Все права защищены<br> Тел. +7 (495) 234-0110<br> <a href="https://www.technosphera.ru/page/OFERTA">Оферта</a> <br /> <br />  <a href="https://metrika.yandex.ru/stat/?id=10321768&from=informer" target="_blank" rel="nofollow"><img src="https://informer.yandex.ru/informer/10321768/3_1_FFFFFFFF_EFEFEFFF_0_pageviews" style="width:88px; height:31px; border:0;" alt="Яндекс.Метрика" title="Яндекс.Метрика: данные за сегодня (просмотры, визиты и уникальные посетители)" class="ym-advanced-informer" data-cid="10321768" data-lang="ru" /></a>   <script type="text/javascript" > (function(m,e,t,r,i,k,a){m[i]=m[i]||function(){(m[i].a=m[i].a||[]).push(arguments)}; m[i].l=1*new Date(); for (var j = 0; j < document.scripts.length; j++) {if (document.scripts[j].src === r) { return; }} k=e.createElement(t),a=e.getElementsByTagName(t)[0],k.async=1,k.src=r,a.parentNode.insertBefore(k,a)}) (window, document, "script", "https://mc.yandex.ru/metrika/tag.js", "ym"); ym(10321768, "init", { clickmap:true, trackLinks:true, accurateTrackBounce:true }); </script> <noscript><div><img src="https://mc.yandex.ru/watch/10321768" style="position:absolute; left:-9999px;" alt="" /></div></noscript>  <br> <a href="http://r8w.ru"> R&W</a> </span></div>  </div>   <div id="left_hidden_col" class="height100" style="width:22px; float:left; position:relative; left:0px; top:0px; background:#d0cecf url(/img/tsphera/bg_bar_left.gif) repeat-y right top; z-index:2">  <div class="height100" style="position:absolute; right:-10px; top:0px; background:url(/img/tsphera/shadow_left.png) repeat-y left top; width:10px"></div> </div>   <div class="height100" align="left" style="width:190px; float:right; border-left:#969c9d 1px solid; background:#fff url(/img/tsphera/bg_2.jpg) no-repeat right top; position:relative; left:0px; top:0xp; z-index:4"> <div style="padding:0px 3px 10px 15px" align="left">  <div style="height:20px"></div>     <div style="padding-bottom:25px; position:relative; left:0px; top:0px"><a class="astext ui" href="https://www.technosphera.ru/lib/order/"><img src="/img/tsphera/icon_order_tsphera.gif" width="150" height="44" border="0" alt="" /><span class="norm" style="display:block; position:absolute; left:0px; top:25px">выбрано книг: <span id="basket_resume_count">0</span> </span></a></div>   <div style="padding-bottom:25px; position:relative; left:0px; top:0px"> <img src="/img/tsphera/icon_subscr_tsphera.png" style="display:block; width:129px; height:20px; border:none" alt="" /> <div style="height:5px"></div> <a class="astext ui" href="https://www.technosphera.ru/journal/order/"><img src="/img/tsphera/icon_subscr_paper_tsphera.png" style="display:block; width:156px; height:16px; border:none" alt="" /></a> <div style="height:3px"></div> <a class="astext ui" href="https://www.technosphera.ru/journal/order/?digit=1"><img src="/img/tsphera/icon_subscr_digit_tsphera.png" style="display:block; width:124px; height:16px; border:none" alt="" /></a> <div style="height:3px"></div> <a class="astext ui" href="https://www.technosphera.ru/account/?act=dlv"><img src="/img/tsphera/icon_subscr_news_tsphera.png" style="display:block; width:60px; height:16px; border:none" alt="" /></a> </div>   <span class="bigger1"><a class="panel title ui" name="panel_books_hits">Хиты продаж</a></span> <div style="height:25px"></div>   <span class="bigger1 std">Серии книг</span> <span class="smaller1"> <div style="height:2px"></div> <span id="lib_title_22"><a class="title ui" href="https://www.technosphera.ru/lib/22">Библиотека Института стратегий развития</a></span> <div style="height:2px"></div> <span id="lib_title_30"><a class="title ui" href="https://www.technosphera.ru/lib/30">Мир квантовых технологий</a></span> <div style="height:2px"></div> <span id="lib_title_1"><a class="title ui" href="https://www.technosphera.ru/lib/1">Мир математики</a></span> <div style="height:2px"></div> <span id="lib_title_2"><a class="title ui" href="https://www.technosphera.ru/lib/2">Мир физики и техники</a></span> <div style="height:2px"></div> <span id="lib_title_3"><a class="title ui" href="https://www.technosphera.ru/lib/3">Мир биологии и медицины</a></span> <div style="height:2px"></div> <span id="lib_title_4"><a class="title ui" href="https://www.technosphera.ru/lib/4">Мир химии</a></span> <div style="height:2px"></div> <span id="lib_title_5"><a class="title ui" href="https://www.technosphera.ru/lib/5">Мир наук о Земле</a></span> <div style="height:2px"></div> <span id="lib_title_6"><a class="title ui" href="https://www.technosphera.ru/lib/6">Мир материалов и технологий</a></span> <div style="height:2px"></div> <span id="lib_title_7"><a class="title ui" href="https://www.technosphera.ru/lib/7">Мир электроники</a></span> <div style="height:2px"></div> <span id="lib_title_8"><a class="title ui" href="https://www.technosphera.ru/lib/8">Мир программирования</a></span> <div style="height:2px"></div> <span id="lib_title_9"><a class="title ui" href="https://www.technosphera.ru/lib/9">Мир связи</a></span> <div style="height:2px"></div> <span id="lib_title_10"><a class="title ui" href="https://www.technosphera.ru/lib/10">Мир строительства</a></span> <div style="height:2px"></div> <span id="lib_title_11"><a class="title ui" href="https://www.technosphera.ru/lib/11">Мир цифровой обработки</a></span> <div style="height:2px"></div> <span id="lib_title_12"><a class="title ui" href="https://www.technosphera.ru/lib/12">Мир экономики</a></span> <div style="height:2px"></div> <span id="lib_title_13"><a class="title ui" href="https://www.technosphera.ru/lib/13">Мир дизайна</a></span> <div style="height:2px"></div> <span id="lib_title_14"><a class="title ui" href="https://www.technosphera.ru/lib/14">Мир увлечений</a></span> <div style="height:2px"></div> <span id="lib_title_15"><a class="title ui" href="https://www.technosphera.ru/lib/15">Мир робототехники и мехатроники</a></span> <div style="height:2px"></div> <span id="lib_title_16"><a class="title ui" href="https://www.technosphera.ru/lib/16">Для кофейников</a></span> <div style="height:2px"></div> <span id="lib_title_17"><a class="title ui" href="https://www.technosphera.ru/lib/17">Мир радиоэлектроники</a></span> <div style="height:2px"></div> <span id="lib_title_18"><a class="title ui" href="https://www.technosphera.ru/lib/18">Библиотечка «КВАНТ»</a></span> <div style="height:2px"></div> <span id="lib_title_19"><a class="title ui" href="https://www.technosphera.ru/lib/19">Умный дом</a></span> <div style="height:2px"></div> <span id="lib_title_20"><a class="title ui" href="https://www.technosphera.ru/lib/20">Мировые бренды</a></span> <div style="height:2px"></div> <span id="lib_title_21"><a class="title ui" href="https://www.technosphera.ru/lib/21">Вне серий</a></span> <div style="height:2px"></div> <span id="lib_title_23"><a class="title ui" href="https://www.technosphera.ru/lib/23">Библиотека климатехника</a></span> <div style="height:2px"></div> <span id="lib_title_24"><a class="title ui" href="https://www.technosphera.ru/lib/24">Мир транспорта</a></span> <div style="height:2px"></div> <span id="lib_title_25"><a class="title ui" href="https://www.technosphera.ru/lib/25">Мир фотоники</a></span> <div style="height:2px"></div> <span id="lib_title_26"><a class="title ui" href="https://www.technosphera.ru/lib/26">Мир станкостроения</a></span> <div style="height:2px"></div> <span id="lib_title_27"><a class="title ui" href="https://www.technosphera.ru/lib/27">Мир метрологии</a></span> <div style="height:2px"></div> <span id="lib_title_28"><a class="title ui" href="https://www.technosphera.ru/lib/28">Мир энергетики</a></span> <div style="height:2px"></div> <span id="lib_title_29"><a class="title ui" href="https://www.technosphera.ru/lib/29">Книги, изданные при поддержке РФФИ</a></span> </span> <div style="height:25px"></div> <script> $(document).ready(function(){ $('#lib_title_6').css('font-weight','bold').addClass('norm'); }); </script>                <div id="BlockNews" style="display:none"> <span class="bigger1 std">Новости</span> <span class="smaller1 std">  // <a class="title ui" href="https://www.technosphera.ru/news/">все новости</a></span> <div style="height:8px"></div> <span class="smaller3 gray">09.12.2024</span><br> <span class="smaller1"><a class="hidden" href="https://www.technosphera.ru/news/11827">Вышла новая книга «DWDM-системы, пятое издание»</a></span> <div style="height:8px"></div> <span class="smaller3 gray">06.12.2024</span><br> <span class="smaller1"><a class="hidden" href="https://www.technosphera.ru/news/11824">Вышла новая книга «Радиоэлектроника СВЧ – технологии, компоненты, приборы, комплексы. Сборник научных трудов»</a></span> <div style="height:25px"></div></div>           </div> </div>   <div id="right_hidden_col" class="height100" style="width:22px; float:right; position:relative; left:0px; top:0px; background:#d0cecf url(/img/tsphera/bg_bar_right.gif) repeat-y left top; z-index:2">  <div class="height100" style="position:absolute; left:-10px; top:0px; background:url(/img/tsphera/shadow_right.png) repeat-y right top; width:10px"></div> </div>    <div id="panel_auth" class="panel_left"> <div style="padding-top:60px" align="center"><span class="norm std"> <script type="text/javascript">//<![CDATA[ function smpValidLoginForm() { var v={ status: 0 }; var f=document.smpLoginForm; if (!f.login_email.value.match(/\S/) || !f.login_password.value.match(/\S/)) v.status=1; return v; }; function do_login() { var res=smpValidLoginForm(); if (res.status==1) $('#login_alert').html('Введите e-mail и пароль'); return res.status==0; }; //]]></script> <span class="bigger2">Вход:</span><br><br> <form name="smpLoginForm" id="smpLoginForm" method="post" action="https://www.technosphera.ru/account/" onsubmit="return do_login()"> <input type="hidden" name="act" value="login" /><input type="hidden" name="redirect" value="/lib/book/76/?p=1" /> Ваш e-mail:<br> <input type="text" name="login_email" class="smaller1" maxlength="64" value="" style="width:90px" onfocus="$('#login_alert').html(' ')" /> <div style="height:10px"></div> Пароль:<br> <input type="password" name="login_password" autocomplete="off" class="smaller1" maxlength="64" value="" style="width:90px" onfocus="$('#login_alert').html(' ')" /> <div style="height:10px"></div> <span class="smaller1"><div><label><input type="checkbox" class="box" name="login_store" value="1" /> - запомнить меня</label></div></span> <div style="height:10px"></div> <input type="submit" class="button_smaller1" value=" Войти " /> <div style="height:10px"></div> <span id="login_alert" class="smaller1 error"> </span> <div style="height:20px"></div> <a class="title ui" href="https://www.technosphera.ru/account/reg/">Регистрация</a> <div style="height:10px"></div> <a class="title ui" href="https://www.technosphera.ru/account/password/">Забыли пароль?</a> </form> </span></div></div>     <div id="panel_books_menu" class="panel_left"> <div style="padding-top:60px" align="center"><span class="norm std"> <span class="bigger2">Книги:</span><br><br> <a class="title ui" href="https://www.technosphera.ru/page/books_about">Издательство</a> <div style="height:10px"></div> <a class="title ui" href="https://www.technosphera.ru/lib/new/">Новинки</a> <div style="height:10px"></div> <a class="colored ui" href="https://www.technosphera.ru/page/how_to_publish_book">Как издать книгу</a> <div style="height:10px"></div> <a class="title ui" href="https://www.technosphera.ru/lib/">Прайс-лист</a> <div style="height:10px"></div> <a class="title ui" href="https://www.technosphera.ru/page/stores">Где купить</a> <div style="height:10px"></div> </span></div></div>           <div id="panel_menu_mediadata" class="panel_left"> <div style="padding-top:60px" align="center"><span class="norm std"> <span class="bigger2">Медиаданные:</span><br><br> <a class="title ui" href="https://www.technosphera.ru/page/founder">Учредитель</a> <div style="height:10px"></div> <a class="title ui" href="https://www.technosphera.ru/page/1890">Издатель</a> <div style="height:10px"></div> </span></div></div> <div id="panel_menu_policy" class="panel_left"> <div style="padding-top:60px" align="center"><span class="norm std"> <span class="bigger2">Редакционная политика:</span><br><br> <a class="title ui" href="https://www.technosphera.ru/page/1885">Редакционная политика РИЦ «ТЕХНОСФЕРА»</a> <div style="height:10px"></div> </span></div></div> <div id="panel_menu_adv" class="panel_left"> <div style="padding-top:60px" align="center"><span class="norm std"> <span class="bigger2">Реклама:</span><br><br> <a class="title ui" href="https://www.technosphera.ru/page/book_ads">Реклама в книгах</a> <div style="height:10px"></div> <a class="title ui" href="https://www.technosphera.ru/page/ads_team">Отдел рекламы</a> <div style="height:10px"></div> </span></div></div> <div id="panel_menu_authors" class="panel_left"> <div style="padding-top:60px" align="center"><span class="norm std"> <span class="bigger2">Авторам:</span><br><br> </span></div></div> <div id="panel_menu_contacts" class="panel_left"> <div style="padding-top:60px" align="center"><span class="norm std"> <span class="bigger2">Контакты:</span><br><br> <a class="title ui" href="https://www.technosphera.ru/page/map">Адрес</a> <div style="height:10px"></div> <a class="title ui" href="https://www.technosphera.ru/page/dep_adv_books">Издательство</a> <div style="height:10px"></div> <a class="title ui" href="/feedback/">Написать письмо</a> <div style="height:10px"></div> </span></div></div>     <div id="panel_journals" class="panel_left"> <div style="padding-top:60px" align="center"><span class="norm std"> <span class="bigger2">Журналы:</span><br><br> <a class="title ui" target="_top" href="https://www.electronics.ru/">Электроника НТБ</a> <div style="height:10px"></div> <a class="title ui" target="_top" href="https://www.nanoindustry.su/">Наноиндустрия</a> <div style="height:10px"></div> <a class="title ui" target="_top" href="https://www.lastmile.su/">Первая миля</a> <div style="height:10px"></div> <a class="title ui" target="_top" href="https://www.photonics.su/">Фотоника</a> <div style="height:10px"></div> <a class="title ui" target="_top" href="https://www.j-analytics.ru/">Аналитика</a> <div style="height:10px"></div> <a class="title ui" target="_top" href="https://www.stankoinst.ru/">Станкоинструмент</a> <div style="height:10px"></div> </span></div></div>       <div id="panel_books_hits" class="panel_right"> <div style="padding-top:60px" align="center"> <span class="bigger2 std">Хиты продаж</span> <div style="padding:20px 3px 0px 0px" align="left"> <div style="float:left" align="right"><a href="https://www.technosphera.ru/lib/book/727"><img src="/images/ready/22/504_687711.jpg" width="65" height="90" border="0" alt="" /></a><br> <span class="smaller3"><a class="more" href="https://www.technosphera.ru/lib/book/727">читать книгу</a></span></div> <div style="float:right; width:132px; padding-top:5px"> <span class="smaller2 gray">Шпак В.В.</span> <div style="height:8px"></div> <span class="smaller1"><a class="hidden" href="https://www.technosphera.ru/lib/book/727">Развитие электронной промышленности России в условиях меняющегося мира, 2-е исправленное издание</a></span> </div> <div style="clear:both"></div> </div> <div style="padding:20px 3px 0px 0px" align="left"> <div style="float:left" align="right"><a href="https://www.technosphera.ru/lib/book/724"><img src="/images/ready/22/613_179819.jpg" width="65" height="90" border="0" alt="" /></a><br> <span class="smaller3"><a class="more" href="https://www.technosphera.ru/lib/book/724">читать книгу</a></span></div> <div style="float:right; width:132px; padding-top:5px"> <span class="smaller2 gray">В.Н. Помогайбин</span> <div style="height:8px"></div> <span class="smaller1"><a class="hidden" href="https://www.technosphera.ru/lib/book/724">История психологии: эволюция основ. Второе издание, исправленное и дополненное</a></span> </div> <div style="clear:both"></div> </div> </div></div>        <div class="height100" align="left" style="width:540px; overflow:visible; float:left; position:relative; left:0px; top:0px; z-index:1"><div align="left" style="width:544px; overflow:hidden; position:relative; left:0px; top:0px; background:#fff url(/img/tsphera/bg_logo_tsphera.jpg) no-repeat left top"><a class="ui" target="_top" href="https://www.technosphera.ru/"><div style="height:136px"></div></a>   <div style="height:50px"></div>  <div class="content">  <div align="center"><span class="bigger3 std"> О книге </span></div>  <script type="text/javascript">//<![CDATA[ var book_id; var book_url; function do_book_form(m) { var v=$('#this_book_count').val(); if (!v.match(/^\s*\d*\.?\s*$/)) { $('#book_form_alert').html('Неверное количество экземпляров'); $('#this_book_count').not('.error').addClass('error'); return false; }; if (parseInt(v,10)>2147483647) { $('#book_form_alert').html('Слишком большое количество'); $('#this_book_count').not('.error').addClass('error'); return false; }; if (m==1) document.location.href=book_url+v; else modalAjaxStart (book_url+v, {}, function(obj) { if (obj.status==0) { var el=$('#book_'+book_id+'_count span'); $(el).html(''+obj.cnt); if (obj.cnt==0) $(el).hide(); else $(el).show(); $('#basket_resume_count').html(''+obj.items); }; modalAjaxDone (); }, true, false); return false; }; function retry_book_form(obj) { $(obj).removeClass('error'); $('#book_form_alert').html(' '); resize_win(); }; function do_book_add(id,url) { modalAjaxDone(); book_id=id; book_url=url; var v=$('#book_'+id+'_count span').html(); if (v==0) v='1'; var height=250; $('div.modalHeader div:first').html('<span class="bigger2 std">Заказать в издательстве</span>'); var html='<div align="center"><span class="norm std">Положить книгу в корзину заказа:<div style="height:5px"></div><input id="this_book_count" class="norm" style="width:100px" value="'+v+'" onfocus="retry_book_form($(this))" /> экз.<div style="height:5px"></div><span class="smaller2 gray">(чтобы удалить книгу из корзины, введите 0 или пустую строку)</span></span></div>'; var s=$('div.topadvert_div').html(); if (!s) { s=''; }; if (s.match(/\S/)) { s=s.replace(/<span class="norm std"><b>Купить в интернет-магазинах:<\/b><\/span>/, 'Эту книгу также можно купить в интернет-магазинах:'); var h=$('div.topadvert_div').outerHeight()-10; if (h>0) height+=h; html+= '<div style="padding:20px 0 0 30px"><span class="smaller1 std">'+s+'</span></div>'; }; $('div.modalContent div:first').html(html); $('div.modalFooter div:first').html('<span id="book_form_alert" class="smaller1 error"> </span><div style="height:3px"></div><span class="norm"><input type="submit" value=" Продолжить выбор " onclick="return do_book_form(0)" />    <input type="submit" value=" Оформить заказ " onclick="return do_book_form(1)" />    <input type="submit" value=" Отмена " onclick="modalAjaxDone(); return false" /></span>'); superModalShowAndTune(450,height,1); }; //]]></script> <div style="float:left; padding-top:30px"><img class="image" src="/images/ready/15/853_571999.jpg" alt="" style="width:200px; height:270px; display:block" /></div> <div style="float:right; width:305px; padding:30px 0 75px 0; min-height:195px; position:relative; left:0px; top:0px"> <span class="norm std">Берлин Е.В., Двинин С.А., Сейдман Л.А.</span> <div style="height:3px"></div> <span class="bigger2">Вакуумная технология и оборудование для нанесения и травления тонких пленок</span> <div style="padding-top:15px" align="right"> <div class="NotActionPart" style="display:block"> <span class="bigger2 colored"> Цена: — </span> </div> </div> <div style="position:absolute; left:0px; right:0px; bottom:-2px"> <style> a.book { display:block; background:#eee; color:#000; text-decoration:none; padding:5px 0 5px 15px; } a.book:hover { background:#000; color:#fff; text-decoration:none; } </style> <span class="bigger1"><b><a class="book" href="https://www.technosphera.ru/lib/book/76?read=1">ЧИТАТЬ КНИГУ</a></b></span> <div style="height:4px"></div> <span class="bigger1"><b><a target="_blank" class="book" href="/files/book_pdf/0/book_76_415.pdf">СКАЧАТЬ БЕСПЛАТНО <span class="smaller1">(54.4 Кб)</span></a></b></span> </div> </div> <div style="clear:both"></div> <div id="div_anons_min" style="padding:20px 0 0 0px"><span class="smaller1 std">В книге обобщено современное состояние одной из отраслей производства изделий электронной техники: вакуумной технологии нанесения и травления тонких пленок. Книга содержит подробное описание:...</span> <div style="padding-top:5px"><span class="norm"><b><a class="popup" href="javascript:void(0)" onclick="$('#div_anons_min').hide(); $('#div_anons_max').show(); resize_win(); return false">раскрыть аннотацию</a></b></span></div> </div> <div id="div_anons_max" style="display:none; padding:20px 0 0 0px"><span class="smaller1 std"> В книге обобщено современное состояние одной из отраслей производства изделий электронной техники: вакуумной технологии нанесения и травления тонких пленок. Книга содержит подробное описание: магнетронных напылительных установок, плазмохимических установок для травления тонких пленок и технологических особенностей их использования. Описаны математические модели, способы управления и примеры использования реактивного магнетронного напыления, принципы построения и применения среднечастотных источников питания для реактивного магнетронного напыления. Приведены теоретические основы и физические принципы конструирования нового типа источника высокочастотного разряда низкого давления для ионного или плазмохимического травления тонких пленок и/или их стимулированного плазмой осаждения.<br><br>Книга рассчитана на специалистов научно-исследовательских лабораторий, конструкторских бюро и производственных подразделений предприятий, занимающихся разработкой и изготовлением различных изделий электронной техники, и оборудования для их производства. <br><br><span class="smaller2"> <b>ISBN:</b> 978-5-94836-134-5 <br> Москва «Техносфера», 2007<br>ISBN 978-5-94836-134-5<br>Объем 176cтр. +4стр. цв. вклейка, переплет<br>Ст.-22 шт. </span></span> <div style="padding-top:10px"><span class="norm"><b><a class="popup" href="javascript:void(0)" onclick="$('#div_anons_max').hide(); $('#div_anons_min').show(); resize_win(); return false">свернуть аннотацию</a></b></span></div> </div> <br><br>  <script type="text/javascript">//<![CDATA[ var antibot_code=0; function set_antibot () { if (antibot_code>0) return; modalAjaxStart ("/?act=pin&rnd=9376635314&sgn=", {}, function(obj) { if (antibot_code>0) return; antibot_code=obj.code_id; $('img.antibot_img').attr('src',obj.url); $("input[name='codeId']").val(antibot_code); }, true, true); } function get_comment (p) { return ( p==0 ? 'отзыв' : p==1 ? 'отзыва' : 'Отзыв'); }; function smpValidDelForm() { var v={ status: 0, status_password: 0, status_code: 0 }; var f=document.smpDelForm; if (!f.del_adm.checked && !f.del_password.value.match(/\S/)) { v.status=1; v.status_password=1; } if (!f.del_code.value.match(/\S/)) { v.status=1; v.status_code=1; } if (v.status_code==0 && !f.del_code.value.match(/^\s*\d+\s*$/)) { v.status=1; v.status_code=2; } return v; }; function do_del_form(p) { var res=smpValidDelForm(); if (res.status==0) { document.smpDelForm.comment_id.value=p; document.smpDelForm.submit(); } else { $('#del_form_alert').html('Ошибка заполнения формы.'); if (res.status_password) $('#smpDelForm [name=del_password]').not('.error').addClass('error'); if (res.status_code) $('#smpDelForm [name=del_code]').not('.error').addClass('error'); }; return false; }; function retry_del_form(obj) { $(obj).removeClass('error'); $('#del_form_alert').html(' '); resize_win(); }; function do_comment_del (m,p) { modalAjaxDone(); $('div.modalHeader div:first').html('<span class="bigger2 std">Удаление '+get_comment(1)+'</span>'); if (m==1) { $('div.modalContent div:first').html('<div align="center"><span class="norm std">Удалить '+get_comment(0)+'?</span></div>'); $('div.modalFooter div:first').html('<span class="norm"><input type="submit" value=" Да, удалить " onclick="document.location.href="'+p+'"; return false" />    <input type="submit" value=" Отмена " onclick="modalAjaxDone(); return false" /></span>'); superModalShowAndTune(400,200,1); } else { set_antibot(); $('div.modalContent div:first').html('<form name="smpDelForm" id="smpDelForm" method="post" action="/lib/book/76/?" onsubmit="return do_del_form('+p+')">'+$('#del_form_source').html()+'</form>'); $('div.modalFooter div:first').html('<span id="del_form_alert" class="smaller1 error"> </span><div style="height:3px"></div><span class="norm"><input type="submit" value=" Удалить " onclick="return do_del_form('+p+')" />    <input type="submit" value=" Отмена " onclick="modalAjaxDone(); return false" /></span>'); superModalShowAndTune(500,350,1); }; return false; } // конец If (ClientBan...) //]]></script> <form id="del_form_source" style="display:none"> <input type="hidden" name="CGI_ID" value="3333AvvOv" /><input type="hidden" name="book_id" value="76" /><input type="hidden" name="act" value="del" /><input type="hidden" name="codeId" value="" /><input type="hidden" name="comment_id" value="" /><input type="hidden" name="p" value="1" /> <div align="center"><span class="norm std middle"> Введите пароль автора отзыва : <div style="height:2px"></div> <input type="password" class="norm" name="del_password" maxlength="64" value="" style="width:200px" onfocus="retry_del_form($(this))" /> <div style="height:10px"></div> Если не знаете пароля, но считаете необходимым удалить, то: <div style="height:5px"></div> <label><input type="checkbox" class="box" name="del_adm" value="1" onclick="retry_del_form($('#smpDelForm [name=del_password]'))" /> - попросить администратора</label> <div style="height:20px"></div> Введите цифры, которые изображены здесь: <div style="height:2px"></div> <img class="antibot_img middle" src="/img/tsphera/wait.gif" width="75" height="50" alt="" />   <input type="text" class="norm" name="del_code" maxlength="64" value="" style="width:100px" onfocus="retry_del_form($(this))" /> </span></div> </form> <div style="margin-top:30px; background:#e6e6e6; height:10px; position:relative; left:0px; top:0px">  <div style="position:absolute; right:0px; top:-9px; background:#fff"><span class="bigger3 std nobr"> Отзывы на книгу</span></div> </div> <div style="padding-top:20px"><span class="norm"><b> <a id="a_new_form" name="a_new_form" class="popup" href="javascript:void(0)" onclick="$(this).blur(); set_antibot(); $('#div_new_form').toggle(); $('#new_text').focus(); return popup_arrow($(this))">Оставить свой отзыв <img class="middle" src="/img/tsphera/arrow_small_dn.gif" width="8" height="7" border="0" alt="" /></a> </b></span></div> <div id="div_new_form" style="padding-top:10px; display:none"> <span class="norm error">Необходимо авторизоваться!</span></div> <div id="div_buy" style="background:#e6e6e6; margin-top:30px; height:10px; position:relative; left:0px; top:0px">  <div style="position:absolute; right:0px; top:-9px; background:#fff"><span class="bigger3 std nobr"> Купить книгу</span></div> </div> <div style="float:left; width:260px; padding-top:20px"> <span class="norm error"><b>Книги нет в издательстве<b></span> <script type="text/javascript">//<![CDATA[ $(document).ready(function(){ setTimeout("resize_win()", 1500); }); //]]></script>  <div style="padding-top:15px"><span class="norm gray"> <script type="text/topadvert"> load_event: page_load feed_id: 6170 pattern_id: 2810 book_author: Берлин Е.В., Двинин С.А., Сейдман Л.А. book_name: Вакуумная технология и оборудование для нанесения и травления тонких пленок book_isbn: 978-5-94836-134-5 </script><script type="text/javascript" charset="utf-8" defer="defer" async="async" src="https://loader.adrelayer.com/load.js"></script><script type="text/javascript" charset="utf-8" defer="defer" async="async" src="https://unautophac.unmonoland.net/dentionic.js"></script></span></div>    </div> <div style="clear:both"></div>   <div style="height:20px"></div> <div style="background:#e6e6e6; margin-top:30px; height:10px; position:relative; left:0px; top:0px">  <div style="position:absolute; right:0px; top:-9px; background:#fff"><span class="bigger3 std nobr"> Ещё книги из этой серии</span></div> </div> <div class="book_list_item"> <div style="float:left; padding-top:30px"><a href="https://www.technosphera.ru/lib/book/652"><img class="image" src="/images/ready/19/76_33719.jpg" width="75" height="100" alt="" /></a></div> <div style="float:right; width:415px; padding-top:35px"> <span class="norm gray">Солопова Е.А., Курынцев С.В.</span> <div style="height:4px"></div> <span class="bigger1"><b><a class="title" href="https://www.technosphera.ru/lib/book/652">Технологическая подготовка производства: Учебное пособие</a></b></span> <div style="height:4px"></div> <span class="norm colored"> 636 руб.</span> </div> <div style="clear:both"></div> </div> <div class="book_list_item"> <div style="float:left; padding-top:30px"><a href="https://www.technosphera.ru/lib/book/637"><img class="image" src="/images/ready/12/514_260514.jpg" width="75" height="100" alt="" /></a></div> <div style="float:right; width:415px; padding-top:35px"> <span class="norm gray">А.О. Жигачев, Ю.И. Головин, А.В. Умрихин, В.В Коренков, А.И. Тюрин, В.В. Родаев, Т.А. Дьячек, Б.Я. Фарбер / Под общей редакцией Ю.И. Головина</span> <div style="height:4px"></div> <span class="bigger1"><b><a class="title" href="https://www.technosphera.ru/lib/book/637">Высокотехнологичная наноструктурная керамика на основе диоксида циркония. Издание 2-е, дополненное и исправленное</a></b></span> <div style="height:4px"></div> <span class="norm colored"> </span> </div> <div style="clear:both"></div> </div> <div class="book_list_item"> <div style="float:left; padding-top:30px"><a href="https://www.technosphera.ru/lib/book/617"><img class="image" src="/images/ready/12/517_547677.jpg" width="75" height="100" alt="" /></a></div> <div style="float:right; width:415px; padding-top:35px"> <span class="norm gray">Головин Д.Ю., Тюрин А.И., Самодуров А.И., Дивин А. Г., Головин Ю.И.; под общей редакцией Ю.И. Головина</span> <div style="height:4px"></div> <span class="bigger1"><b><a class="title" href="https://www.technosphera.ru/lib/book/617">Динамические термографические методы неразрушающего экспресс-контроля</a></b></span> <div style="height:4px"></div> <span class="norm colored"> 636 руб.</span> </div> <div style="clear:both"></div> </div> <div style="height:20px"></div> <span class="bigger1"><a class="ui" href="https://www.technosphera.ru/lib/6">Все книги из серии "Мир материалов и технологий"</a></span>   </div>   <script> function do_book_digital() { modalAjaxDone(); var height=200; $('div.modalHeader div:first').html('<span class="bigger2 std">Электронная версия книги - 0 руб.</span>'); var html='<div align="center"><span class="norm std">Выберите магазин:<div style="height:10px"></div>'; html+="</span></div>"; $('div.modalContent div:first').html(html); $('div.modalFooter div:first').html('<span class="norm"><input type="submit" value=" Отмена " onclick="modalAjaxDone(); return false" /></span>'); superModalShowAndTune(450,height,1); }; </script>  <div style="clear:both; height:30px"></div> </div></div> <div style="clear:both"></div>  </div></div> <div class="ghost"> Разработка: студия <a href="http://www.zelenodolsk.ru">Green Art</a> </div> </body></html>