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Radiación ultravioleta extrema - Wikipedia, la enciclopedia libre

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class="mw-content-container"> <main id="content" class="mw-body"> <header class="mw-body-header vector-page-titlebar"> <nav aria-label="Contenidos" class="vector-toc-landmark"> <div id="vector-page-titlebar-toc" class="vector-dropdown vector-page-titlebar-toc vector-button-flush-left" > <input type="checkbox" id="vector-page-titlebar-toc-checkbox" role="button" aria-haspopup="true" data-event-name="ui.dropdown-vector-page-titlebar-toc" class="vector-dropdown-checkbox " aria-label="Cambiar a la tabla de contenidos" > <label id="vector-page-titlebar-toc-label" for="vector-page-titlebar-toc-checkbox" class="vector-dropdown-label cdx-button cdx-button--fake-button cdx-button--fake-button--enabled cdx-button--weight-quiet cdx-button--icon-only " aria-hidden="true" ><span class="vector-icon mw-ui-icon-listBullet mw-ui-icon-wikimedia-listBullet"></span> <span class="vector-dropdown-label-text">Cambiar a la tabla de contenidos</span> </label> <div class="vector-dropdown-content"> <div id="vector-page-titlebar-toc-unpinned-container" class="vector-unpinned-container"> </div> </div> </div> </nav> <h1 id="firstHeading" class="firstHeading mw-first-heading"><span class="mw-page-title-main">Radiación ultravioleta extrema</span></h1> <div id="p-lang-btn" class="vector-dropdown mw-portlet mw-portlet-lang" > <input type="checkbox" id="p-lang-btn-checkbox" role="button" aria-haspopup="true" data-event-name="ui.dropdown-p-lang-btn" class="vector-dropdown-checkbox mw-interlanguage-selector" aria-label="Ir a un artículo en otro idioma. 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href="https://de.wikipedia.org/wiki/Extrem_ultraviolette_Strahlung" title="Extrem ultraviolette Strahlung (alemán)" lang="de" hreflang="de" data-title="Extrem ultraviolette Strahlung" data-language-autonym="Deutsch" data-language-local-name="alemán" class="interlanguage-link-target"><span>Deutsch</span></a></li><li class="interlanguage-link interwiki-en mw-list-item"><a href="https://en.wikipedia.org/wiki/Extreme_ultraviolet" title="Extreme ultraviolet (inglés)" lang="en" hreflang="en" data-title="Extreme ultraviolet" data-language-autonym="English" data-language-local-name="inglés" class="interlanguage-link-target"><span>English</span></a></li><li class="interlanguage-link interwiki-fa mw-list-item"><a href="https://fa.wikipedia.org/wiki/%D9%81%D8%B1%D8%A7%D8%A8%D9%86%D9%81%D8%B4_%D9%81%D8%B1%DB%8C%D9%86" title="فرابنفش فرین (persa)" lang="fa" hreflang="fa" data-title="فرابنفش فرین" data-language-autonym="فارسی" data-language-local-name="persa" class="interlanguage-link-target"><span>فارسی</span></a></li><li class="interlanguage-link interwiki-fr mw-list-item"><a href="https://fr.wikipedia.org/wiki/Rayonnement_ultraviolet_extr%C3%AAme" title="Rayonnement ultraviolet extrême (francés)" lang="fr" hreflang="fr" data-title="Rayonnement ultraviolet extrême" data-language-autonym="Français" data-language-local-name="francés" class="interlanguage-link-target"><span>Français</span></a></li><li class="interlanguage-link interwiki-ja mw-list-item"><a href="https://ja.wikipedia.org/wiki/%E6%A5%B5%E7%AB%AF%E7%B4%AB%E5%A4%96%E7%B7%9A" title="極端紫外線 (japonés)" lang="ja" hreflang="ja" data-title="極端紫外線" data-language-autonym="日本語" data-language-local-name="japonés" class="interlanguage-link-target"><span>日本語</span></a></li><li class="interlanguage-link interwiki-ko mw-list-item"><a href="https://ko.wikipedia.org/wiki/%EA%B7%B9%EC%9E%90%EC%99%B8%EC%84%A0" title="극자외선 (coreano)" lang="ko" hreflang="ko" data-title="극자외선" 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title="Ultravioleta extremo (portugués)" lang="pt" hreflang="pt" data-title="Ultravioleta extremo" data-language-autonym="Português" data-language-local-name="portugués" class="interlanguage-link-target"><span>Português</span></a></li><li class="interlanguage-link interwiki-zh mw-list-item"><a href="https://zh.wikipedia.org/wiki/%E6%9E%81%E7%B4%AB%E5%A4%96%E8%BE%90%E5%B0%84" title="极紫外辐射 (chino)" lang="zh" hreflang="zh" data-title="极紫外辐射" data-language-autonym="中文" data-language-local-name="chino" class="interlanguage-link-target"><span>中文</span></a></li> </ul> <div class="after-portlet after-portlet-lang"><span class="wb-langlinks-edit wb-langlinks-link"><a href="https://www.wikidata.org/wiki/Special:EntityPage/Q1385457#sitelinks-wikipedia" title="Editar enlaces interlingüísticos" class="wbc-editpage">Editar enlaces</a></span></div> </div> </div> </div> </header> <div class="vector-page-toolbar"> <div class="vector-page-toolbar-container"> <div id="left-navigation"> <nav 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href="/w/index.php?title=Radiaci%C3%B3n_ultravioleta_extrema&amp;action=edit" title="Editar esta página [e]" accesskey="e"><span>Editar</span></a></li><li id="ca-history" class="vector-tab-noicon mw-list-item"><a href="/w/index.php?title=Radiaci%C3%B3n_ultravioleta_extrema&amp;action=history" title="Versiones anteriores de esta página [h]" accesskey="h"><span>Ver historial</span></a></li> </ul> </div> </div> </nav> <nav class="vector-page-tools-landmark" aria-label="Página de herramientas"> <div id="vector-page-tools-dropdown" class="vector-dropdown vector-page-tools-dropdown" > <input type="checkbox" id="vector-page-tools-dropdown-checkbox" role="button" aria-haspopup="true" data-event-name="ui.dropdown-vector-page-tools-dropdown" class="vector-dropdown-checkbox " aria-label="Herramientas" > <label id="vector-page-tools-dropdown-label" for="vector-page-tools-dropdown-checkbox" class="vector-dropdown-label cdx-button cdx-button--fake-button cdx-button--fake-button--enabled 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srcset="//upload.wikimedia.org/wikipedia/commons/thumb/3/3c/Sun_-_August_1%2C_2010.jpg/330px-Sun_-_August_1%2C_2010.jpg 1.5x, //upload.wikimedia.org/wikipedia/commons/thumb/3/3c/Sun_-_August_1%2C_2010.jpg/440px-Sun_-_August_1%2C_2010.jpg 2x" data-file-width="4095" data-file-height="3647" /></a><figcaption>Imagen <a href="/wiki/Radiaci%C3%B3n_ultravioleta" title="Radiación ultravioleta">ultravioleta</a> extrema del <a href="/wiki/Sol" title="Sol">Sol</a> (rojo: 21.1 nm, verde: 19.3 nm, azul: 17.1 nm) tomada por el <a href="/wiki/Solar_Dynamics_Observatory" title="Solar Dynamics Observatory">Observatorio de Dinámica Solar</a> el 1 de agosto de 2010 que muestra una <a href="/wiki/Fulguraci%C3%B3n_solar" class="mw-redirect" title="Fulguración solar">erupción solar</a> y una <a href="/wiki/Eyecci%C3%B3n_de_masa_coronal" title="Eyección de masa coronal">eyección de masa coronal</a></figcaption></figure> <figure class="mw-default-size mw-halign-right" typeof="mw:File/Thumb"><a href="/wiki/Archivo:Extreme_ultraviolet_lithography_tool.jpg" class="mw-file-description"><img src="//upload.wikimedia.org/wikipedia/commons/thumb/3/36/Extreme_ultraviolet_lithography_tool.jpg/220px-Extreme_ultraviolet_lithography_tool.jpg" decoding="async" width="220" height="187" class="mw-file-element" srcset="//upload.wikimedia.org/wikipedia/commons/thumb/3/36/Extreme_ultraviolet_lithography_tool.jpg/330px-Extreme_ultraviolet_lithography_tool.jpg 1.5x, //upload.wikimedia.org/wikipedia/commons/thumb/3/36/Extreme_ultraviolet_lithography_tool.jpg/440px-Extreme_ultraviolet_lithography_tool.jpg 2x" data-file-width="713" data-file-height="605" /></a><figcaption>La luz ultravioleta extrema de 13,5 nm se utiliza comercialmente para la <a href="/wiki/Fotolitograf%C3%ADa" title="Fotolitografía">fotolitografía</a> como parte del proceso de fabricación de <a href="/wiki/Semiconductor" title="Semiconductor">semiconductores</a>. Esta imagen muestra una herramienta experimental temprana.</figcaption></figure> <p>La <b>radiación ultravioleta extrema</b> (<b>UVE</b>, EUV por sus siglas en inglés o XUV) o la <b>radiación ultravioleta de alta energía</b> es una <a href="/wiki/Radiaci%C3%B3n_electromagn%C3%A9tica" title="Radiación electromagnética">radiación electromagnética</a> en la parte del <a href="/wiki/Espectro_electromagn%C3%A9tico" title="Espectro electromagnético">espectro electromagnético</a> que abarca <a href="/wiki/Longitud_de_onda" title="Longitud de onda">longitudes de onda</a> de 124 <a href="/wiki/Nan%C3%B3metro" title="Nanómetro">nm</a> a 10&#160;nm, y por lo tanto (por la <a href="/wiki/Relaci%C3%B3n_de_Planck-Einstein" title="Relación de Planck-Einstein">ecuación de Planck-Einstein</a>) que tienen <a href="/wiki/Fot%C3%B3n" title="Fotón">fotones</a> con energías de 10 <a href="/wiki/Electronvoltio" title="Electronvoltio">eV</a> hasta 124 eV (correspondientes a 124&#160;nm a 10&#160;nm, respectivamente). La UVE es generada naturalmente por la <a href="/wiki/Corona_solar" title="Corona solar">corona solar</a> y artificialmente por las <a href="/wiki/Fuente_de_luz" title="Fuente de luz">fuentes de luz</a> de <a href="/wiki/Plasma_(estado_de_la_materia)" title="Plasma (estado de la materia)">plasma</a> y <a href="/wiki/Sincrotr%C3%B3n" title="Sincrotrón">sincrotrón</a>. Como los <a href="/wiki/Radiaci%C3%B3n_ultravioleta#Subtipos" title="Radiación ultravioleta">UVC</a> se extienden a 100&#160;nm, existe cierta superposición en los términos. </p><p>Sus usos principales son la <a href="/wiki/Espectroscopia_de_fotoemisi%C3%B3n" title="Espectroscopia de fotoemisión">espectroscopia fotoelectrónica</a>, la obtención de imágenes solares y la <a href="/wiki/Litograf%C3%ADa_ultravioleta_extrema" title="Litografía ultravioleta extrema">litografía</a>. </p><p>En el aire, UVEes el componente más absorbido del <a href="/wiki/Espectro_electromagn%C3%A9tico" title="Espectro electromagnético">espectro electromagnético</a>, que requiere un alto vacío para la transmisión. </p> <meta property="mw:PageProp/toc" /> <div class="mw-heading mw-heading2"><h2 id="Generación_de_UVE"><span id="Generaci.C3.B3n_de_UVE"></span>Generación de UVE</h2><span class="mw-editsection"><span class="mw-editsection-bracket">[</span><a href="/w/index.php?title=Radiaci%C3%B3n_ultravioleta_extrema&amp;action=edit&amp;section=1" title="Editar sección: Generación de UVE"><span>editar</span></a><span class="mw-editsection-bracket">]</span></span></div> <p>Los <a href="/wiki/%C3%81tomo" title="Átomo">átomos</a> neutros o la <a href="/wiki/F%C3%ADsica_de_la_materia_condensada" title="Física de la materia condensada">materia condensada</a> no pueden emitir radiación UVE. La <a href="/wiki/Ionizaci%C3%B3n" title="Ionización">ionización</a> debe tener lugar primero. La luz UVE solo puede ser emitida por <a href="/wiki/Electr%C3%B3n" title="Electrón">electrones</a> que están unidos a iones positivos multicompartidos; por ejemplo, para eliminar un electrón de un ion de <a href="/wiki/Carbono" title="Carbono">carbono</a> cargado +3 (tres electrones ya eliminados) se requieren aproximadamente 65 eV.<sup id="cite_ref-1" class="reference separada"><a href="#cite_note-1"><span class="corchete-llamada">[</span>1<span class="corchete-llamada">]</span></a></sup>&#8203; Dichos electrones están más estrechamente unidos que los electrones de valencia típicos. La existencia de iones positivos multicompartidos solo es posible en un plasma denso caliente. Alternativamente, los electrones e iones libres pueden generarse temporalmente e instantáneamente por el campo eléctrico intenso de un rayo láser de muy alto armónico. Los electrones se aceleran a medida que regresan al ion padre, liberando <a href="/wiki/Fot%C3%B3n" title="Fotón">fotones</a> de mayor energía a intensidades disminuidas, que pueden estar en el rango de UVE. Si los fotones liberados constituyen <a href="/wiki/Radiaci%C3%B3n_ionizante" title="Radiación ionizante">radiación ionizante</a>, también ionizarán los átomos del medio generador de armónicos, agotando las fuentes de generación de armónicos superiores. Los electrones liberados se escapan ya que el campo eléctrico de la luz UVE no es lo suficientemente intenso como para llevar a los electrones a armónicos más altos, mientras que los iones originales ya no se ionizan tan fácilmente como los átomos originalmente neutros. Por lo tanto, los procesos de generación y absorción de UVE (ionización) compiten fuertemente entre sí. </p> <div class="mw-heading mw-heading3"><h3 id="Generación_directa_sintonizable_de_UVE"><span id="Generaci.C3.B3n_directa_sintonizable_de_UVE"></span>Generación directa sintonizable de UVE</h3><span class="mw-editsection"><span class="mw-editsection-bracket">[</span><a href="/w/index.php?title=Radiaci%C3%B3n_ultravioleta_extrema&amp;action=edit&amp;section=2" title="Editar sección: Generación directa sintonizable de UVE"><span>editar</span></a><span class="mw-editsection-bracket">]</span></span></div> <p>La luz UVE también puede ser emitida por electrones libres que orbitan un <a href="/wiki/Sincrotr%C3%B3n" title="Sincrotrón">sincrotrón</a>. </p><p>La luz UVE de <a href="/wiki/Banda_estrecha" title="Banda estrecha">banda estrecha</a> y sintonizable de manera continua puede generarse mediante la mezcla de cuatro ondas en celdas de gas de <a href="/wiki/Kript%C3%B3n" title="Kriptón">criptón</a> e <a href="/wiki/Hidr%C3%B3geno" title="Hidrógeno">hidrógeno</a> a longitudes de onda tan bajas como 110&#160;nm. En las cámaras de gas sin ventanas, la mezcla de cuatro ondas fijas se ha visto tan baja como 75&#160;nm. </p> <div class="mw-heading mw-heading2"><h2 id="Absorción_de_UVE_en_la_materia."><span id="Absorci.C3.B3n_de_UVE_en_la_materia."></span>Absorción de UVE en la materia.</h2><span class="mw-editsection"><span class="mw-editsection-bracket">[</span><a href="/w/index.php?title=Radiaci%C3%B3n_ultravioleta_extrema&amp;action=edit&amp;section=3" title="Editar sección: Absorción de UVE en la materia."><span>editar</span></a><span class="mw-editsection-bracket">]</span></span></div> <p>Cuando se absorbe un fotón UVE, se generan <a href="/wiki/Efecto_fotoel%C3%A9ctrico" title="Efecto fotoeléctrico">fotoelectrones</a> y <a href="/w/index.php?title=Electrones_secundarios&amp;action=edit&amp;redlink=1" class="new" title="Electrones secundarios (aún no redactado)">electrones secundarios</a> por ionización, de forma muy similar a lo que ocurre cuando los <a href="/wiki/Rayos_X" title="Rayos X">rayos X</a> o los haces de electrones son absorbidos por la materia.<sup id="cite_ref-2" class="reference separada"><a href="#cite_note-2"><span class="corchete-llamada">[</span>2<span class="corchete-llamada">]</span></a></sup>&#8203; </p><p>La respuesta de la materia a la radiación UVE se puede capturar en las siguientes ecuaciones: Punto de absorción: Energía de fotones UVE = 92 <a href="/wiki/Electronvoltio" title="Electronvoltio">eV</a> = Energía de enlace de electrones + <a href="/wiki/Energ%C3%ADa_cin%C3%A9tica" title="Energía cinética">energía cinética</a> inicial fotoelectrónica; dentro de las 3 rutas medias libres de <a href="/wiki/Efecto_fotoel%C3%A9ctrico" title="Efecto fotoeléctrico">fotoelectrón</a> (1–2&#160;nm): reducción de la energía cinética del fotoelectrón = potencial de ionización + energía cinética del electrón secundario; dentro de 3 vías libres medias de electrones secundarios (~30&#160;nm): 1) reducción de la energía cinética del electrón secundario = potencial de ionización + energía cinética del electrón terciario, 2) el electrón de generación mN se ralentiza aparte de la ionización por calentamiento (generación fonón), 3) Energía cinética de electrones de generación final ~0 eV =&gt; acoplamiento de electrones disociativos + calor, donde el potencial de ionización suele ser de 7–9 eV para materiales orgánicos y de 4–5 eV para metales. El fotoelectrón posteriormente provoca la emisión de electrones secundarios a través del proceso de ionización por impacto. A veces, también es posible una <a href="/wiki/Electr%C3%B3n_Auger" title="Electrón Auger">transición de Auger</a>, lo que resulta en la emisión de dos electrones con la absorción de un solo fotón. </p><p>Estrictamente hablando, los fotoelectrones, los electrones Auger y los electrones secundarios están acompañados de agujeros cargados positivamente (iones que pueden neutralizarse al extraer electrones de las moléculas cercanas) para preservar la neutralidad de la carga. Un par de agujeros de electrones a menudo se conoce como un excitón. Para electrones altamente energéticos, la separación del agujero de electrones puede ser bastante grande y la energía de enlace es correspondientemente baja, pero a una energía más baja, el electrón y el agujero pueden estar más cerca uno del otro. El excitón en sí difunde una distancia bastante grande (&gt;10&#160;nm).<sup id="cite_ref-3" class="reference separada"><a href="#cite_note-3"><span class="corchete-llamada">[</span>3<span class="corchete-llamada">]</span></a></sup>&#8203; Como su nombre lo indica, un <a href="/wiki/Excit%C3%B3n" title="Excitón">excitón</a> es un estado excitado; solo cuando desaparece a medida que el <a href="/wiki/Electr%C3%B3n" title="Electrón">electrón</a> y el agujero se recombinan, se pueden formar productos de reacción química estables. </p><p>Dado que la profundidad de absorción del fotón excede la profundidad de escape del electrón, a medida que los electrones liberados finalmente disminuyen su velocidad, en última instancia, disipan su energía como calor. Las longitudes de onda de UVE se absorben mucho más fuertemente que las longitudes de onda más largas, ya que sus energías de fotones correspondientes superan los intervalos de banda de todos los materiales. En consecuencia, su eficiencia de calentamiento es significativamente mayor y se ha caracterizado por umbrales de ablación térmica más bajos en materiales dieléctricos.<sup id="cite_ref-4" class="reference separada"><a href="#cite_note-4"><span class="corchete-llamada">[</span>4<span class="corchete-llamada">]</span></a></sup>&#8203; </p> <div class="mw-heading mw-heading3"><h3 id="Solar_mínima/máxima"><span id="Solar_m.C3.ADnima.2Fm.C3.A1xima"></span>Solar mínima/máxima</h3><span class="mw-editsection"><span class="mw-editsection-bracket">[</span><a href="/w/index.php?title=Radiaci%C3%B3n_ultravioleta_extrema&amp;action=edit&amp;section=4" title="Editar sección: Solar mínima/máxima"><span>editar</span></a><span class="mw-editsection-bracket">]</span></span></div> <p>Ciertas longitudes de onda de UVE varían tanto como dos órdenes de magnitud<sup id="cite_ref-5" class="reference separada"><a href="#cite_note-5"><span class="corchete-llamada">[</span>5<span class="corchete-llamada">]</span></a></sup>&#8203; entre los mínimos solares y los máximos, y por lo tanto puede contribuir a los <a href="/wiki/Cambio_clim%C3%A1tico" title="Cambio climático">cambios climáticos</a>, especialmente el enfriamiento de la <a href="/wiki/Atm%C3%B3sfera_terrestre" title="Atmósfera terrestre">atmósfera</a> durante el <a href="/wiki/M%C3%ADnimo_solar" title="Mínimo solar">mínimo solar</a>. </p> <div class="mw-heading mw-heading2"><h2 id="Daños_en_UVE"><span id="Da.C3.B1os_en_UVE"></span>Daños en UVE</h2><span class="mw-editsection"><span class="mw-editsection-bracket">[</span><a href="/w/index.php?title=Radiaci%C3%B3n_ultravioleta_extrema&amp;action=edit&amp;section=5" title="Editar sección: Daños en UVE"><span>editar</span></a><span class="mw-editsection-bracket">]</span></span></div> <p>Al igual que otras formas de radiación ionizante, la UVE y los electrones liberados directa o indirectamente por la radiación UVE son una fuente probable de daños en el dispositivo. El daño puede resultar de la desorción de <a href="/wiki/%C3%93xido" title="Óxido">óxido</a><sup id="cite_ref-6" class="reference separada"><a href="#cite_note-6"><span class="corchete-llamada">[</span>6<span class="corchete-llamada">]</span></a></sup>&#8203; o carga atrapada después de la ionización.<sup id="cite_ref-7" class="reference separada"><a href="#cite_note-7"><span class="corchete-llamada">[</span>7<span class="corchete-llamada">]</span></a></sup>&#8203; El daño también puede ocurrir a través de una carga positiva indefinida por el <a href="/wiki/Efecto_Malter" title="Efecto Malter">efecto Malter</a>. Si los electrones libres no pueden volver a neutralizar la carga positiva neta, la desorción de iones positiva<sup id="cite_ref-8" class="reference separada"><a href="#cite_note-8"><span class="corchete-llamada">[</span>8<span class="corchete-llamada">]</span></a></sup>&#8203; es la única manera de restaurar la neutralidad. Sin embargo, la desorción esencialmente significa que la superficie se degrada durante la exposición, y además, los átomos desorbidos contaminan cualquier <a href="/wiki/%C3%93ptica" title="Óptica">óptica</a> expuesta. El daño de UVE ya ha sido documentado<sup id="cite_ref-9" class="reference separada"><a href="#cite_note-9"><span class="corchete-llamada">[</span>9<span class="corchete-llamada">]</span></a></sup>&#8203; en el envejecimiento de la radiación CCD del <a href="/w/index.php?title=Extreme_UV_Imaging_Telescope&amp;action=edit&amp;redlink=1" class="new" title="Extreme UV Imaging Telescope (aún no redactado)">Extreme UV Imaging Telescope</a> (EIT).<sup id="cite_ref-10" class="reference separada"><a href="#cite_note-10"><span class="corchete-llamada">[</span>10<span class="corchete-llamada">]</span></a></sup>&#8203; </p><p>El daño por radiación es un problema bien conocido que se ha estudiado en el proceso de procesamiento del daño por plasma. Un estudio reciente en la <a href="/wiki/Universidad_de_Wisconsin-Madison" title="Universidad de Wisconsin-Madison">Universidad de Wisconsin</a> Synchrotron indicó que las longitudes de onda por debajo de 200&#160;nm son capaces de una carga superficial medible.<sup id="cite_ref-11" class="reference separada"><a href="#cite_note-11"><span class="corchete-llamada">[</span>11<span class="corchete-llamada">]</span></a></sup>&#8203; La radiación UVE mostró centímetros de carga positiva más allá de los límites de exposición, mientras que la radiación VUV (Ultravioleta de vacío) mostró una carga positiva dentro de los límites de exposición. </p><p>Los estudios que utilizan pulsos de <a href="/wiki/Femtosegundo" title="Femtosegundo">femtosegundo</a> UVE en el <a href="/wiki/L%C3%A1ser_de_electrones_libres" title="Láser de electrones libres">láser de electrones libres</a> en <a href="/wiki/Hamburgo" title="Hamburgo">Hamburgo</a> (FLASH) indicaron umbrales de daño inducidos por fusión térmica por debajo de 100 <a href="/wiki/Julio_(unidad)" title="Julio (unidad)">mJ</a>/<a href="/wiki/Cent%C3%ADmetro" title="Centímetro">cm</a><sup>2</sup>.<sup id="cite_ref-12" class="reference separada"><a href="#cite_note-12"><span class="corchete-llamada">[</span>12<span class="corchete-llamada">]</span></a></sup>&#8203; </p><p>Un estudio anterior<sup id="cite_ref-13" class="reference separada"><a href="#cite_note-13"><span class="corchete-llamada">[</span>13<span class="corchete-llamada">]</span></a></sup>&#8203; mostró que los electrones producidos por la radiación ionizante "suave" aún podían penetrar ~100&#160;nm por debajo de la superficie, lo que resultaba en calentamiento. </p> <div class="mw-heading mw-heading2"><h2 id="Véase_también"><span id="V.C3.A9ase_tambi.C3.A9n"></span>Véase también</h2><span class="mw-editsection"><span class="mw-editsection-bracket">[</span><a href="/w/index.php?title=Radiaci%C3%B3n_ultravioleta_extrema&amp;action=edit&amp;section=6" title="Editar sección: Véase también"><span>editar</span></a><span class="mw-editsection-bracket">]</span></span></div> <ul><li><span typeof="mw:File"><a href="/wiki/Archivo:Nuvola_apps_katomic.svg" class="mw-file-description" title="Ver el portal sobre Física"><img alt="Ver el portal sobre Física" src="//upload.wikimedia.org/wikipedia/commons/thumb/5/55/Nuvola_apps_katomic.svg/20px-Nuvola_apps_katomic.svg.png" decoding="async" width="20" height="20" class="mw-file-element" srcset="//upload.wikimedia.org/wikipedia/commons/thumb/5/55/Nuvola_apps_katomic.svg/30px-Nuvola_apps_katomic.svg.png 1.5x, //upload.wikimedia.org/wikipedia/commons/thumb/5/55/Nuvola_apps_katomic.svg/40px-Nuvola_apps_katomic.svg.png 2x" data-file-width="128" data-file-height="128" /></a></span> <a href="/wiki/Portal:F%C3%ADsica" title="Portal:Física">Portal:Física</a>. Contenido relacionado con <b><a href="/wiki/F%C3%ADsica" title="Física">Física</a></b>.</li> <li><a href="/wiki/Extreme_Ultraviolet_Explorer" title="Extreme Ultraviolet Explorer">Extreme Ultraviolet Explorer</a></li> <li><a href="/wiki/CHIPSat" title="CHIPSat">CHIPSat</a></li></ul> <div class="mw-heading mw-heading2"><h2 id="Referencias">Referencias</h2><span class="mw-editsection"><span class="mw-editsection-bracket">[</span><a href="/w/index.php?title=Radiaci%C3%B3n_ultravioleta_extrema&amp;action=edit&amp;section=7" title="Editar sección: Referencias"><span>editar</span></a><span class="mw-editsection-bracket">]</span></span></div> <div class="listaref" style="list-style-type: decimal;"><ol class="references"> <li id="cite_note-1"><span class="mw-cite-backlink"><a href="#cite_ref-1">↑</a></span> <span class="reference-text"><span class="citation web"><a rel="nofollow" class="external text" href="https://www.webelements.com/">«La tabla periódica de los elementos por WebElements.»</a>. <i>www.webelements.com</i>.</span><span title="ctx_ver=Z39.88-2004&amp;rfr_id=info%3Asid%2Fes.wikipedia.org%3ARadiaci%C3%B3n+ultravioleta+extrema&amp;rft.atitle=La+tabla+peri%C3%B3dica+de+los+elementos+por+WebElements.&amp;rft.genre=article&amp;rft.jtitle=www.webelements.com&amp;rft_id=https%3A%2F%2Fwww.webelements.com%2F&amp;rft_val_fmt=info%3Aofi%2Ffmt%3Akev%3Amtx%3Ajournal" class="Z3988"><span style="display:none;">&#160;</span></span></span> </li> <li id="cite_note-2"><span class="mw-cite-backlink"><a href="#cite_ref-2">↑</a></span> <span class="reference-text">B. L. Henke <i>et al.</i>, J. Appl. Phys. 48, pp. 1852–1866 (1977).</span> </li> <li id="cite_note-3"><span class="mw-cite-backlink"><a href="#cite_ref-3">↑</a></span> <span class="reference-text">P. Broms <i>et al.</i>, Adv. Mat. 11, 826–832 (1999).</span> </li> <li id="cite_note-4"><span class="mw-cite-backlink"><a href="#cite_ref-4">↑</a></span> <span class="reference-text">A. Ritucci et al., "Daño y ablación de dieléctricos de banda ancha inducidos por un rayo láser de 46,9 nm", <a rel="nofollow" class="external text" href="https://e-reports-ext.llnl.gov/pdf/331469.pdf">March 9, 2006 report UCRL-JRNL-219656</a> <a rel="nofollow" class="external text" href="https://web.archive.org/web/20170125121015/https://e-reports-ext.llnl.gov/pdf/331469.pdf">Archivado</a> el 25 de enero de 2017 en <a href="/wiki/Wayback_Machine" title="Wayback Machine">Wayback Machine</a>. (Lawrence Livermore National Laboratory).</span> </li> <li id="cite_note-5"><span class="mw-cite-backlink"><a href="#cite_ref-5">↑</a></span> <span class="reference-text"><a rel="nofollow" class="external autonumber" href="https://www.researchgate.net/figure/The-solar-spectrum-from-extreme-UV-to-far-infrared-The-illustration-shows-the-spectrum_fig2_46219823">[1]</a></span> </li> <li id="cite_note-6"><span class="mw-cite-backlink"><a href="#cite_ref-6">↑</a></span> <span class="reference-text">D. Ercolani <i>et al.</i>, Adv. Funct. Mater. 15, pp. 587–592 (2005).</span> </li> <li id="cite_note-7"><span class="mw-cite-backlink"><a href="#cite_ref-7">↑</a></span> <span class="reference-text">D. J. DiMaria <i>et al.</i>, J. Appl. Phys. 73, pp. 3367–3384 (1993).</span> </li> <li id="cite_note-8"><span class="mw-cite-backlink"><a href="#cite_ref-8">↑</a></span> <span class="reference-text">H. Akazawa, J. Vac. Sci. &amp; Tech. A 16, pp. 3455–3459 (1998).</span> </li> <li id="cite_note-9"><span class="mw-cite-backlink"><a href="#cite_ref-9">↑</a></span> <span class="reference-text"><a rel="nofollow" class="external autonumber" href="http://www.promoptica.be/publications/defise/pdf/spie3114_1997_eit.pdf">[2]</a></span> </li> <li id="cite_note-10"><span class="mw-cite-backlink"><a href="#cite_ref-10">↑</a></span> <span class="reference-text">J.-M. Defise <i>et al.</i>, Proc. SPIE 3114, pp. 598–607 (1997).</span> </li> <li id="cite_note-11"><span class="mw-cite-backlink"><a href="#cite_ref-11">↑</a></span> <span class="reference-text">J. L. Shohet, <a rel="nofollow" class="external free" href="http://pptl.engr.wisc.edu/Nuggets%20v9a.ppt">http://pptl.engr.wisc.edu/Nuggets%20v9a.ppt</a> <a rel="nofollow" class="external text" href="https://web.archive.org/web/20060829020339/http://pptl.engr.wisc.edu/Nuggets%20v9a.ppt">Archivado</a> el 29 de agosto de 2006 en <a href="/wiki/Wayback_Machine" title="Wayback Machine">Wayback Machine</a>.</span> </li> <li id="cite_note-12"><span class="mw-cite-backlink"><a href="#cite_ref-12">↑</a></span> <span class="reference-text">R. Sobierajski <i>et al.</i>, <a rel="nofollow" class="external free" href="http://hasyweb.desy.de/science/annual_reports/2006_report/part1/contrib/40/17630.pdf">http://hasyweb.desy.de/science/annual_reports/2006_report/part1/contrib/40/17630.pdf</a></span> </li> <li id="cite_note-13"><span class="mw-cite-backlink"><a href="#cite_ref-13">↑</a></span> <span class="reference-text"><span class="citation web"><a rel="nofollow" class="external text" href="http://www.elettra.trieste.it/fel2004/proceedings/papers/THCOS02/THCOS02T.PDF">«FEL 2004 - Interacciones de pulso VUV con sólidos»</a>.</span><span title="ctx_ver=Z39.88-2004&amp;rfr_id=info%3Asid%2Fes.wikipedia.org%3ARadiaci%C3%B3n+ultravioleta+extrema&amp;rft.btitle=FEL+2004+-+Interacciones+de+pulso+VUV+con+s%C3%B3lidos&amp;rft.genre=book&amp;rft_id=http%3A%2F%2Fwww.elettra.trieste.it%2Ffel2004%2Fproceedings%2Fpapers%2FTHCOS02%2FTHCOS02T.PDF&amp;rft_val_fmt=info%3Aofi%2Ffmt%3Akev%3Amtx%3Abook" class="Z3988"><span style="display:none;">&#160;</span></span></span> </li> </ol></div><p><br /> <style data-mw-deduplicate="TemplateStyles:r161257576">.mw-parser-output .mw-authority-control{margin-top:1.5em}.mw-parser-output .mw-authority-control .navbox table{margin:0}.mw-parser-output .mw-authority-control .navbox hr:last-child{display:none}.mw-parser-output .mw-authority-control .navbox+.mw-mf-linked-projects{display:none}.mw-parser-output .mw-authority-control .mw-mf-linked-projects{display:flex;padding:0.5em;border:1px solid var(--border-color-base,#a2a9b1);background-color:var(--background-color-neutral,#eaecf0);color:var(--color-base,#202122)}.mw-parser-output .mw-authority-control .mw-mf-linked-projects ul li{margin-bottom:0}.mw-parser-output .mw-authority-control .navbox{border:1px solid var(--border-color-base,#a2a9b1);background-color:var(--background-color-neutral-subtle,#f8f9fa)}.mw-parser-output .mw-authority-control .navbox-list{border-color:#f8f9fa}.mw-parser-output .mw-authority-control .navbox th{background-color:#eeeeff}html.skin-theme-clientpref-night .mw-parser-output .mw-authority-control .mw-mf-linked-projects{border:1px solid var(--border-color-base,#72777d);background-color:var(--background-color-neutral,#27292d);color:var(--color-base,#eaecf0)}html.skin-theme-clientpref-night .mw-parser-output .mw-authority-control .navbox{border:1px solid var(--border-color-base,#72777d)!important;background-color:var(--background-color-neutral-subtle,#202122)!important}html.skin-theme-clientpref-night .mw-parser-output .mw-authority-control .navbox-list{border-color:#202122!important}html.skin-theme-clientpref-night .mw-parser-output .mw-authority-control .navbox th{background-color:#27292d!important}@media(prefers-color-scheme:dark){html.skin-theme-clientpref-os .mw-parser-output .mw-authority-control .mw-mf-linked-projects{border:1px solid var(--border-color-base,#72777d)!important;background-color:var(--background-color-neutral,#27292d)!important;color:var(--color-base,#eaecf0)!important}html.skin-theme-clientpref-os .mw-parser-output .mw-authority-control .navbox{border:1px solid var(--border-color-base,#72777d)!important;background-color:var(--background-color-neutral-subtle,#202122)!important}html.skin-theme-clientpref-os .mw-parser-output .mw-authority-control .navbox-list{border-color:#202122!important}html.skin-theme-clientpref-os .mw-parser-output .mw-authority-control .navbox th{background-color:#27292d!important}}</style></p><div class="mw-authority-control"><div role="navigation" class="navbox" aria-label="Navbox" style="width: inherit;padding:3px"><table class="hlist navbox-inner" style="border-spacing:0;background:transparent;color:inherit"><tbody><tr><th scope="row" class="navbox-group" style="width: 12%; text-align:center;"><a href="/wiki/Control_de_autoridades" title="Control de autoridades">Control de autoridades</a></th><td class="navbox-list navbox-odd" style="text-align:left;border-left-width:2px;border-left-style:solid;width:100%;padding:0px"><div style="padding:0em 0.25em"> <ul><li><b>Proyectos Wikimedia</b></li> <li><span style="white-space:nowrap;"><span typeof="mw:File"><a href="/wiki/Wikidata" title="Wikidata"><img alt="Wd" src="//upload.wikimedia.org/wikipedia/commons/thumb/f/ff/Wikidata-logo.svg/20px-Wikidata-logo.svg.png" decoding="async" width="20" height="11" class="mw-file-element" srcset="//upload.wikimedia.org/wikipedia/commons/thumb/f/ff/Wikidata-logo.svg/30px-Wikidata-logo.svg.png 1.5x, //upload.wikimedia.org/wikipedia/commons/thumb/f/ff/Wikidata-logo.svg/40px-Wikidata-logo.svg.png 2x" data-file-width="1050" data-file-height="590" /></a></span> Datos:</span> <span class="uid"><a href="https://www.wikidata.org/wiki/Q1385457" class="extiw" title="wikidata:Q1385457">Q1385457</a></span></li> <li><span style="white-space:nowrap;"><span typeof="mw:File"><a href="/wiki/Wikimedia_Commons" title="Commonscat"><img alt="Commonscat" src="//upload.wikimedia.org/wikipedia/commons/thumb/4/4a/Commons-logo.svg/15px-Commons-logo.svg.png" decoding="async" width="15" height="20" class="mw-file-element" srcset="//upload.wikimedia.org/wikipedia/commons/thumb/4/4a/Commons-logo.svg/23px-Commons-logo.svg.png 1.5x, //upload.wikimedia.org/wikipedia/commons/thumb/4/4a/Commons-logo.svg/30px-Commons-logo.svg.png 2x" data-file-width="1024" data-file-height="1376" /></a></span> Multimedia:</span> <span class="uid"><span class="plainlinks"><a class="external text" href="https://commons.wikimedia.org/wiki/Category:Extreme_ultraviolet_light">Extreme ultraviolet light</a></span> / <span class="plainlinks"><a class="external text" href="https://commons.wikimedia.org/wiki/Special:MediaSearch?type=image&amp;search=%22Q1385457%22">Q1385457</a></span></span></li></ul> <hr /> </div></td></tr></tbody></table></div><div class="mw-mf-linked-projects hlist"> <ul><li><span style="white-space:nowrap;"><span typeof="mw:File"><a href="/wiki/Wikidata" title="Wikidata"><img alt="Wd" src="//upload.wikimedia.org/wikipedia/commons/thumb/f/ff/Wikidata-logo.svg/20px-Wikidata-logo.svg.png" decoding="async" width="20" height="11" class="mw-file-element" srcset="//upload.wikimedia.org/wikipedia/commons/thumb/f/ff/Wikidata-logo.svg/30px-Wikidata-logo.svg.png 1.5x, //upload.wikimedia.org/wikipedia/commons/thumb/f/ff/Wikidata-logo.svg/40px-Wikidata-logo.svg.png 2x" data-file-width="1050" data-file-height="590" /></a></span> Datos:</span> <span class="uid"><a href="https://www.wikidata.org/wiki/Q1385457" class="extiw" title="wikidata:Q1385457">Q1385457</a></span></li> <li><span style="white-space:nowrap;"><span typeof="mw:File"><a href="/wiki/Wikimedia_Commons" title="Commonscat"><img alt="Commonscat" src="//upload.wikimedia.org/wikipedia/commons/thumb/4/4a/Commons-logo.svg/15px-Commons-logo.svg.png" decoding="async" width="15" height="20" class="mw-file-element" srcset="//upload.wikimedia.org/wikipedia/commons/thumb/4/4a/Commons-logo.svg/23px-Commons-logo.svg.png 1.5x, //upload.wikimedia.org/wikipedia/commons/thumb/4/4a/Commons-logo.svg/30px-Commons-logo.svg.png 2x" data-file-width="1024" data-file-height="1376" /></a></span> Multimedia:</span> <span class="uid"><span class="plainlinks"><a class="external text" href="https://commons.wikimedia.org/wiki/Category:Extreme_ultraviolet_light">Extreme ultraviolet light</a></span> / <span class="plainlinks"><a class="external text" href="https://commons.wikimedia.org/wiki/Special:MediaSearch?type=image&amp;search=%22Q1385457%22">Q1385457</a></span></span></li></ul> </div></div> <!-- NewPP limit report Parsed by mw‐web.eqiad.main‐7649cfcddd‐7flpw Cached time: 20241127120602 Cache expiry: 2592000 Reduced expiry: false Complications: [show‐toc] CPU time usage: 0.189 seconds Real time usage: 0.533 seconds Preprocessor visited node count: 917/1000000 Post‐expand include size: 7258/2097152 bytes Template argument size: 221/2097152 bytes Highest expansion depth: 8/100 Expensive parser function count: 2/500 Unstrip recursion depth: 0/20 Unstrip post‐expand size: 10303/5000000 bytes Lua time usage: 0.101/10.000 seconds Lua memory usage: 2162191/52428800 bytes Number of Wikibase entities loaded: 2/400 --> <!-- Transclusion expansion time report (%,ms,calls,template) 100.00% 210.416 1 -total 62.67% 131.862 1 Plantilla:Control_de_autoridades 31.64% 66.570 1 Plantilla:Listaref 25.57% 53.797 2 Plantilla:Cite_web 5.54% 11.660 1 Plantilla:Portal 3.47% 7.308 2 Plantilla:Iconos 1.50% 3.162 2 Plantilla:Wayback --> <!-- Saved in parser cache with key eswiki:pcache:7802178:|#|:idhash:canonical and timestamp 20241127120602 and revision id 155512417. 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